MULTILAYER DIELECTRIC STRUCTURES FOR SEMICONDUCTOR NANO-DEVICES

11-09-2014 дата публикации

Номер:

US20140256153A1

Автор: Grill Alfred, Knupp Seth L., Nguyen Son V., Paruchuri Vamsi K., Priyadarshini Deepika, Shobha Hosadurga K.

Принадлежит: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/021 H01L21/0212 H01L21/02126 H01L21/0216 H01L21/02164 H01L21/022 H01L21/0224 H01L21/02247

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/021 H01L21/0216 H01L21/02164 H01L21/022 H01L21/0227 H01L21/02274 H01L21/0228 H01L21/02282

Получить PDF