Method for manufacturing substrate and method or manufacturing electronic device using same

14-03-2013 дата публикации

Номер:

WO2013012195A3

Автор: 김기수, 손준호, 유철종, 이종람

Принадлежит: 포항공과대학교 산학협력단

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/8 G03F1/80 G03F7 G03F7/G03F7/2 G03F7/20 G03F7/204 G03F7/2041 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/027 H01L21/0274 H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3213 H01L21/32139

IPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/5 G03F1/50 G03F1/8 G03F1/80 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3213 H01L21/32139

Получить PDF