Polymer compound, and resist-protecting film composition including same for a liquid immersion exposure process

28-06-2013 дата публикации

Номер:

SG190338A1

Автор: Hyun Jin Kim, Jae Hyun Kim, Jong Kyoung Park, Man Ho Han

Принадлежит: Dongjin Semichem Co Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C08 C08F C08F1 C08F18 C08F18/C08F18/1 C08F18/18 C08F2 C08F20 C08F20/C08F20/1 C08F20/10 C08F22 C08F22/C08F22/0 C08F22/06 C08F3 C08F32 C08F32/C08F32/0 C08F32/00 C08L C08L4 C08L45 C08L45/C08L45/0 C08L45/00 C09 C09D C09D1 C09D13 C09D133 C09D133/C09D133/1 C09D133/10 C09D135 C09D135/C09D135/0 C09D135/00 C09D14 C09D145 C09D145/C09D145/0 C09D145/00 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/004 G03F7/0045 G03F7/0046 G03F7/03 G03F7/039 G03F7/0395 G03F7/0397 G03F7/1 G03F7/11 G03F7/2 G03F7/20 G03F7/204 G03F7/2041

IPC - классификация

C C0 C07 C07C C07C3 C07C38 C07C381 C07C381/C07C381/1 C07C381/12 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/004 G03F7/0046 G03F7/03 G03F7/039 G03F7/0392

Получить PDF