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07-06-2018 дата публикации

전자 현미경의 고속 전자빔 주사 신호 발생 장치 및 방법

Номер: KR0101865398B1
Автор: 구정회, 임재극
Принадлежит: (주)새론테크놀로지

... 전자 현미경의 고속 전자빔 주사 신호 발생 장치 및 방법이 개시된다. 수평 주사 신호 및 수직 주사 신호를 생성하기 위한 사용자 명령 및 화소 데이터를 분석하는 주사 신호 생성 지령부; 상기 사용자 명령에 따라 해상도별로 주사 해상도 단위당 스텝-레벨(step-level) 데이터를 생성하는 해상도별 스텝-레벨 데이터 생성부; 전자 현미경의 전자 회로 시정수 및 상기 전자 회로 시정수에 따른 주사 회귀 신호 시간을 산출하고 산출된 주사 회귀 신호 시간에 상응하는 신호 과구동 전압 데이터를 생성하는 과구동 전압 데이터 생성부; 상기 해상도별 스텝-레벨 데이터 생성부에 의해 생성된 주사 해상도 단위당 스텝-레벨 데이터 및 상기 과구동 전압 데이터 생성부에 의해 생성된 신호 과구동 전압 데이터를 이용하여 최종 주사 신호 데이터를 생성하는 주사 신호 전압 데이터 생성부; 상기 주사 신호 전압 데이터 생성부에 의해 생성된 최종 주사 신호 데이터를 이용하여 수평 주사 신호 및 수직 주사 신호를 발생하는 주사 신호 발생부; 상기 주사 신호 발생부에서 발생된 수평 주사 신호 및 수직 주사 신호를 전류 증폭하여 전자 빔 주사 장치를 구동하는 주사 신호 전류 구동부를 구성한다.

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Номер записи: 1
12-07-2017 дата публикации

주사 전자 현미경

Номер: KR0101756171B1
Автор: 구정회
Принадлежит: (주)새론테크놀로지

... 본 발명은 진공 상태에서 시료를 관찰하도록 하는 진공 챔버 없이 대기 중에서 시료 표면으로부터 산란되어 방출되는 후방산란전자를 검출하여 시료를 관찰할 수 있도록 구현되는 주사 전자 현미경에 관한 것이다. 본 발명에 따른 주사 전자 현미경은 진공 상태를 형성하는 경통, 경통의 상부에 위치하고, 진공 하에서 전자 빔을 하부로 주사하는 전자총, 경통의 하부면의 일부를 형성하여 경통 내부를 진공 상태로 형성하고 전자 빔을 통과시키는 차폐막, 차폐막의 하부에 위치하여 전자총으로부터 차폐막을 통과한 전자 빔이 시료에 조사되도록 시료가 배치되는 시료대, 전자총과 차폐막 사이에 위치하여 전자빔을 통과시키는 홀이 형성되고, 상부면에 자기장을 형성하는 제1 평면 코일을 구비하여 전자 빔을 집속하여 차폐막으로 전달하고, 시료로부터 후방산란되는 후방산란전자를 검출하는 제1 후방산란검출기를 포함한다.

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Номер записи: 2
02-11-2017 дата публикации

영상 처리 방법 및 이를 이용한 영상 처리 장치

Номер: KR0101792564B1
Автор: 박민철, 이동수, 강지훈, 한재현, 최동원, 구정회
Принадлежит: 한국과학기술연구원, (주)새론테크놀로지

... 본 발명은 영상 처리 방법 및 이를 이용항 영상 처리 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 영상 처리 방법은, 전자 현미경으로 영상을 촬영하는 영상 촬영 단계, 전자 현미경의 측정 스테이지를 이동 스캔하면서 대상체의 타깃 부분을 추적하는 영상 추적 모드 또는 타깃 부분에 초점이 맞춰진 상태에서 촬영되는 정지 영상들의 노이즈를 제거하고 영상을 정밀화 하는 영상 정밀화 모드 중 하나의 모드에서 영상을 처리하는 단계 및 처리된 영상을 디스플레이 하는 영상 출력 단계를 포함한다.

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Номер записи: 3