THIN-FILM FORMATION SPUTTERING DEVICE

07-08-2014 дата публикации

Номер:

US20140216928A1

Автор: Akinori Ebe, Yuichi Setsuhara

Принадлежит: EMD Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/3 C23C14/34 C23C14/347 C23C14/3471 C23C14/35 C23C14/358 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01J37/321 H01J37/3211 H01J37/34 H01J37/340 H01J37/3408 H01J37/341 H01J37/3411 H01J37/3417

IPC - классификация

B B8 B82 B82Y B82Y1 B82Y15 B82Y15/B82Y15/0 B82Y15/00 C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/3 C23C14/35 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/34

Получить PDF