Vorrichtung zum Manipulieren von Objekten in einem Elektronenmiktroskop oder einer Elektronenbeugungskamera
Номер патента: DE1589647A1
Опубликовано: 14-05-1970
Автор(ы): Mills John Cunningham
Принадлежит: Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization CSIRO
Опубликовано: 14-05-1970
Автор(ы): Mills John Cunningham
Принадлежит: Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization CSIRO
Vorrichtung zum beschichten eines substrates innerhalb einer vakuumkammer mittels plasmaunterstützer chemischer dampfabscheidung
Номер патента: EP2558609A1. Автор: John Fahlteich,Matthias Fahland,Sebastian Bunk,Rainer Zeibe,Ralf Blüthner. Владелец: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV. Дата публикации: 2013-02-20.