Schleuseneinrichtung fuer an der Pumpe arbeitende Korpuskularstrahlgeraete,insbesondere zum Einschleusen von Objekten in den Vakuumraum von Elektronenmikroskopen
Номер патента: DE1439154A1
Опубликовано: 24-10-1968
Автор(ы): Wilhelm Schomburg
Принадлежит: SIEMENS AG
Опубликовано: 24-10-1968
Автор(ы): Wilhelm Schomburg
Принадлежит: SIEMENS AG
An der Pumpe arbeitender Korpus kularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, mit gekühlten Bauteilen zur Verringerung der Objekt verschmutzung
Номер патента: DE1564653B2. Автор: Wolfram Dipl.-Math. 8014 Neubiberg Loebe. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1973-11-15.