帶電粒子束描繪方法以及帶電粒子束描繪裝置

11-05-2021 дата публикации

Номер:

TWI727246B

Автор: 中山貴仁, 西村理恵子, NISHIMURA RIEKO, NAKAYAMA TAKAHITO, NISHIMURA, RIEKO, NAKAYAMA, TAKAHITO

Принадлежит: 日商紐富來科技股份有限公司, NUFLARE TECHNOLOGY INC, NUFLARE TECHNOLOGY, INC.

Контакты:

Номер заявки: 65-00-10818

Дата заявки: 08-01-2019

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/2 G03F1/20 G03F1/7 G03F1/78 G03F7 G03F7/G03F7/7 G03F7/70 G03F7/704 G03F7/7045 G03F7/707 G03F7/7071 G03F7/70716 G03F7/7077 G03F7/70775 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/1 H01J2237/15 H01J2237/2 H01J2237/20 H01J2237/202 H01J2237/24 H01J2237/245 H01J2237/2452 H01J2237/24528 H01J2237/3 H01J2237/30 H01J2237/304 H01J2237/3045 H01J2237/3047 H01J2237/30472 H01J2237/31 H01J2237/317 H01J2237/3176 H01J2237/31766 H01J2237/3177 H01J2237/31776 H01J2237/3179 H01J2237/31793 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/14 H01J37/147 H01J37/1472 H01J37/2 H01J37/20 H01J37/24 H01J37/3 H01J37/30 H01J37/304 H01J37/3045 H01J37/31 H01J37/317 H01J37/3174

IPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/2 G03F1/20 G03F1/7 G03F1/78 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/14 H01J37/147 H01J37/2 H01J37/20 H01J37/24 H01J37/3 H01J37/30 H01J37/304 H01J37/31 H01J37/317

Получить PDF