RF sensor clamp assembly
Номер патента: US7728250B2
Опубликовано: 01-06-2010
Автор(ы): Duane T. Smith, James D. Spain, Rodney A. Herman, Terry R. Turner
Принадлежит: Inficon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-06-2010
Автор(ы): Duane T. Smith, James D. Spain, Rodney A. Herman, Terry R. Turner
Принадлежит: Inficon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Measurement of plural rf sensor devices in a pulsed rf plasma reactor
Номер патента: US20140232374A1. Автор: Gary Leray. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2014-08-21.