Solution for EUV power increment at wafer level

20-09-2016 дата публикации

Номер:

US9451683B1

Автор: En-Chao Shen, Yiming Chiu

Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G02 G02B G02B1 G02B19 G02B19/G02B19/0 G02B19/00 G02B19/009 G02B19/0095 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/7 G03F7/70 G03F7/700 G03F7/7002 G03F7/70025 G2 G21 G21K G21K1 G21K1/G21K1/0 G21K1/06 G21K1/067 H H0 H01 H01S H01S3 H01S3/H01S3/2 H01S3/22 H01S3/223 H01S3/2232 H05 H05G H05G2 H05G2/H05G2/0 H05G2/00 H05G2/003 H05G2/005 H05G2/006 H05G2/008

IPC - классификация

H H0 H01 H01S H01S3 H01S3/H01S3/0 H01S3/03 H01S3/036 H05 H05G H05G2 H05G2/H05G2/0 H05G2/00 H05G2/008 H05H H05H1 H05H1/H05H1/0 H05H1/06

Получить PDF