一种蒸镀腔室内衬装置及其蒸发系统、蒸镀装置
Номер патента: CN110284108B
Опубликовано: 01-10-2021
Автор(ы): 于子洋, 廖明富, 葛鹏程
Принадлежит: Suzhou Qingyue Optoelectronics Technology Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-10-2021
Автор(ы): 于子洋, 廖明富, 葛鹏程
Принадлежит: Suzhou Qingyue Optoelectronics Technology Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Vacuum evaporation device
Номер патента: US20210332472A1. Автор: Zhijun Wan. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-28.