Method for manufacturing a capacitor for semiconductor devices

20-03-2018 дата публикации

Номер:

US09923047B2

Автор: Chin Moo Cho, Gyu-hee Park, Jae Hyoung Choi, Se Hoon Oh, Seongyul Park, Youn-Joung Cho, Younsoo Kim, Yunjung Choi

Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/322 H01L28 H01L28/H01L28/6 H01L28/65 H01L28/7 H01L28/75

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32

Получить PDF