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26-08-2022 дата публикации

개시제를 이용한 화학기상증착장치

Номер: KR102437018B1
Автор: 조병진, 김민주, 정재중, 박형상, 탁영덕, 김지혜
Принадлежит: 한국과학기술원, (주)아이작리서치

... 본 발명은 개시제를 이용한 화학기상증착장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 재료소비를 절감하고, 균질한 대면적의 박막을 형성할 수 있는 화학기상증착장치 관한 것이다. 본 발명의 개시제를 이용한 화학기상증착장치는 내부에 기판이 장입되는 챔버; 상기 챔버 내부에 위치하며, 제1이격거리(d1)로 상기 기판과 이격되고 기상의 유기단량체 및 개시제를 상기 기판에 공급하는 상부노즐과, 상기 제1이격거리(d1)보다 짧은 제2이격거리(d2)로 상기 기판과 이격되고 기상의 금속 전구체를 상기 기판에 공급하는 하부노즐을 포함하는 이중샤워헤드부; 및 상기 상부노즐과 상기 기판 사이에 위치하며, 상기 상부노즐로부터 공급되는 개시제를 가열하는 열원;을 포함할 수 있다.

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Номер записи: 1
21-04-2023 дата публикации

기판 처리 장치

Номер: KR20230053096A
Автор: 박형상, 탁영덕, 정성준, 이정훈
Принадлежит:

... 본 발명은 원격 플라즈마를 발생시켜서 원자층 증착 공정 등의 기판 처리 공정을 수행하여 기판에 균일한 박막을 형성할 수 있게 하는 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 기판을 수용할 수 있도록 내부에 기판 수용 공간이 형성되는 챔버; 상기 기판 수용 공간에 설치되고, 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 서셉터; 및 상기 챔버에 설치되고, 상기 기판 방향으로 가스를 공급하는 가스 공급 장치;를 포함하고, 상기 가스 공급 장치는, 내부에서 플라즈마가 형성될 수 있도록 버퍼 공간이 형성될 수 있다.

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Номер записи: 2
13-11-2015 дата публикации

Transfer apparatus for substrate and transfer method for substrate

Номер: KR0101569004B1
Автор: 박형상, 탁영덕
Принадлежит: (주)아이작리서치

... 본 발명은 화학 기상 증착 또는 원자층 증착을 수행할 수 있는 반응기 내부에 기판을 이송할 수 있는 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법에 관한 것으로서, 지지대; 상기 지지대에 설치된 제 1 가이드부재를 따라 반응기 방향으로 전후진이 가능한 제 1 가동대; 상기 제 1 가동대를 상기 반응기 방향으로 전후진시킬 수 있는 제 1 가동장치; 상기 제 1 가동대에 의해서 상기 반응기 내부로 로딩될 수 있고, 기판이 안착될 수 있는 적어도 하나의 스키 플레이트; 및 상기 제 1 가동대에 설치되고, 상기 스키 플레이트를 상기 제 1 가동대에 선택적으로 고정 또는 해제시킬 수 있는 고정 부재;를 포함할 수 있다.

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Номер записи: 3