Charged particle beam device and method applied in a charged particle beam device
Номер патента: EP2001038B9
Опубликовано: 26-10-2016
Автор(ы): Andreas Schertel, Ulrike Zeile
Принадлежит: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-10-2016
Автор(ы): Andreas Schertel, Ulrike Zeile
Принадлежит: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Dual beam systems and methods for decoupling the working distance of a charged particle beam device from focused ion beam geometry induced constraints
Номер патента: WO2023232282A1. Автор: Thomas Korb,Jens Timo NEUMANN,Eugen Foca,Alex Buxbaum,Dmitry Klochkov,Ramani Pichumani. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-12-07.