In-situ performance prediction of pad conditioning disk by closed loop torque monitoring

17-01-2012 дата публикации

Номер:

US8096852B2

Автор: HUNG Chih Chen, Roy C Nangoy, Sameer Deshpande, Shou-sung Chang, Stan D Tsai

Принадлежит: Applied Materials Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B2 B24 B24B B24B3 B24B37 B24B37/B24B37/0 B24B37/00 B24B37/005 B24B4 B24B49 B24B49/B24B49/1 B24B49/16 B24B49/18 B24B5 B24B53 B24B53/B24B53/0 B24B53/01 B24B53/017 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/30 H01L21/304

IPC - классификация

B B2 B24 B24B B24B4 B24B49 B24B49/B24B49/1 B24B49/16 B24B49/18 B24B5 B24B53 B24B53/B24B53/0 B24B53/01 B24B53/017

Получить PDF