Ringförmiges sputtertarget

25-02-2010 дата публикации

Номер:

DE0060235008D1

Автор: MARX DANIEL R, MATHEW RAJAN, SNOWMAN ALFRED, FISHER CHARLES R, MARX, DANIEL R., MATHEW, RAJAN, SNOWMAN, ALFRED, FISHER, CHARLES R.

Принадлежит: PRAXAIR TECHNOLOGY INC, PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY INC.

Контакты:

Номер заявки: 08-50-6023

Дата заявки: 31-05-2002

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/3 C23C14/34 C23C14/340 C23C14/3407 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/34 H01J37/342 H01J37/3423

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/3 C23C14/34 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/2 H01L21/28 H01L21/285