TUNABLE GAS DELIVERY ASSEMBLY WITH INTERNAL DIFFUSER AND ANGULAR INJECTION

20-04-2017 дата публикации

Номер:

US20170110292A1

Автор: Kyle TANTIWONG, Samer Banna, Vladimir KNYAZIK, Waheb Bishara

Принадлежит: Applied Materials Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

F F2 F26 F26B F26B2 F26B21 F26B21/F26B21/0 F26B21/00 F26B21/004 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01J37/324 H01J37/3244 H01J37/32449

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/5 C23C16/50 C23C16/507 F F2 F26 F26B F26B1 F26B15 F26B15/F26B15/1 F26B15/18 F26B2 F26B21 F26B21/F26B21/0 F26B21/00 F26B21/004

Получить PDF