Differential pumping system
Номер патента: US4327866A
Опубликовано: 04-05-1982
Автор(ы): Claude C. Mason
Принадлежит: Mason Claude C
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-05-1982
Автор(ы): Claude C. Mason
Принадлежит: Mason Claude C
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method And A Device For Depositing A Film Of Material Or Otherwise Processing Or Inspecting, A Substrate As It Passes Through A Vacuum Environment Guided By A Plurality Of Opposing And Balanced Air Bearing Lands And Sealed By Differentially Pumped Grooves And Sealing Lands In A Non-Contact Manner
Номер патента: US20150037514A1. Автор: Andrew J. Devitt. Владелец: New Way Machine Components Inc. Дата публикации: 2015-02-05.