Substratbehandlungsvorrichtung und Betriebsverfahren

12-07-2007 дата публикации

Номер:

DE0060030201T2

Автор: SHINOZAKI HIROYUKI, SHINOZAKI, HIROYUKI

Принадлежит: EBARA CORP, EBARA CORP.

Контакты:

Номер заявки: 01-02-6003

Дата заявки: 25-05-2000

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/30 H01L21/304 H01L21/6 H01L21/67 H01L21/670 H01L21/6703 H01L21/67034 H01L21/6704

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/00 H01L21/3 H01L21/30 H01L21/304

Получить PDF