PATTERN SILICON NITRIDE MASKING LAYERS

25-06-1974 дата публикации

Номер:

CA949800A

Автор: Edigna Andres, Horst C. Panholzer

Принадлежит: SIEMENS AG

Контакты:

Номер заявки: 105190

Дата заявки: 12-02-1971

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/4 G03F7/42 G03F7/426 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/31 H01L21/311 H01L21/3111 H01L21/31111 H01L21/3114 H01L21/31144 H01L23 H01L23/H01L23/2 H01L23/29 H01L23/293 H01L29 H01L292 H01L2924 H01L2924/H01L2924/0 H01L2924/00 H01L2924/000 H01L2924/0002

IPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/4 G03F7/42 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/03 H01L21/033 H01L21/0337 H01L21/3 H01L21/31 H01L21/311 H01L21/3111 H01L21/31116 H01L23 H01L23/H01L23/2 H01L23/29 H01L23/293