02-08-2006 дата публикации
Номер: KR100609216B1
Принадлежит:
동부일렉트로닉스 주식회사
본 발명은 비휘발성 메모리 소자에 관한 것으로, 보다 자세하게는 한 개의 트랜지스터로 2 비트를 구현할 수 있는 사이드월 플로팅 게이트를 포함하는 소자를 이용하여 비트 라인 콘택이 없는 노어 플래시 어레이를 구현하여 효과적으로 프로그램, 이레이즈, 리드 동작을 수행하고 이러한 노어 플래시 어레이를 효과적으로 구현하기 위한 셀 레이아웃을 제공하는 비휘발성 메모리 소자에 관한 것이다. The present invention relates to a nonvolatile memory device, and more particularly, to implement a NOR flash array without bit line contact by using a device including a sidewall floating gate capable of implementing two bits with one transistor. A nonvolatile memory device provides a cell layout for performing an ease and read operation and effectively implementing such a NOR flash array. 본 발명의 상기 목적은 폴리실리콘 게이트, 사이드월 플로팅 게이트, 블럭 산화막 및 소오스/드레인 영역을 포함하는 트렌지스터; 상기 폴리실리콘 게이트와 연결되며 기판에 종으로 배치되는 워드 라인 및 상기 공통 소오스/드레인 영역과 연결되며 상기 워드 라인과 수직으로 배치되는 마주보는 한 쌍의 비트 라인을 단위 셀로 구성하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자에 의해 달성된다. The object of the present invention is a transistor comprising a polysilicon gate, a sidewall floating gate, a block oxide film and a source / drain region; A unit cell comprising a pair of opposing word lines connected to the polysilicon gate and vertically arranged on a substrate, and a pair of opposing bit lines connected to the common source / drain region and disposed vertically to the word line; Achieved by a volatile memory device. 따라서, 본 발명의 비휘발성 메모리 소자는 면적을 1/2정도로 줄여 밀도를 두배로 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 프로그램/이레이즈/리드 동작을 쉽게 수행할 수 있으며 오버 이레이즈 문제와 드레인 턴온(Drain Turn-On) 문제도 발생하지 않아 신뢰성 있는 소자를 구현할 수 있는 효과가 있다. Therefore, the nonvolatile memory device of the present invention can reduce the area to about 1/2 to double the density, and can easily perform the program / erase / lead operation, the over erasure problem and the drain turn-on. -On) also does not occur, there is an effect that can implement a reliable device. Sidewall Floating Gate, NOR Flash Array, 2bit, Over Erase, Drain Turn-on, Bit Line Contact Sidewall Floating Gate, NOR Flash Array, 2bit, Over Erase, Drain Turn-on, Bit Line Contact
Подробнее