Wafer holder for ultra-high temperature process, wafer loading boat and ultra-high temperature furnace having the wafer holder
Номер патента: KR100496134B1
Опубликовано: 20-06-2005
Автор(ы): 나기정, 박승갑
Принадлежит: 주식회사 테라세미콘
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-06-2005
Автор(ы): 나기정, 박승갑
Принадлежит: 주식회사 테라세미콘
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Modular multi-chamber processing tool having link chamber for ultra high vacuum processes
Номер патента: WO2023172283A1. Автор: Robert Irwin Decottignies,Marek W. Radko. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-09-14.