Charged particle microscope with barometric pressure correction

21-03-2017 дата публикации

Номер:

US9601310B2

Автор: Albert Visscher, Marco Hugo Petrus Moers

Принадлежит: FEI Co

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/02 H01J2237/021 H01J2237/0216 H01J2237/1 H01J2237/16 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/02 H01J37/2 H01J37/26 H01J37/265

IPC - классификация

G G2 G21 G21K G21K7 G21K7/G21K7/0 G21K7/00 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/02 H01J37/026 H01J37/2 H01J37/28

Получить PDF