Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

  • Главная
  • Substrate holding structure and substrate processing device

Substrate holding structure and substrate processing device

Номер патента: KR100796051B1
Опубликовано: 21-01-2008
Автор(ы): 데쓰야 사이토, 마스히로 나쓰하라, 스미 다나카, 히로히코 나카타
Принадлежит: 동경 엘렉트론 주식회사, 스미토모덴키고교가부시키가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12074048B2. Автор: Yuji Kawaguchi,Hiroki Harada,Tokutarou Hayashi,Tatsuhiko Tsujihashi,Tsuyoshi OTSUKA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-27.

Substrate processing apparatus, operating method thereof, and photo spinner equipment

Номер патента: US20240178011A1. Автор: Ho Jin Jang. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Substrate processing apparatus and method

Номер патента: EP4407661A1. Автор: YANG Han,Xi Wang,HUI Wang,Jun Wang,Jian Wang,Hui Shen,Xiaoyan Zhang,Fuping CHEN,Shena JIA,Wenjun Wang,Yinxiao LU. Владелец: ACM Research Shanghai Inc. Дата публикации: 2024-07-31.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09589819B1. Автор: Satoshi Takano. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-03-07.

Substrate holding device, semiconductor fabrication device, and substrate clamping ascertainment method

Номер патента: US09601359B2. Автор: Weijiang Zhao,Kazuki TOBIKAWA. Владелец: Nissin Ion Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-21.

Substrate processing device and substrate processing method for carrying out chemical treatment for substrate

Номер патента: US09786527B2. Автор: Nobuyuki Shibayama. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-10.

Substrate processing apparatus and manufacturing method of substrate holding unit

Номер патента: US20180342479A1. Автор: Takashi Terada,Yoshitaka Otsuka,Munehisa Kodama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-11-29.

Substrate processing apparatus and manufacturing method of substrate holding unit

Номер патента: US10833045B2. Автор: Takashi Terada,Yoshitaka Otsuka,Munehisa Kodama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-11-10.

Substrate processing system and substrate processing method

Номер патента: US12128451B2. Автор: Junichi Ishii,Hiroaki Ishii,Kazuhiro Honsho. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-29.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US09768042B2. Автор: Ayumi Higuchi,Asuka WAKITA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-09-19.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09449807B2. Автор: Toshimitsu Namba. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09859136B2. Автор: Yoshifumi Amano,Yoichi Tokunaga,Hiromitsu Namba,. Fitrianto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-02.

Substrate processing apparatus and method of processing substrate

Номер патента: US20190091733A1. Автор: Michinori IWAO. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-03-28.

Substrate processing device, substrate processing method, and semiconductor manufacturing method

Номер патента: US20200312697A1. Автор: Tetsuo Ito,Kunio Yamada,Kazuki Inoue,Noriyuki Kikumoto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-01.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20190244835A1. Автор: Nobuaki Okita,Takayuki Nishida. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-08.

Substrate processing system and substrate processing method

Номер патента: US20220203409A1. Автор: Junichi Ishii,Hiroaki Ishii,Kazuhiro Honsho. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2022-06-30.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US11967509B2. Автор: Osamu Miyahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-23.

Substrate holding/rotating device, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method

Номер патента: US20180277417A1. Автор: Hiroaki Ishii,Ryo Muramoto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-09-27.

Substrate cleaning tool, substrate cleaning apparatus, substrate processing apparatus, substrate processing method, and method of manufacturing substrate cleaning tool

Номер патента: US20200066549A1. Автор: Tomoatsu Ishibashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-02-27.

Substrate processing apparatus and method of processing substrate

Номер патента: US10882080B2. Автор: Michinori IWAO. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2021-01-05.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US11881419B2. Автор: Masayuki Hayashi,Toru Endo,Nobuyuki Shibayama. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-23.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US10672627B2. Автор: Sadamu Fujii,Taiki HINODE,Nobuyuki Shibayama. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2020-06-02.

Substrate holding apparatus, exposure apparatus, and article manufacturing method

Номер патента: US20190369506A1. Автор: Akihiro Takahashi,Noboru Osaka,Shunya Sakata. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2019-12-05.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20070065760A1. Автор: Yoshitake Ito. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-03-22.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20200243350A1. Автор: Hiroshi Abe,Manabu Okutani,Naohiko YOSHIHARA,Katsuei HIGASHI,Tsutomu Osuka. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2020-07-30.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and substrate

Номер патента: US20240162052A1. Автор: Nobuhiko MOURI,Takanori Obaru. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-16.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US12054828B2. Автор: Kohei Fukushima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-06.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium

Номер патента: US12091751B2. Автор: Satoshi Takano,Naofumi Ohashi,Tomihiro Amano. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-09-17.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09997382B2. Автор: Kenji Kobayashi,Kazuhide Saito,Kenji Izumoto,Akihisa Iwasaki,Takemitsu Miura. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-12.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US11804387B2. Автор: Hiroaki Ishii,Masaki Iwami,Kazuki Inoue,Daichi YOSHITOMI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-31.

Process Chamber and Substrate Processing Apparatus Including the Same

Номер патента: US20210217636A1. Автор: Hyosan Lee,Kuntack Lee,Yong-jhin Cho,Jihoon Jeong,Young-Hoo Kim,Jung-min Oh,Yungjun Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2021-07-15.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230307262A1. Автор: Koichi Higuchi,Konosuke Hayashi. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12057326B2. Автор: Hiroaki Inadomi,Shota Umezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-06.

Substrate processing apparatus and method of cleaning the same

Номер патента: US20190055647A1. Автор: Kook Tae Kim,Bongjin Kuh,In-Sun Yi,Soojin HONG,Sukjin CHUNG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-02-21.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240339339A1. Автор: Hiroaki Inadomi,Shota Umezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180096837A1. Автор: Yi-Cheng Wang. Владелец: Wet Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-05.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20190153602A1. Автор: Shinichiro Misaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-05-23.

Substrate processing apparatus and method of substrate processing

Номер патента: US20230307261A1. Автор: Kenji Masui,Masatoshi Terayama. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: US20240096652A1. Автор: Kaori Umezawa,Kosuke TAKAI,Mana TANABE. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-03-21.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20090178762A1. Автор: Hironobu Shimizu,Nobuo Ishimaru. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2009-07-16.

Substrate holding mechanism, substrate placing method, and substrate releasing method

Номер патента: JP2022079225A. Автор: Toshiaki Takahara,敏明 高原,史 加賀美,Chikashi Kagami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-05-26.

Substrate holding member, substrate transfer arm and substrate transfer device

Номер патента: TW201110265A. Автор: Katsuhiro Morikawa,Seiji Nakano,Naruaki Iida,Suguru Enokida,Michiaki Matsushita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-03-16.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09768039B2. Автор: Yuki Yoshida,Satoru Tanaka,Kazuyoshi Shinohara,Hidetoshi Nakao,Norihiro Ito,Meitoku Aibara,Kazuhiro Aiura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-09-19.

Substrate holding/rotating device, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method

Номер патента: US09892955B2. Автор: Hiromichi KABA,Akihiko TAKI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-13.

Substrate processing system

Номер патента: US20160148827A1. Автор: Satoshi BIWA,Jiro Higashijima,Norihiro Ito,Terufumi Wakiyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-05-26.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20090178619A1. Автор: Hironobu Shimizu,Nobuo Ishimaru. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2009-07-16.

Substrate holding apparatus, substrate holding method, and substrate processing apparatus

Номер патента: US8141513B2. Автор: Kenichi Suzuki,Takahiro Ogawa,Masahiko Sekimoto,Seiji Katsuoka,Kenichi Kobayashi,Ryo Kato,Teruyuki Watanabe,Yasuyuki Motoshima,Naoki Dai. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2012-03-27.

Substrate holding and rotation mechanism and substrate processing apparatus

Номер патента: US11837482B2. Автор: Shuichi SUEMASA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-12-05.

Substrate holding method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20160284585A1. Автор: Hiroshi Kato,Kazutaka Kobayashi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-29.

Substrate holding device

Номер патента: US20190067073A1. Автор: Liwei Guan. Владелец: Ordos Yuansheng Optoelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2019-02-28.

Substrate holding hand and substrate conveying robot

Номер патента: US20230311342A1. Автор: Ippei Shimizu. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2023-10-05.

Substrate holding hand and substrate conveying robot

Номер патента: US20230311334A1. Автор: Ippei Shimizu. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2023-10-05.

Substrate holding hand and substrate conveying apparatus

Номер патента: US11837485B2. Автор: Tetsuya Yoshida,Shinya Kinoshita,Takayuki Fukushima,Ryosuke Kanamaru. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2023-12-05.

Substrate holding hand and substrate conveying robot

Номер патента: US20230317503A1. Автор: Ippei Shimizu. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2023-10-05.

Substrate holding hand and substrate conveying robot

Номер патента: US20230311339A1. Автор: Ippei Shimizu. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2023-10-05.

End effector and substrate conveying robot

Номер патента: US20160322247A1. Автор: Takayuki Fukushima,Daiki MIYAGAWA. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2016-11-03.

End effector and substrate conveying robot

Номер патента: US10297482B2. Автор: Takayuki Fukushima,Daiki MIYAGAWA. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2019-05-21.

Substrate holding hand and substrate conveying robot

Номер патента: US20240025052A1. Автор: Ippei Shimizu. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2024-01-25.

Substrate holding apparatus

Номер патента: US20230234791A1. Автор: Shinya Kinoshita. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2023-07-27.

Substrate holding hand and substrate conveying robot

Номер патента: US20240025054A1. Автор: Ippei Shimizu,Ryunosuke TAKAUJI. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2024-01-25.

Substrate processing device

Номер патента: US20240312803A1. Автор: Shusaku Matsumoto,Koichiro Kawano,Shiguma KATO,Tomoya Iwasaki. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-09-19.

Substrate holding member

Номер патента: US20240128117A1. Автор: Hiroyuki Nakamura,Kazuaki OOYACHI. Владелец: Niterra Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Substrate processing module and substrate processing device equipped with same

Номер патента: EP4459663A1. Автор: Yasunori DEGUCHI. Владелец: Daikin Finetech Ltd. Дата публикации: 2024-11-06.

Substrate processing device

Номер патента: US20220020616A1. Автор: Masaki Inaba. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2022-01-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240234173A1. Автор: Hiroki Koyama. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus, substrate transfer method and substrate transfer device

Номер патента: US09530676B2. Автор: Kenichi Suzuki,Hiroshi Sotozaki,Mitsuru Miyazaki,Toshio Yokoyama,Junji Kunisawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2016-12-27.

Substrate processing system

Номер патента: US20240258147A1. Автор: Shinichi Taniguchi,Akihiro Iwasaki,Tsuyoshi Tomita,Kenji Amahisa. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing apparatus, method of processing substrate, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium

Номер патента: US20240249962A1. Автор: Naofumi Ohashi,Hideharu Itatani. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240203702A1. Автор: Seungpil Chung,Sungik Park,Yongsu Jang,Jungyoon Yang,Inseong Lim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US20230085140A1. Автор: Naofumi Ohashi,Hideharu Itatani,Shun Matsui,Toshiro Koshimaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-03-16.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230084826A1. Автор: Jung Hwan Lee,Young Jun Kim,Sung Ho ROH,Cheong Hwan Jeong,Tae Dong Kim. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-16.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230207376A1. Автор: Kiyoshi Mori,Haruhiko Furuya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180019145A1. Автор: Eiichi Sugawara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-18.

Cooled pin lifter paddle for semiconductor substrate processing apparatus

Номер патента: US09859145B2. Автор: Andreas Fischer,Dean Larson. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and recording medium

Номер патента: US09852933B2. Автор: Norihiro Ito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-12-26.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09799542B2. Автор: Eiichi Sugawara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Substrate processing apparatus and method of transferring a substrate

Номер патента: US09786532B2. Автор: Takashi Mitsuya,Keiichi Kurashina,Masahiko Sekimoto,Kenichi Kobayashi,Toshio Yokoyama,Kenichi Akazawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-10-10.

Substrate processing apparatus, program for controlling the same, and method for fabricating semiconductor device

Номер патента: US09443748B2. Автор: Makoto Shirakawa. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-09-13.

Substrate processing device

Номер патента: US20230369029A1. Автор: Yunsang Kim,Hyoungkyu Son,Inhoe KIM,Donguk Kim,Jaewoong Sim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-16.

Apparatus for transferring substrate, substrate processing system and method of processing substrate

Номер патента: US20240120225A1. Автор: Akinori Shimamura,Dongwei Li,Hiromitsu Sakaue,Takehiro Shindo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: EP4333036A1. Автор: Jun Komori. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-06.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240079251A1. Автор: Jun Komori. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-07.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20200411296A1. Автор: Jeong Seok Kang. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-31.

Substrate processing unit, substrate transfer method, substrate cleansing process unit, and substrate plating apparatus

Номер патента: EP1920458A1. Автор: Kenichi Suzuki,Masahiko Sekimoto,Kenichi Kobayashi,Toshio Yokoyama,Ryo Kato,Teruyuki Watanabe. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2008-05-14.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: US11764055B2. Автор: Nobuyuki Shibayama,Hiromichi KABA,Toru EDO. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-19.

Substrate processing system

Номер патента: US20200126831A1. Автор: Ting-Yu Wu,Chuan-Chang Feng,Mao-Lin Liu. Владелец: Scientech Corp. Дата публикации: 2020-04-23.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240157408A1. Автор: Jiro Higashijima,Yusuke Hashimoto,Daisuke Goto,Nobuhiro Ogata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-16.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US09929008B2. Автор: Yu Sasaki,Kosuke Takahashi,Masahiko Kaminishi,Yu WAMURA,Fumiaki Hayase. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Substrate processing system

Номер патента: US11101157B2. Автор: Ting-Yu Wu,Chuan-Chang Feng,Mao-Lin Liu. Владелец: Scientech Corp. Дата публикации: 2021-08-24.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09555437B2. Автор: Hitoshi Nakai,Yasuhiko Ohashi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-31.

Substrate cleaning apparatus, substrate drying apparatus, substrate transport apparatus, substrate placing apparatus, substrate processing apparatus, charge amount control method, and charge amount control program

Номер патента: US20240145276A1. Автор: Yosuke Himori. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate holding apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US11961757B2. Автор: Ryo Muramoto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-16.

Substrate holding method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240258082A1. Автор: Shinsuke Oka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate conveying method, recording medium in which program is recorded for causing substrate conveying method to be executed, and substrate conveyor

Номер патента: US09368384B2. Автор: Yasushi Takeuchi,Masataka Sato,Katsuhiko Oyama,Daisuke Yamagishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-06-14.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: US10886133B2. Автор: Daisuke Shimizu,Masayuki Otsuji,Shota IWAHATA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2021-01-05.

Substrate processing system and substrate processing method

Номер патента: US11854840B2. Автор: Yuji Takimoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Substrate processing apparatus and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20230063662A1. Автор: Makoto Aida. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-03-02.

Method for manufacturing a substrate holding device, substrate holding device, and apparatus and method for processing or imaging a sample

Номер патента: NL2019356A. Автор: Johannes Martinus Peijster Jerry,Ijmert Scheffers Paul. Владелец: Mapper Lithography Ip Bv. Дата публикации: 2018-01-31.

Method for manufacturing a substrate holding device, substrate holding device, and apparatus and method for processing or imaging a sample

Номер патента: NL2019356B1. Автор: Johannes Martinus Peijster Jerry,Ijmert Scheffers Paul. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2019-09-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing apparatus control method

Номер патента: US20230411189A1. Автор: Tetsuya Shibata. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-21.

Substrate holding apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US20190287842A1. Автор: Osamu Yasunobe. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2019-09-19.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20190295862A1. Автор: Masayuki Hayashi,Toru Endo,Nobuyuki Shibayama. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-09-26.

Substrate holding device, lithography apparatus, and article production method

Номер патента: US20160170313A1. Автор: Naoki Funabashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2016-06-16.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230352328A1. Автор: Takashi Uno,Yoshinori Ikeda,Shigeru Moriyama,Ryo Yamamoto,Shota Umezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-02.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US11742232B2. Автор: Takashi Uno,Yoshinori Ikeda,Shigeru Moriyama,Ryo Yamamoto,Shota Umezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-29.

Substrate holding device, method for manufacturing such a device, and use of such a device in a lithography system

Номер патента: US09829804B1. Автор: Jerry Johannes Martinus Peijster,Paul IJmert SCHEFFERS. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2017-11-28.

Bonding method, substrate bonding device, and substrate bonding system

Номер патента: US20240304594A1. Автор: Akira Yamauchi. Владелец: BONDTECH CO Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate holding device, lithography apparatus, and article production method

Номер патента: US10431463B2. Автор: Naoki Funabashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2019-10-01.

Glass substrate-holding tool

Номер патента: US8192901B2. Автор: Junichi Kageyama. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2012-06-05.

Substrate holding device

Номер патента: US11776839B2. Автор: Masatoshi Onoda,Ippei Nishimura. Владелец: Nissin Ion Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-03.

Substrate holding system including an electrostatic chuck

Номер патента: US6048434A. Автор: Kazue Takahashi,Tsunehiko Tsubone,Naoyuki Tamura,Yoshifumi Ogawa,Hiroyuki Shichida,Youichi Ito. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2000-04-11.

Sample separating apparatus and method, and substrate manufacturing method

Номер патента: US20020134504A1. Автор: Kazuaki Omi,Takao Yonehara,Kiyofumi Sakaguchi,Kazutaka Yanagita. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-09-26.

Sample separating apparatus and method, and substrate manufacturing method

Номер патента: AU9819098A. Автор: Kazuaki Omi,Takao Yonehara,Kiyofumi Sakaguchi,Kazutaka Yanagita. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1999-08-26.

Bonding method, substrate bonding device, and substrate bonding system

Номер патента: EP4299230A1. Автор: Akira Yamauchi. Владелец: BONDTECH CO Ltd. Дата публикации: 2024-01-03.

Substrate holding device, semiconductor manufacturing apparatus and device manufacturing method

Номер патента: EP1843382A3. Автор: Shin Matsui. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2008-01-02.

Substrate holding apparatus

Номер патента: US20180082880A1. Автор: Nobuhiro Komine. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2018-03-22.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: EP4415033A1. Автор: Kazuki Nakamura,Yoshifumi Okada,Nobuaki Okita. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-14.

Substrate transfer robot and method of detecting optical-axis deviation of substrate hold hand

Номер патента: US11858147B2. Автор: Masaya Yoshida,Hiroyuki Okada. Владелец: Kawasaki Jukogyo KK. Дата публикации: 2024-01-02.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: EP4404242A1. Автор: Masayuki Nakanishi,Masayuki Satake,Yuta Mitsuki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-07-24.

Substrate processing device and dielectric plate alignment method

Номер патента: EP4394850A1. Автор: Ju-Young Park,Kwang-Sung YOO. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-07-03.

Substrate processing device and etching liquid

Номер патента: US20220213382A1. Автор: Koji Kagawa,Kenji Sekiguchi,Koukichi Hiroshiro,Tetsuya SAKAZAKI,Kazuyoshi Mizumoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-07-07.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and recording medium of performing liquid exchange processing according to liquid exchange condition

Номер патента: US11282719B2. Автор: Kouji Takuma,Go Ayabe,Jong Won Yun,Ryo Manabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-03-22.

Substrate processing apparatus, semiconductor device manufacturing method, substrate processing method, and recording medium

Номер патента: US09543220B2. Автор: Takeo Sato. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-01-10.

Substrate processing device and method of manufacturing substrate processing device

Номер патента: US20210287916A1. Автор: Satoshi Takeda,Manabu NAKAGAWASAI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-09-16.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20200083064A1. Автор: Nobuhiko MOURI,Kento Kurusu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-12.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US11482428B2. Автор: Nobuhiko MOURI,Kento Kurusu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-10-25.

Substrate processing apparatus and process control method thereof

Номер патента: US20230163003A1. Автор: Young Hwan YANG. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-25.

Substrate transferring unit, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20230062447A1. Автор: Kuntack Lee,Jihwan Park,Sangjine Park,Seungmin SHIN. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-03-02.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12094694B2. Автор: Sumi Tanaka,Tamihiro Kobayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US20240207900A1. Автор: Kazuki Nakamura,Yoshifumi Okada,Nobuaki Okita. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Processing liquid ejection nozzle, nozzle arm, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US11776824B2. Автор: Yoshifumi Amano,Kazuhiro Aiura,Tatsuhiro Ueki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-03.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20200105574A1. Автор: Satoshi Morita,Katsuhiro Morikawa,Masami Akimoto,Kouichi Mizunaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device using the same

Номер патента: US20230102650A1. Автор: Sungjoo An,Janghee Lee,Geuno JEONG,Seran OH. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-03-30.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US11742223B2. Автор: Yuji Kimura,Yoshihiro Kai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-29.

Substrate processing system

Номер патента: EP4407665A2. Автор: Shinichi Taniguchi,Akihiro Iwasaki,Tsuyoshi Tomita,Kenji Amahisa. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-31.

Control method of substrate processing apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240153748A1. Автор: Morihito Inagaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240274451A1. Автор: Masanobu Sato,Hiroshi Horiguchi,Saki Miyagawa. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Substrate processing apparatus

Номер патента: EP4420831A1. Автор: Kenichi Kobayashi,Makoto Kashiwagi,Mao Fujisawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-08-28.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09576808B2. Автор: Kenichiro Arai,Masahiro Miyagi,Toru Endo,Hirofumi MASUHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-02-21.

Substrate processing system

Номер патента: EP4407665A3. Автор: Shinichi Taniguchi,Akihiro Iwasaki,Tsuyoshi Tomita,Kenji Amahisa. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-11-06.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240234100A9. Автор: Je Ho Kim,Tae Suk Jung. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240128111A1. Автор: Tae Yong Kim,Byungin AN. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US10867817B2. Автор: Yuichi Yoshida,Yuzo Ohishi,Takaya Kikai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-12-15.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240213077A1. Автор: Woojin Chung,Kyungmo Kim,Jeongcheol LEE,Jungheum NAM,Myunggeun MIN. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20180218929A1. Автор: Yuichi Yoshida,Yuzo Ohishi,Takaya Kikai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-08-02.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20200168487A1. Автор: Yuichi Yoshida,Yuzo Ohishi,Takaya Kikai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-05-28.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US10615062B2. Автор: Yuichi Yoshida,Yuzo Ohishi,Takaya Kikai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-04-07.

Substrate processing apparatus and spray module of substrate processing apparatus

Номер патента: US20220392790A1. Автор: Jongchul Kim,InWoo BACK,YeongSeop BYEON,InCheol YEO. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-08.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240249956A1. Автор: Yohei Midorikawa,Ryo Kuwajima,Yohei NAKAGOMI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate processing apparatus and method of cleaning substrate processing apparatus

Номер патента: US12046485B2. Автор: Shusei TAKEBAYASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.

Substrate processing method, thermal processing apparatus, and semiconductor manufacturing equipment

Номер патента: US20240186161A1. Автор: Sung Kyu Park,Sung Yong Lee,Myung Hwan Oh. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US20230282505A1. Автор: Satoshi Takano,Naofumi Ohashi,Atsushi Moriya,Yukinori Aburatani. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-09-07.

Upper electrode unit and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20240297023A1. Автор: Jong Chan Lee,Kwang Sung Yoo,Seong Min Nam. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-09-05.

Substrate processing apparatus, substrate processing system, and maintenance method

Номер патента: US12040166B2. Автор: Jun Hirose,Atsushi Sawachi,Takuya Nishijima,Ichiro SONE,Suguru Sato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20190057890A1. Автор: Yoshitomo Sato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-02-21.

Substrate processing method

Номер патента: US20240250064A1. Автор: Yoshihisa Matsubara,Yoshihiro Tsutsumi,Yohei Yamashita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-25.

Upper electrode unit and substrate processing apparatus comprising same

Номер патента: EP4428897A1. Автор: Jong Chan Lee,Kwang Sung Yoo,Seong Min Nam. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-09-11.

Substrate processing apparatus, substrate processing system, and maintenance method

Номер патента: US20240339306A1. Автор: Jun Hirose,Atsushi Sawachi,Takuya Nishijima,Ichiro SONE,Suguru Sato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09964358B2. Автор: Takashi Miyamoto,Osamu Yamazaki,Konosuke Hayashi,Jun Matsushita. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2018-05-08.

Method of processing substrate and substrate processing apparatus

Номер патента: US09530657B2. Автор: Masahiro Ogasawara,Rui Takahashi,Masafumi Urakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-12-27.

Substrate processing method, substrate processing device, and processing fluid

Номер патента: US20230268172A1. Автор: kana Tahara,Yukifumi Yoshida. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-24.

Semiconductor processing device equipped with process chamber

Номер патента: US20180294173A1. Автор: Kee Won Suh. Владелец: ALLIED TECHFINDERS CO Ltd. Дата публикации: 2018-10-11.

Substrate processing apparatus and method

Номер патента: US20240213059A1. Автор: Gyeong Won SONG,Hee Man AHN,Sung Hun Eom,Jae Seung YU. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20150303077A1. Автор: Masatoshi Kaneda,Ryo Shimada,Kazuki NAGAMOTO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-10-22.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240240321A1. Автор: Jin An JUNG,Da Un Jung,In Woo BACK. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Substrate processing apparatus and plasma processing apparatus

Номер патента: US20220068658A1. Автор: Yasutaka HAMA,Shu Kino,Motoki NORO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-03-03.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20170278729A1. Автор: Takashi Ootagaki,Konosuke Hayashi. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2017-09-28.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20200135505A1. Автор: Takashi Ootagaki,Konosuke Hayashi. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2020-04-30.

Substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20200126822A1. Автор: Hitoshi Nakai,Manabu Okutani,Yasunori KANEMATSU. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2020-04-23.

Systems and methods for monitoring of a controlled environment in a substrate processing system

Номер патента: US20240304477A1. Автор: Bert Jongbloed,Gido Van Der Star. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate processing apparatus and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20240312800A1. Автор: Hakuba KITAGAWA. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-09-19.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240321624A1. Автор: Kenichiro Saito,Satoshi Ushida. Владелец: Daikin Finetech Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240355669A1. Автор: Yasutaka Mizomoto,Yohei Yamashita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-24.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: EP4456119A1. Автор: Ju Young Park,So Jin Jeong,Seong Min Nam,Da In Kim. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-10-30.

Substrate processing system, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20240355644A1. Автор: Naoki Shibata,Shinsuke TAKAKI,Yoji SAKATA,Tomoya ONITSUKA,Hiroki Tadatomo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-24.

Substrate processing system and particle removal method

Номер патента: US12062557B2. Автор: Tatsuya Morioka,Daisuke Hara,Akihiro Matsui,Hideyuki Osada,Genichi Nanasaki,Hikaru Nihei. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Substrate processing apparatus, processing apparatus, and method for manufacturing device

Номер патента: US09651868B2. Автор: Masaki Kato,Tohru Kiuchi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2017-05-16.

Substrate processing apparatus and substrate conveying apparatus for use in the same

Номер патента: US09624046B2. Автор: Ichiro Mitsuyoshi,Ryo Muramoto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-18.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and recording medium

Номер патента: US11257701B2. Автор: Hidekazu Kiyama,Kazutoshi Ishimaru,Takehiro Kadokura,Takashige Suematsu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-02-22.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230395390A1. Автор: Yoshihide Kihara,Maju TOMURA,Satoshi Ohuchida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-07.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230207344A1. Автор: Seiji Nakano,Tokutarou Hayashi,Yohei Yamawaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and substrate support

Номер патента: US20230304149A1. Автор: Kenichi Suzaki,Yuma IKEDA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Tools and methods for mounting transport rails in a substrate processing system

Номер патента: US20090279990A1. Автор: Stuart Scollay. Владелец: Intevac Inc. Дата публикации: 2009-11-12.

Substrate processing apparatus and method for fabricating semiconductor device using the same

Номер патента: US20240153811A1. Автор: Young Joon Kim,Sang Duk HWANG,Jai Hoon KANG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-05-09.

Substrate processing method, substrate processing apparatus, and storage medium

Номер патента: US09881784B2. Автор: Kazuyuki Mitsuoka,Takayuki Toshima,Takehiko Orii,Hiroki Ohno,Keiji Tanouchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-30.

Substrate holding mechanism, manufacturing method thereof, and substrate processing apparatus

Номер патента: JP4219927B2. Автор: 俊久 野沢. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-02-04.

SUBSTRATE HOLDING DEVICE, SEMICONDUCTOR FABRICATION DEVICE, AND SUBSTRATE CLAMPING ASCERTAINMENT METHOD

Номер патента: US20150162232A1. Автор: ZHAO Weijiang,TOBIKAWA Kazuki. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-11.

The keeping method of substrate holding mechanism, film formation device and substrate

Номер патента: CN107429386B. Автор: 金子俊则,大野哲宏,江上明史. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2019-09-27.

Substrate processing device, manufacturing method for semiconductor device, and reaction tube

Номер патента: US12062546B2. Автор: Tomoshi Taniyama,Takayuki Nakada,Hidenari YOSHIDA,Shigeru Odake. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-08-13.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and program

Номер патента: US9153430B2. Автор: Jie Wang,Takaaki Noda. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2015-10-06.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230311170A1. Автор: Toru Hirata,Yoshinori Ikeda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Substrate processing apparatus, substrate detection method of substrate processing apparatus and storage medium

Номер патента: US09691646B2. Автор: Kohei Mori,Kento Kurusu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-06-27.

Substrate processing method

Номер патента: US09956594B2. Автор: Atsuyasu Miura,Naoki Sawazaki. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-01.

Substrate processing device, manufacturing method for semiconductor device, and reaction tube

Номер патента: US20210159083A1. Автор: Tomoshi Taniyama,Takayuki Nakada,Hidenari YOSHIDA,Shigeru Odake. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2021-05-27.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US11915947B2. Автор: Koji Yamashita,Takumi Honda,Hironobu Hyakutake,Shinji Tahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-27.

Substrate treatment device and substrate treatment method

Номер патента: US20130025636A1. Автор: Nobuo Kobayashi,Yuji Nagashima,Yoshiaki Kurokawa,Koichi Hamada. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-01-31.

Substrate holding chuck

Номер патента: WO2019186578A1. Автор: Rajasekhar VEMURU VENKATA,Aakaash VAIDYANATHAN. Владелец: Navson Technologies Private Limited. Дата публикации: 2019-10-03.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US20240116087A1. Автор: Kenji Kawaguchi,Toru Endo,Kota TANIKAWA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-11.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US11883858B2. Автор: Kenji Kawaguchi,Toru Endo,Kota TANIKAWA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-30.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240100573A1. Автор: Manabu Yamamoto,Takashi Izuta,Mitsutoshi Sasaki. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-28.

Substrate holding member

Номер патента: US20180374739A1. Автор: Takashi Teshima,Norio Onodera. Владелец: NGK Spark Plug Co Ltd. Дата публикации: 2018-12-27.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20090229518A1. Автор: Kazuyoshi Yamamoto,TOKUNOBU Akao. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2009-09-17.

Substrate holding member and semiconductor manufacturing device

Номер патента: US20200161167A1. Автор: Tetsuya Inoue,Masao Yoshida. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2020-05-21.

Information processing device and information processing method

Номер патента: US20240242960A1. Автор: Mitsunori Sugiyama. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-07-18.

Substrate cleaning method, processing container cleaning method, and substrate processing device

Номер патента: US11504751B2. Автор: Kenji Sekiguchi,Shuuichi Nishikido,Kyoko Ikeda,Kazuya Dobashi,Tsunenaga Nakashima,Masato Nakajo,Takahiro YASUTAKE. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-11-22.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US09607865B2. Автор: Masahiro Abe,Yuji Nagashima,Masaaki Furuya,Takashi Ootagaki,Konosuke Hayashi,Atsushi Kinase. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2017-03-28.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: US20220068642A1. Автор: Yoshihisa Matsubara,Daisuke Suzuki,Koji Kagawa,Kenji Sekiguchi,Yoshihiro Takezawa,Syuhei YONEZAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-03-03.

Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US09711348B2. Автор: Atsushi Sano,Yoshiro Hirose. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-07-18.

Processing liquid supply device, substrate processing apparatus, and method for inspecting processing liquid supply device

Номер патента: US20230307263A1. Автор: Hiroaki Kobayashi,Hideki Mori,Masaaki Furuya. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20150243536A1. Автор: Yoshifumi Okada. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2015-08-27.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US10186418B2. Автор: Yoshifumi Okada. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-01-22.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09449857B2. Автор: Hiroaki Inadomi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20240242985A1. Автор: Kuntack Lee,Jihwan Park,Sangjine Park. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-18.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20110065288A1. Автор: Toru Harada,Masayoshi Minami. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2011-03-17.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20190103291A1. Автор: Tooru Nakamura,Kouji Kimoto,Hiroaki Inadomi,Yoshihisa Aoyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-04-04.

Substrate processing apparatus including heat-shield plate

Номер патента: US09953850B2. Автор: Byoung-Gyu Song,Kyong-Hun Kim,Yong-Ki Kim,Yang-Sik Shin,Il-Kwang Yang,Sung-Tae Je. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-24.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and computer-readable medium storing program

Номер патента: US09859109B2. Автор: Hideaki Sato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-02.

Organic solvent supplying apparatus, substrate processing method, and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240203726A1. Автор: Ki Bong Kim,Yong Hyun Choi,Myung Seok Cha,Ju Yeon SONG. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US12033864B2. Автор: Hiromi Miyashita,Rei Shoji. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-09.

Substrate processing apparatus and apparatus cleaning method

Номер патента: US12087599B2. Автор: Osamu Kuroda,Hidemasa ARATAKE,Kouzou Kanagawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-10.

Substrate processing method

Номер патента: US20110200949A1. Автор: Hiroshi Nakamura,Tadatoshi Tomita,Takafumi Niwa,Yuhei Kuwahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-08-18.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US12087598B2. Автор: Takashi Tsukamoto,Akinori Tanaka,Sadayoshi Horii,Daisuke Hara,Masahisa OKUNO,Toru Kakuda,Hideto TATENO,Takuya Joda. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-09-10.

Substrate processing method

Номер патента: US8367308B2. Автор: Hiroshi Nakamura,Tadatoshi Tomita,Takafumi Niwa,Yuhei Kuwahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-02-05.

Substrate processing apparatus, semiconductor device manufacturing method, and substrate processing method

Номер патента: US20240363309A1. Автор: Naofumi Ohashi,Tsuyoshi Takeda,Teruo Yoshino. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-10-31.

Substrate processing apparatus including exhaust ports and substrate processing method

Номер патента: US09875895B2. Автор: Byoung-Gyu Song,Kyong-Hun Kim,Yong-Ki Kim,Yang-Sik Shin,Il-Kwang Yang,Sung-Tae Je. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-23.

Substrate processing apparatus, method for manufacturing semiconductor device, and recording medium

Номер патента: US09816182B2. Автор: HIROSHI Ashihara,Yuichi Wada,Iwao Nakamura,Manabu Izumi,Hideto TATENO,Keishin Yamazaki,Takurou USHIDA. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and computer-readable storage medium recording therein substrate processing program

Номер патента: US09805957B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yuki Yoshida,Satoru Tanaka,Kazuyoshi Shinohara,Yosuke Kawabuchi,Kotaro Oishi,Hisashi Kawano. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-31.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09640382B2. Автор: Kenichiro Arai,Masahiro Miyagi,Toru Endo,Hirofumi MASUHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-02.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240194502A1. Автор: Gentaro Goshi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US10186422B2. Автор: Keiji Osada,Daisuke Morisawa,Naohide Ito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-01-22.

Substrate processing tube, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method using the apparatus

Номер патента: US20240011154A1. Автор: Jaehyung Lee,Hyunju Lee,Hyouncheol Kim,Byunghwan Kong,ByeongHoon Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-01-11.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US11499224B2. Автор: Tetsuaki Inada,Hideto TATENO. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2022-11-15.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: EP1801860A1. Автор: Takehiko c/o Tokyo Electron AT Limited ORII,Kenji c/o Tokyo Electron AT Limited SEKIGUCHI,Noritaka c/o Tokyo Electron Kyushu Ltd. UCHIDA,Satoru c/o Tokyo Electron Kyushu Limited TANAKA,Hiroki c/o Tokyo Electron AT Limited OHNO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-06-27.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and storage medium

Номер патента: US09978619B2. Автор: Naoki Tajima,Koji Motoi,Terutaka YAMAOKA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-22.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09972515B2. Автор: Kenichiro Arai,Masahiro Miyagi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-15.

Substrate processing apparatus and methods

Номер патента: US09972511B2. Автор: Takashi KURATOMI,Brent Biggs. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-05-15.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09970112B2. Автор: Kenichi Suzaki,Yasunobu Koshi,Akihito Yoshino. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-05-15.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09933702B2. Автор: Jiro Higashijima,Nobuhiro Ogata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-04-03.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09875920B1. Автор: Yasuhiro Mizuguchi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-01-23.

Substrate processing method, substrate processing apparatus, and computer-readable storage medium stored with substrate processing program

Номер патента: US09627192B2. Автор: Naoyuki Okamura,Kazuki Kosai,Fumihiro Kamimura,Kazuhiro Teraoka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-18.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20180185885A1. Автор: Akio Hashizume,Junichi Ishii,Takayuki Nishida. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-05.

Substrate processing method, substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US09502239B2. Автор: Masahisa OKUNO,Hideto TATENO,Takuya Joda,Masamichi Kurokawa,Tooru KAKUDA. Владелец: AZ Electronic Materials Luxembourg SARL. Дата публикации: 2016-11-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240213043A1. Автор: Euisang Lim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12044973B2. Автор: Hiroki Sakurai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.

Substrate processing system and method of manufacturing semiconductor device using the same

Номер патента: US20230175124A1. Автор: Jiwon KWAK,Songyi Baek,Taemin Kim,Sejin KYUNG,Daewee KONG,Youngtack SIM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-06-08.

Substrate processing system

Номер патента: US20240191351A1. Автор: Dieter Pierreux. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20220334491A1. Автор: Hiroki Sakurai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-10-20.

Proximity pin, substrate processing apparatus, and method of processing substrate in substrate processing apparatus

Номер патента: WO2019100201A1. Автор: Rong Li,Bin Hu,Hanlin Wang,Dawei Yang,Xinjie Zhang,Weishuai Zhang. Владелец: HEFEI XINSHENG OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2019-05-31.

Selectively groundable cover ring for substrate process chambers

Номер патента: US09472443B2. Автор: Zhenbin Ge,Muhammad M. Rasheed,Goichi Yoshidome,Kirankumar Savandaiah,William Johanson. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and program

Номер патента: EP4060077A2. Автор: Taketoshi Sato,Makoto Sambu,Hideharu Itatani. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2022-09-21.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12020936B2. Автор: Takeshi Tamura,Hirotoshi Mori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.

Substrate treating apparatus and substrate treating method

Номер патента: US20180182646A1. Автор: Yuta Sasaki,Yosuke Hanawa. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-28.

Substrate processing system for removing peripheral portion of substrate, substrate processing method and computer readable recording medium thereof

Номер патента: US11752576B2. Автор: Hayato TANOUE. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-12.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20160010210A1. Автор: Hidehiro Yanai. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-01-14.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20160059274A1. Автор: Katsuhiko Miya,Naozumi Fujiwara. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-03-03.

Substrate processing system with vertical arrangement structure

Номер патента: US20230260806A1. Автор: Hyung Chul Kim,Dong Hwa Lee,You Sun JUNG. Владелец: KCTech Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Substrate processing method

Номер патента: US20070004057A1. Автор: Toshio Kaneko,Toru Nishiwaki. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-01-04.

Substrate processing apparatus and substrate processing apparatus maintenance method

Номер патента: US20240240859A1. Автор: Mikio Nakashima,Takahiro Hayashida,Shota Umezaki,Takafumi YASUNAGA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Batch type substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device using the same

Номер патента: US20230054580A1. Автор: Minju Lee,Hyungjoon Kim,Sangyub IE,Eunyeoung CHOI. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-02-23.

Substrate processing method, substrate processing system and computer-readable recording medium

Номер патента: US20240290607A1. Автор: Takashi Uno,Satoshi Okawa,Naoyuki Okamura,Katsufumi Matsuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-29.

Substrate processing apparatus and method of processing a substrate and of manufacturing a processed workpiece

Номер патента: WO2019105944A8. Автор: Hartmut Rohrmann,Hubert Breuss,Heinz Felzer,Dominik Jaeger. Владелец: EVATEC AG. Дата публикации: 2020-05-22.

Substrate processing apparatus, substrate processing system, and substrate processing method

Номер патента: US12062563B2. Автор: Itsuki Kobata,Keita Yagi,Nobuyuki Takahashi,Yoichi Shiokawa,Toru Maruyama,Katsuhide Watanabe. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-08-13.

Substrate holding apparatus, substrate processing apparatus having substrate holding apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US12002704B2. Автор: Makoto Kashiwagi,Manao Hoshina. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-06-04.

Substrate holding apparatus, substrate processing apparatus having substrate holding apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20240282619A1. Автор: Makoto Kashiwagi,Manao Hoshina. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-08-22.

Method for displaying substrate positioning data, method for manufacturing semiconductor device, substrate processing device, and program

Номер патента: EP4220691A1. Автор: Takuya Kato,Susumu Nishiura,Hajime Abiko,Yuna SUIZU,Mitsuru Funakura. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-08-02.

Substrate processing apparatus and substrate holding apparatus

Номер патента: US20190318954A1. Автор: Tetsuji Togawa,Kenichi Kobayashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-10-17.

Substrate treatment method and substrate treatment apparatus

Номер патента: US09786522B2. Автор: Kenji Kobayashi,Manabu Okutani. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-10.

Substrate holding apparatus of a simple structure for holding a rotating substrate, and a substrate processing apparatus including the substrate holding apparatus

Номер патента: US5322079A. Автор: Yasushi Nakamura,Masami Ohtani,Yoshiteru Fukutomi. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 1994-06-21.

Substrate holding apparatus and method

Номер патента: US09519228B2. Автор: Sung Hune Yoo. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-12-13.

Glass substrate-holding tool and method for producing an euv mask blank by employing the same

Номер патента: SG186550A1. Автор: MITSUMORI Takahiro,Kinoshita Takeru,Ise Hirotoshi. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-30.

Substrate holding apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: EP3753674A1. Автор: Makoto Kashiwagi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-12-23.

Substrate holding apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US20200402835A1. Автор: Makoto Kashiwagi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-12-24.

Substrate holding device, exposure apparatus, and device manufacturing method

Номер патента: US09921490B2. Автор: Yuichi Shibazaki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2018-03-20.

Elastic membrane and substrate holding apparatus

Номер патента: US09884401B2. Автор: Hozumi Yasuda,Osamu Nabeya,Makoto Fukushima,Shingo Togashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-02-06.

Substrate holding device

Номер патента: US20210292106A1. Автор: Kazuhiko Irisawa. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2021-09-23.

Substrate holding board, manufacturing method of device, and exposure device

Номер патента: US20230125632A1. Автор: Keiji Hirabayashi,Shinji Fukui,Hideo Akiba,Toshinao Tatsuno. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-04-27.

Substrate holding device and substrate treating apparatus provided therewith

Номер патента: US20240253180A1. Автор: Wataru Yano,Takashi Shinohara,Ryota Sato,Junta MIYAMOTO. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate holding device and substrate treating apparatus provided therewith

Номер патента: EP4407667A1. Автор: Wataru Yano,Takashi Shinohara,Ryota Sato,Junta MIYAMOTO. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-31.

Substrate holding system and lithographic apparatus

Номер патента: WO2024008359A1. Автор: Dennis Dominic VAN DER VOORT,Diego MILLO. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-01-11.

Vacuum processing apparatus and substrate transfer method

Номер патента: US11688619B2. Автор: Shinji Wakabayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-06-27.

Substrate holding technique

Номер патента: US7508646B2. Автор: Atsushi Ito,Keiji Emoto. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2009-03-24.

Substrate holding apparatus, elastic membrane, polishing apparatus, and method for replacing elastic membrane

Номер патента: US11958163B2. Автор: Osamu Nabeya,Makoto Fukushima,Keisuke Namiki,Shingo Togashi,Satoru Yamaki,Masahiko KISHIMOTO,Tomoko OWADA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-04-16.

Accommodating apparatus and substrate processing system

Номер патента: US6268900B1. Автор: Haruo Iwatsu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2001-07-31.

Substrate holding member

Номер патента: US20240139913A1. Автор: Hiroyuki Nakamura,Kazuaki OOYACHI. Владелец: Niterra Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-02.

Processing system, processing method, measurement apparatus, substrate processing apparatus and article manufacturing method

Номер патента: US12140878B2. Автор: Shinichi Egashira. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-11-12.

Substrate cleaning device and substrate processing device

Номер патента: US20220402003A1. Автор: Mitsuru Miyazaki,Hisajiro NAKANO,Yohei Eto. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2022-12-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09808836B2. Автор: Kenya Ito,Tetsuji Togawa,Keisuke Uchiyama,Yu Ishii. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-11-07.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09566616B2. Автор: Kenya Ito,Tetsuji Togawa,Keisuke Uchiyama,Yu Ishii. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-02-14.

Substrate processing system with multiple processing devices deployed in shared ambient emvironment and associated methods

Номер патента: WO2012047531A3. Автор: Jeffrey Marks,David J. Hemker,Lubab L. Sheet. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2012-06-28.

Substrate processing apparatus, model data generation apparatus, substrate processing method, and model data generation method

Номер патента: US20240194507A1. Автор: Kiyoshi Mori,Tsuyoshi Moriya,Takayuki Yamagishi,Haruhiko Furuya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20220152780A1. Автор: Junichi Kitano,Yuichi Douki,Kouzou Kanagawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-05-19.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240274450A1. Автор: Masanobu Sato,Hiroshi Horiguchi,Saki Miyagawa. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09816183B2. Автор: HIROSHI Ashihara,Motoshi Sawada. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate processing apparatus, method for manufacturing semiconductor device and computer-readable recording medium

Номер патента: US09523150B2. Автор: Hideharu Itatani. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-12-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09490151B2. Автор: Hiroyuki Takahashi,Satoshi TODA,Yuji Asakawa,Yohei Midorikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-11-08.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20200411336A1. Автор: Masanobu Sato,Masayuki ORISAKA,Noritake SUMI,Daiki UEHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-31.

Substrate processing chamber, substrate processing system including the same, and substrate processing method using the same

Номер патента: US20230043451A1. Автор: Yongmyung Jun,Seohyun Kim,Hyunjin Ko,Jae Seong RYU,Inkwang BAE,Seungbu BAEK. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-02-09.

Substrate processing apparatus, alignment device, substrate processing method and alignment method

Номер патента: US20190049865A1. Автор: Joji KUWAHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-02-14.

Substrate processing module and method of moving a workpiece

Номер патента: US20240258136A1. Автор: Thomas Brezoczky,Kirankumar Neelasandra Savandaiah,Srinivasa Rao Yedla. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing module and method of moving a workpiece

Номер патента: US12080571B2. Автор: Thomas Brezoczky,Kirankumar Neelasandra Savandaiah,Srinivasa Rao Yedla. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-03.

Substrate processing apparatus, substrate processing system, electrical power supply system, and electrical power supply method

Номер патента: US20240297054A1. Автор: Naoki Fujiwara,Naoki Matsumoto,Naoki Mihara,Koichi Nagami,Shinya Ishikawa,Shinya Tamonoki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Gas injection apparatus and substrate processing apparatus using same

Номер патента: US09732424B2. Автор: Jung-Hwan Lee,Woo-young Park,Tae-Ho Hahm. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-15.

Substrate processing apparatus and method of detecting indentation formed in substrate

Номер патента: SG10201806154TA. Автор: Takahashi Nobuyuki,Wen Zhongxin,Sakugawa Suguru. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-02-27.

Substrate processing apparatus, information processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20210020487A1. Автор: Yuichi Takenaga,Youngtai KANG. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-01-21.

Electrostatic chuck, vacuum processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US12014946B2. Автор: Genji Sakata,Hidekazu Yokoo. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2024-06-18.

Package substrate processing method and protective tape

Номер патента: US20190109094A1. Автор: Youngsuk Kim,Byeongdeck Jang. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2019-04-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240269862A1. Автор: Takayuki Hatanaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230253221A1. Автор: Kaoru Sato,Hiromi Nitadori,Kiyohiko Gokon,Masato Kadobe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-10.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230253230A1. Автор: Kaoru Sato,Hiromi Nitadori,Kiyohiko Gokon,Masato Kadobe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20090192652A1. Автор: Tomoyuki Yamada. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2009-07-30.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09818630B2. Автор: Akira Takahashi,Kazuyuki Toyoda. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate processing apparatus and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US09530677B2. Автор: Akinori Tanaka,Daisuke Hara,Takatomo Yamaguchi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-12-27.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09687887B2. Автор: Atsuyasu Miura. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-27.

Substrate processing apparatus and method of estimating flow rate of processing liquid for substrate processing apparatus

Номер патента: US20240282603A1. Автор: Takashi Uno,Hiroshi Marumoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-22.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and storage medium

Номер патента: US09308559B2. Автор: Yoshifumi Amano. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-04-12.

Substrate cleaning device, substrate cleaning apparatus, cleaned substrate manufacturing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20150020851A1. Автор: Takeshi Sakurai,Koji Maruyama,Mitsuru Miyazaki,Eiji Hirai,Kaoru Hamaura. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2015-01-22.

Substrate cleaning device, substrate cleaning apparatus, method for manufacturing cleaned substrate and substrate processing apparatus

Номер патента: US20180308716A1. Автор: Takeshi Sakurai,Koji Maruyama,Mitsuru Miyazaki,Eiji Hirai,Kaoru Hamaura. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-10-25.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09818626B2. Автор: Yoshifumi Amano,Yuki Ito,Jiro Higashijima,Eiichiro Okamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230101475A1. Автор: Hiroki Tajiri,Masayuki ORISAKA,Takashi Izuta. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09793142B2. Автор: Yoshifumi Amano,Yuki Ito,Jiro Higashijima,Eiichiro Okamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-17.

Substrate processing system

Номер патента: US20110000428A1. Автор: Akihiko Sato,Tsutomu Sahoda,Futoshi Shimai. Владелец: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd. Дата публикации: 2011-01-06.

Substrate Treating Apparatus And Substrate Treating Method

Номер патента: US20130199578A1. Автор: Hiroyuki Araki,Kentaro Tokuri. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2013-08-08.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09721814B2. Автор: Masanobu Sato,Hiroyuki Yashiki. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-01.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230307264A1. Автор: Kunio Yamada,Masayuki Hayashi,Takashi Ota,Jiro Okuda,Tomoaki Aihara. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-28.

Substrate processing apparatus, substrate processing system, and substrate processing method

Номер патента: US20240162061A1. Автор: Yoshihiro Kawaguchi,Yohei Yamashita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-16.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US12046499B2. Автор: Kevin M. Bourbeau,Christopher BUSSIERE,Emilien Joseph Claude AUDERBRAND,Joseph M. HALLISEY. Владелец: Brooks Automation US LLC. Дата публикации: 2024-07-23.

Substrate liquid treatment apparatus and substrate liquid treatment method

Номер патента: US09570327B2. Автор: Masahiro Fukuda,Taro Yamamoto,Akihiro Kubo,Atsushi Ookouchi,Kenzi YADA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-02-14.

Substrate treatment apparatus, and substrate treatment method

Номер патента: US09601358B2. Автор: Kazuki Nakamura,Yoshinori Izumi,Akiyoshi Aomatsu,Shoji Uemae,Nobutaka Tanahashi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-21.

Substrate holding method and method of manufacturing electronic part

Номер патента: US20050210666A1. Автор: Kazuo Nishi,Hideaki Ninomiya,Hisao Morooka,Junichi Shimamura. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2005-09-29.

Substrate treatment method and substrate treatment apparatus

Номер патента: US09431277B2. Автор: Takashi Ota,Kazuhide Saito,Taiki HINODE. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-08-30.

Information processing device, inference device, and machine learning device

Номер патента: US20240338017A1. Автор: Takamasa Nakamura,Hirofumi OTAKI,Ching Wei Huang. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-10-10.

Information processing device, inference device, and machine learning device

Номер патента: US20240363449A1. Автор: Takamasa Nakamura,Hirofumi OTAKI,Ching Wei Huang,Sho ICHINOSE. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-10-31.

Substrate processing device, substrate processing method, and substrate processing system

Номер патента: US20160189991A1. Автор: Seiichiro Sano,Katsuaki Takagi,Satoshi Yamanaka,Yuzo Uchida. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-06-30.

Substrate processing device, substrate processing method, and substrate processing system

Номер патента: US09673072B2. Автор: Seiichiro Sano,Katsuaki Takagi,Satoshi Yamanaka,Yuzo Uchida. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-06.

Processing liquid supply device, substrate processing apparatus, and processing liquid supply method

Номер патента: US20230286013A1. Автор: Hiroaki Kobayashi,Hideki Mori,Masaaki Furuya. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2023-09-14.

Substrate processing apparatus

Номер патента: EP4100995A1. Автор: Kevin M. Bourbeau,Christopher BUSSIERE,Emilien Joseph Claude AUDERBRAND,Joseph M. HALLISEY. Владелец: Brooks Automation US LLC. Дата публикации: 2022-12-14.

Substrate processing device, substrate processing method, and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20220406626A1. Автор: Hiroshi Fujita,Tomohiko Sugita,Tatsuhiko Koide. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2022-12-22.

Method, device, and non-transitory computer readable medium for determining timing of removing substrate from cassette in substrate processing device, and substrate processing device

Номер патента: US12119246B2. Автор: Hidetatsu Isokawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-10-15.

Substrate processing device and substrate transfer method

Номер патента: US09929030B2. Автор: Shinji Wakabayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Substrate processing apparatus and maintenance method thereof

Номер патента: US09613837B2. Автор: Ken Horiuchi,Koji Ando,Shigeru Senzaki,Michishige Saito,Shingo Koiwa,Daiki Satoh. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-04.

Substrate processing device and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20180082869A1. Автор: Katsuhiro Sato,Hiroaki Yamada,Yuya Akeboshi,Shinsuke MURAKI. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2018-03-22.

Substrate processing device comprising door unit having inclined surface

Номер патента: US11701693B2. Автор: Hyung Chul Kim,Dong Hwa Lee,You Sun JUNG. Владелец: KCTech Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-18.

Substrate processing device comprising door unit having inclined surface

Номер патента: US20230001462A1. Автор: Hyung Chul Kim,Dong Hwa Lee,You Sun JUNG. Владелец: KCTech Co Ltd. Дата публикации: 2023-01-05.

Substrate processing device

Номер патента: US20240318307A1. Автор: Heeyeon Kim,Seongho Park,Hyunho Choi,Byunghwan Kong,Seongwan KIM,Heesun Song. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US09601357B2. Автор: Koji Hashimoto,Masahiro Miyagi,Mitsukazu Takahashi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-21.

Substrate processing device

Номер патента: US11767589B2. Автор: Jaemin Roh. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-09-26.

Substrate processing device

Номер патента: US11767589B2. Автор: Jaemin Roh. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-09-26.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US09553003B2. Автор: Masahiro Abe,Yuji Nagashima,Masaaki Furuya,Takashi Ootagaki,Konosuke Hayashi,Atsushi Kinase. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2017-01-24.

Substrate processing device

Номер патента: US20240213041A1. Автор: Thomas Jongwan Kwon,Youngdae Chung,Chengyeh Hsu,Taeshin KIM. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate processing device

Номер патента: US20240278288A1. Автор: Tomoyuki Shinohara,Kazuma FUNAHASHI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-22.

Substrate processing device and method for operating the same

Номер патента: US20240234164A1. Автор: Ki Hoon Jang,Won Keun Cho,Dong Hoon KWON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240201602A1. Автор: Cheng Cheng,HUI Wang,Jun Wang,Jun Wu,Mark Lee,Andrew Jung,Bruce SOHN,Yy KIM. Владелец: Cleanchip Technologies Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing system and substrate processing method

Номер патента: US20240249964A1. Автор: Seiji Nakashima,Shinsuke TAKAKI,Akihiro TERAMOTO,Ryo SHOBU. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20120160805A1. Автор: Mitsuo Suzuki,Kiyoshi Ehara. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2012-06-28.

Substrate processing method

Номер патента: SG177250A1. Автор: Shinya Nakamura,Yoshinori Fujii,Hideto Nagashima. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-02-28.

Substrate processing method

Номер патента: US20240234189A1. Автор: Tomohiro Takahashi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09703199B2. Автор: Takashi Taguchi,Toru Asano,Tsuyoshi Mitsuhashi,Yukio Toriyama. Владелец: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-11.

Learned model generating method, abnormality factor estimating device, substrate processing device, abnormality factor estimating method, learning method, learning device, and learning data generating method

Номер патента: US20210304032A1. Автор: Takashi Ota,Naoki Sawazaki,Asuka WAKITA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2021-09-30.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12033872B2. Автор: Hiroshi Yoshida,Takashi Nagai,Koji Ogura,Takumi Honda,Jun Nonaka,Keita Hirase. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-09.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240254628A1. Автор: Manabu Honma. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20180197748A1. Автор: Kazuaki Nishimura,Koji Takeya,Jun Lin. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-07-12.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240282598A1. Автор: Hiroshi Marumoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-22.

Substrate processing system, substrate processing method, and control program

Номер патента: US12062559B2. Автор: Minoru Nagasawa,Kunio Takano,Toshiharu Hirata,Takafumi Matsuhashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Substrate processing apparatus and substrate processing system

Номер патента: US20240253093A1. Автор: Koji Ando,Noritake SUMI,Tomohiro Motono. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240321650A1. Автор: Yuji Otsuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US12091753B2. Автор: Manabu Honma. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Compact substrate processing tool with multi-station processing and pre-processing and/or post-processing stations

Номер патента: US09916995B2. Автор: Karl Leeser. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09766617B2. Автор: Keiji Osada,Junichi Ogawa,Youichi Nakayama,Hiroaki DEWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-09-19.

Continuous substrate processing system

Номер патента: US09748125B2. Автор: Nag B. Patibandla,Li-Qun Xia,Banqiu Wu,Toshiaki Fujita,Pravin K. Narwankar,Ralf Hofmann,Jeonghoon Oh,Srinivas Satya. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-08-29.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, fluid supplying method and storage medium

Номер патента: US09662685B2. Автор: Gentaro Goshi,Kazuyuki Mitsuoka,Takayuki Toshima,Takehiko Orii,Hiroki Ohno,Gen You. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-05-30.

Substrate processing apparatus including auxiliary gas supply port

Номер патента: US09593415B2. Автор: Byoung-Gyu Song,Kyong-Hun Kim,Yong-Ki Kim,Yang-Sik Shin,Il-Kwang Yang,Sung-Tae Je. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-14.

Learning device, information processing apparatus, substrate processing device, substrate processing system, learning method, recipe determination method and non-transitory computer-readable medium storing learning program

Номер патента: US20230090836A1. Автор: Yuta Sasaki,Yosuke Hanawa,Shogo Kunieda. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-23.

Maintenance System, and Substrate Processing Device

Номер патента: US20150012124A1. Автор: Tsutomu Hiroki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-01-08.

Slide and pivot assemblies for process module bias assemblies of substrate processing systems

Номер патента: US20230154772A1. Автор: BIN Yuan,Michael C. Kellogg,David William Paquet,Dexter Yuk Hing CHONG. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-05-18.

Substrate transferring apparatus, and liquid processing apparatus and substrate processing equipment including same

Номер патента: US20240222174A1. Автор: Eun Jung Lee,Young Jin Jang,Gui Su PARK,Jun Hyun LIM,Hee Jun YOUN,Seul Gi CHOI. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and storage medium

Номер патента: US9337070B2. Автор: Hideaki Sato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-05-10.

Substrate processing method and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: US20060289431A1. Автор: Shinichi Ito,Tsuyoshi Shibata,Kei Hayasaki,Koutarou Sho. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-12-28.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230257877A1. Автор: Yasushi Takeuchi,Manabu Honma,Junnosuke Taguchi,Ibuki HAYASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Substrate processing apparatus and method of driving relay member

Номер патента: US20220037125A1. Автор: Shin Matsuura,Nobutaka Sasaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-02-03.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US12080526B2. Автор: Do Hyung Kim,Young Woon Kim,Woong Kyo Oh,Kwang Su YOO,Yun Gyu HA. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-03.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium

Номер патента: US20230027653A1. Автор: Kazuyoshi Yamamoto,Kazuhide Asai,Hidemoto HAYASHIHARA,Kayoko Yashiki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-01-26.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230241636A1. Автор: Yoko TAKAKITA. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2023-08-03.

Internal pressure control apparatus and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20240304427A1. Автор: Tae-hyun Kim,Sang Ki Nam,Sung Ho Jang,Seul Gi Lee. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240304452A1. Автор: Hiroshi Marumoto,Tsunemoto OGATA,Suguen Lee. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240301555A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate processing system

Номер патента: US20200411341A1. Автор: George Xinsheng Guo. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-12-31.

Substrate processing apparatus, monitoring device of substrate processing apparatus, and monitoring method of substrate processing apparatus

Номер патента: US09927373B2. Автор: Motoi Okada,Shigeyuki IIDA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and recording medium recording substrate processing program

Номер патента: US09824861B2. Автор: Junya Sato,Yoshikazu Ishikawa,Toshihiko Hamada,Toshiyuki Kobayashi,Masahiro Numakura,Shouichi Otake. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-21.

Support information display method, maintenance support method of substrate processing apparatus, support information display control apparatus, substrate processing system and recording medium

Номер патента: US09810905B2. Автор: Hiroshi Nakamura,Toru Yamauchi,Toshiaki Kodama,Sensho Kobayashi,Kazuya Uoyama,Gaku Ikeda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-07.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09721815B2. Автор: Hiroaki Takahashi,Kentaro Tokuri. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-01.

Substrate processing apparatus, method of operating substrate processing apparatus, and storage medium

Номер патента: US09696262B2. Автор: Katsuhiro Morikawa,Ikuo Sunaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-07-04.

Substrate processing system and substrate transfer control method

Номер патента: US09646864B2. Автор: Daisuke Morisawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-05-09.

Batch-type vertical substrate processing apparatus and substrate holder

Номер патента: US09613838B2. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuhide Hasebe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-04.

Acoustically-monitored semiconductor substrate processing systems and methods

Номер патента: US09429247B2. Автор: Michael Johnson,Joseph Yudovsky,Todd J. Egan,Kommisetti SUBRAHMANYAM. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-08-30.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and storage medium

Номер патента: US09396978B2. Автор: Takeshi Matsumoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-07-19.

Substrate processing device

Номер патента: US20190198356A1. Автор: Ayumi Higuchi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-06-27.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240234183A1. Автор: Naofumi Ohashi,Teruo Yoshino,Tadashi Takasaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230307254A1. Автор: Yuta Segawa,Chiaki MORIYA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-28.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20130084709A1. Автор: Masahiro Miyagi,Kazunori Fujikawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-04-04.

Substrate processing baffle, substrate processing apparatus including the same, and processing apparatus fabrication method

Номер патента: US20240175629A1. Автор: Kuntack Lee,Ji Hwan Park,Sangjine Park. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-05-30.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US12051605B2. Автор: Yusuke Hashimoto,Hiroki Sakurai,Daisuke Goto,Takahiro Koga,Nobuhiro Ogata,Kanta Mori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-30.

Substrate processing system

Номер патента: US20200257269A1. Автор: Masanori Nakayama,Tsukasa Kamakura. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2020-08-13.

Substrate processing system, substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium

Номер патента: US20240014055A1. Автор: Kazuyoshi Yamamoto,Kazuhide Asai,Hidemoto HAYASHIHARA,Kayoko Yashiki,Kyohei Kita. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-01-11.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20190206695A1. Автор: Kazuya Koyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-07-04.

Substrate processing system having improved substrate transport system

Номер патента: US20090060689A1. Автор: G. X. Guo,K. A. Wang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-03-05.

Substrate processing baffle, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method using the same

Номер патента: US20240280906A1. Автор: Kuntack Lee,Ji Hwan Park,Sangjine Park. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-22.

Method, computer program product and apparatus for scheduling maintenance actions in a substrate processing system

Номер патента: US20050033463A1. Автор: Wim Tel,Harm Rossing,Suzan Auer-Jongepier. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2005-02-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method using the same

Номер патента: US20240266144A1. Автор: Kyung-Sun Kim,Jaewon Jeong,Naohiko Okunishi,SeungBo SHIM,Kyeongtea BANG,Kihwan Jang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-08.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240299971A1. Автор: Masafumi Suzuki,Shigehiro Goto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate processing apparatus and method thereof

Номер патента: US20240326406A1. Автор: Seong Soo JEONG. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-03.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: EP4447096A1. Автор: Masafumi Suzuki,Shigehiro Goto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-16.

Substrate processing apparatus, mixing method, and substrate processing method

Номер патента: US12068175B2. Автор: Hiroshi Yoshida,Yoshinori Nishiwaki,Takao Inada,Jun Nonaka,Kouji Ogura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-20.

Flexible temperature compensation systems and methods for substrate processing systems

Номер патента: US09864361B2. Автор: Andrew D. Bailey, III,Marcus Carbery. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-01-09.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09852931B2. Автор: Masanobu Sato,Masahiro Miyagi,Hiroyuki Araki. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-26.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09795999B2. Автор: Takashi Ootagaki,Konosuke Hayashi,Yosuke Himori. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2017-10-24.

Control apparatus, substrate processing apparatus, and substrate processing system

Номер патента: US09772624B2. Автор: Takanori Saito,Yuichi Takenaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-09-26.

Substrate processing method, program, computer-readable storage medium, and substrate processing system

Номер патента: US09690185B2. Автор: Hidetami Yaegashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-06-27.

Substrate processing apparatus, method of processing substrate, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09548229B2. Автор: Masamichi Yachi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-01-17.

System for monitoring failure of substrate processing apparatus, and method for monitoring failure of substrate processing apparatus

Номер патента: US09412256B2. Автор: Ichiro NAMIOKA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-08-09.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09373528B2. Автор: Mitsunori Komatsu,Toru Maruyama. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2016-06-21.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09330950B2. Автор: Shinji Wakabayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-05-03.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US11823921B2. Автор: Shuichi Yasuda,Kazuhiro Fujita,Takahiro Yamaguchi,Noriyuki Kikumoto,Michinori IWAO. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-21.

Block valve for substrate processing device, and substrate processing device

Номер патента: US20230228339A1. Автор: Tae Ho Lee,Myeong Ki MIN. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-20.

Substrate processing apparatus and method thereof

Номер патента: US20240210836A1. Автор: Young Seop CHOI,Joo Sung Lee,Bok Kyu Lee,Je Myung Cha,Myung A Jeon. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240231232A1. Автор: Tsuyoshi Watanabe,Yoji SAKATA,Masashi Tsuchiyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing system

Номер патента: WO2024151636A1. Автор: Jairo T. Moura,Robert T. Caveney. Владелец: Brooks Automation Us, Llc. Дата публикации: 2024-07-18.

Substrate processing apparatus

Номер патента: EP4333035A1. Автор: Jun Komori. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-06.

Substrate processing in a process chamber for semiconductor manufacturing and apparatus management controller with error analysis

Номер патента: US11086304B2. Автор: Kazuyoshi Yamamoto,Hiroyuki Iwakura,Kazuhide Asai,Hidemoto HAYASHIHARA,Takayuki KAWAGISHI,Kayoko Yashiki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2021-08-10.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US12080572B2. Автор: Masahiro DOGOME,Masatomo KITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-03.

Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20170062245A1. Автор: Sang-Dong Kwon,Sang-Rok Oh,Jong-Woo Sun,Kwang-Nam Kim,Jung-pyo HONG,Yong-Moon Jang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2017-03-02.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium

Номер патента: US20240319707A1. Автор: Shinichiro Mori,Hiroyuki Mitsui,Yuji Yamaoka,Hiroshi Ekko,Kyo TAKATA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and program

Номер патента: EP4435537A1. Автор: Shinichiro Mori,Hiroyuki Mitsui,Yuji Yamaoka,Hiroshi Ekko,Kyo TAKATA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-09-25.

Substrate processing system

Номер патента: US20240355654A1. Автор: Jairo T. Moura,Robert T. Caveney. Владелец: Brooks Automation US LLC. Дата публикации: 2024-10-24.

Substrate processing apparatus

Номер патента: EP4451310A1. Автор: Jong Chan Lee,Kwang Sung Yoo,Hyen Woo Chu. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-10-23.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09698037B2. Автор: Yuichi Matsuda,Tomoyuki Yamada,Takashi Nogami,Shinobu Sugiura,Seiyo Nakashima. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-07-04.

Substrate processing method

Номер патента: US09543162B2. Автор: Takashi Ota,Kazuhide Saito,Taiki HINODE. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-10.

Substrate processing device, substrate processing system, and data processing method

Номер патента: EP4325549A1. Автор: Takashi Ota,Takashi Ikeuchi,Tetsuya Hiraoka,Hideji NAOHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-21.

Substrate processing device

Номер патента: US11869788B2. Автор: HAIYANG Xu,Koji Maeda,Tetsuya Yashima,Mitsuhiko Inaba. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-01-09.

Data processing method, data processing device, and storage medium

Номер патента: US12008022B2. Автор: Takashi Ikeuchi,Hideji NAOHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230369018A1. Автор: Jaewon Shin,Sangjeong LEE,Jongwon Park,Yoonseok Choi,Kyunghun JANG,Youngun Bong,Hanlim Kang,Hyunwoo Jo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-16.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240006160A1. Автор: Yunsang Kim,Kwangryul Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-04.

Management device for substrate processing system and management method for substrate processing system

Номер патента: US20230205174A1. Автор: Man Gyu LEE. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240100647A1. Автор: Boun Yoon,Donghoon Kwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-03-28.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240234093A1. Автор: Sejin Oh,Dougyong Sung. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20160121373A1. Автор: Daisuke Aoki,Junya Minamida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-05-05.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20070009649A1. Автор: Hiroshi Nakamura,Seiichi Kaise. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-01-11.

Improved heater for use in substrate processing apparatus to deposit tungsten

Номер патента: EP1080485A1. Автор: Jun Zhao,Talex Sajoto,Leonid Selyutin. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-03-07.

Chiller make-break connector for substrate processing systems

Номер патента: US12074039B2. Автор: Alexander Charles Marcacci. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-08-27.

Substrate processing system including coil with RF powered faraday shield

Номер патента: US12087557B2. Автор: SHEN Peng,Anthony Nguyen,Dan Marohl,Tamarak Pandhumsoporn. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-09-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20130340796A1. Автор: Itaru Kanno,Norihiro Ito,Yosuke Hachiya,Kotaro Ooishi,Hisashi Kawano,Jun Nogami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-12-26.

Polishing cleaning mechanism, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US09669510B2. Автор: Masahiro Fukuda,Taro Yamamoto,Akihiro Kubo,Masashi Enomoto,Noboru Nakashima,Kenji Yada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-06-06.

Substrate holding mechanism, substrate polishing apparatus and substrate polishing method

Номер патента: WO2004060610A3. Автор: Hiroyuki Yano,Yoshikuni Tateyama,Kenji Iwade,Toshio Watanabe,Tetsuji Togawa,Gen Toyota. Владелец: Gen Toyota. Дата публикации: 2004-11-25.

Substrate processing apparatus, linked processing system, and substrate processing method

Номер патента: US11784057B2. Автор: Jong Won Yun. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-10.

Substrate holding apparatus and polishing apparatus

Номер патента: US09550268B2. Автор: Hiroyuki Shinozaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-01-24.

Substrate transport apparatus, substrate processing apparatus, and dew condensation suppression method

Номер патента: US20170284727A1. Автор: Kenichi Suzuki,Kenichiro Saito,Ryuichi Kosuge. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-10-05.

Substrate holding apparatus, polishing apparatus, and polishing method

Номер патента: EP1839812A2. Автор: Kenichiro Saito,Hozumi Yasuda,Osamu Nabeya,Tetsuji Togawa,Makoto Fukushima,Tomoshi Inoue. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2007-10-03.

Substrate processing device, polishing device, and substrate processing method

Номер патента: US20240139782A1. Автор: Kohei Sato,Hiroki Takahashi,Koichi Fukaya,Daichi Kondo. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate processing device and determination method

Номер патента: US11461136B2. Автор: Ken Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-10-04.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US12106941B2. Автор: Chul-Joo Hwang. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-01.

Method of manufacturing semiconductor device and substrate processing apparatus

Номер патента: US09472398B2. Автор: Tatsuyuki Saito,Masanori Sakai,Yukinao Kaga,Takashi Yokogawa. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-10-18.

Substrate processing method

Номер патента: US20240254619A1. Автор: SeungJu Chun. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing device equipped with semicircle shaped antenna

Номер патента: US09416451B2. Автор: Il Kwang Yang,Byung Gyu Song,Song Hwan Park,Sung Tae Je. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-08-16.

Film forming method and substrate processing device

Номер патента: US20240274436A1. Автор: Keiichi Nagasaka,Toru Kitada,Shota ISHIBASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Method of Manufacturing Semiconductor Device, Substrate Processing Apparatus and Non-Transitory Computer-Readable Recording Medium

Номер патента: US20150147891A1. Автор: Atsushi Sano,Yoshiro Hirose. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2015-05-28.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US12018373B2. Автор: Seiyo Nakashima. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-06-25.

Structure and method for fabricating semiconductor structures having instruction decoders and dispatchers formed of monocrystaline compound semiconductor material

Номер патента: US20030034503A1. Автор: Timothy Johnson,David Gurney,Raymond Essick,Dale Bengtson. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2003-02-20.

Substrate processing system and substrate processing method

Номер патента: US20240242975A1. Автор: Kotaro Tsurusaki,Yoshihiro Kai,Keiji Onzuka,Kouzou Kanagawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Substrate processing apparatus, substrate processing system, and substrate processing method

Номер патента: US12045037B2. Автор: Koji Hashimoto,Masahiro Yamamoto,Shinji Shimizu,Hiroshi Horiguchi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.

Substrate Processing Apparatus and Method of Manufacturing Semiconductor Device

Номер патента: US20240096597A1. Автор: Takeshi Yasui,Koichiro Harada,Katsunori Funaki,Yasutoshi Tsubota. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-03-21.

Substrate processing system, liquid amount measuring method, and computer-readable recording medium

Номер патента: US20220171294A1. Автор: Shinichi Hatakeyama,Akihiro TERAMOTO,Yuichiro KUNUGIMOTO,Yuta Nishiyama,Shota Ueyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-06-02.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20180033618A1. Автор: Kazuo Yabe,Jun Ogawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-01.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20210159095A1. Автор: Masami Yamashita,Gentaro Goshi,Toru Ihara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-05-27.

Substrate processing tool with integrated metrology and method of using

Номер патента: US20190295870A1. Автор: Robert Clark,Kandabara Tapily. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-09-26.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180305816A1. Автор: Akira Takahashi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-10-25.

Substrate processing apparatus including processing unit

Номер патента: US09869019B2. Автор: Byoung-Gyu Song,Kyong-Hun Kim,Yong-Ki Kim,Yang-Sik Shin,Il-Kwang Yang. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-16.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09865454B2. Автор: Hitoshi Kato,Jun Sato,Masato Yonezawa,Hiroyuki Kikuchi,Shigehiro Miura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-09.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09818600B2. Автор: Takayuki Sato. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and semiconductor device

Номер патента: US09496134B2. Автор: Shinya Sasaki,Yuji Takebayashi,Shintaro Kogura. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-11-15.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US11837445B2. Автор: Chul-Joo Hwang. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-05.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US20240055233A1. Автор: Chul-Joo Hwang. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-15.

Substrate processing device, substrate processing system, and method for processing substrate

Номер патента: US20240068068A1. Автор: Daisuke Mori,Masashi Okada,Kazuhiro Sonoda. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2024-02-29.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240189856A1. Автор: Koichi Matsunaga,Teruhiko Kodama,Hideaki Iwasaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220285166A1. Автор: Takumi Honda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-09-08.

Systems and methods for removing particles from a substrate processing chamber using rf plasma cycling and purging

Номер патента: US20170011893A1. Автор: Hu Kang,Adrien Lavoie. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2017-01-12.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and recording medium

Номер патента: US20190139791A1. Автор: Hiromi Kiyose. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-05-09.

Magnet holding structures for plasma processing applications

Номер патента: WO2022086709A1. Автор: Canfeng Lai,Andrew Nguyen,Kallol Bera,Sathya Swaroop GANTA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-04-28.

Substrate processing method, method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US20230091850A1. Автор: Yuji Takebayashi,Shota Tanaka,Yusaku OKAJIMA,Hiroki HATTA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-03-23.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US20200168434A1. Автор: Masanori Nakayama,Teruo Yoshino,Koichiro Harada,Hiroto Igawa,Masaki Murobayashi. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2020-05-28.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20200144052A1. Автор: Gentaro Goshi,Keisuke Egashira. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-05-07.

Magnetic holding structures for plasma processing applications

Номер патента: US20240297059A1. Автор: Canfeng Lai,Andrew Nguyen,Kallol Bera,Sathya Swaroop GANTA. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-05.

Substrate processing method and plasma processing apparatus

Номер патента: EP4428898A2. Автор: Maju TOMURA,Ryutaro Suda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-11.

Substrate processing method and substrate processing system

Номер патента: US09953840B2. Автор: Mitsunori Nakamori,Hiromi Kiyose,Kazuyuki Mitsuoka,Hiroshi Marumoto,Hisashi Kawano. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-04-24.

Systems and methods for removing particles from a substrate processing chamber using RF plasma cycling and purging

Номер патента: US09899195B2. Автор: Hu Kang,Adrien Lavoie. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-02-20.

Coating system and method for coating interior fluid wetted surfaces of a component of a semiconductor substrate processing apparatus

Номер патента: US09873940B2. Автор: Tom Stevenson,LIN Xu,Hong Shih,John Daugherty,John Michael Kerns,Robert Griffith O'Neill,Nash Anderson. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-01-23.

Methods for removing contamination from surfaces in substrate processing systems

Номер патента: US09805914B2. Автор: Chun Yan,Xinyu Bao,Adam Lane,Zhenwen Ding,Teng-Fang Kuo,Jim Zhongyi He. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-31.

Method for processing substrate and substrate processing apparatus

Номер патента: US09768012B2. Автор: Masanori Sakai,Tsutomu Kato,Yuji Takebayashi,Hirohisa Yamazaki. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-09-19.

Systems and methods for eliminating flourine residue in a substrate processing chamber using a plasma-based process

Номер патента: US09601319B1. Автор: Joydeep Guha,Andrew Stratton Bravo,Amit Pharkya. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2017-03-21.

Systems and methods for removing particles from a substrate processing chamber using RF plasma cycling and purging

Номер патента: US09478408B2. Автор: Hu Kang,Adrien Lavoie. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Substrate processing device, method for preparing substrate processing device, and substrate processing method

Номер патента: US20220415613A1. Автор: Won Tae Cho. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-29.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240234170A9. Автор: Kenji Fukushima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing method and plasma processing apparatus

Номер патента: US20210366721A1. Автор: Hiroyuki Kobayashi,Masaru Izawa,Nobuya MIYOSHI,Kazunori Shinoda,Yutaka Kouzuma. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-11-25.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12027393B2. Автор: Takuya Mori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing system, and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US20230099451A1. Автор: Osamu Ueda,Kazuhide Asai,Norihito SHINOZAWA,Takanori KYOGOKU. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-03-30.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20210335636A1. Автор: Takuya Mori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-10-28.

Method of cleaning semiconductor substrate, and method of manufacturing semiconductor device and semiconductor substrate processing apparatus for use in the same

Номер патента: US20060046500A1. Автор: MAKOTO Miyamoto. Владелец: Renesas Technology Corp. Дата публикации: 2006-03-02.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US12065746B2. Автор: Masaki Inaba,Yasutoshi Okuno,Akihisa Iwasaki. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-20.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230057538A1. Автор: Chul-Joo Hwang,Duck Ho Kim,Il Hyong CHO. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-23.

Substrate processing method and substrate processing system

Номер патента: US20240282578A1. Автор: Takayuki Katsunuma,Masanobu Honda,Yoshihide Kihara,Toru Hisamatsu,Shinya Ishikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-22.

Substrate processing method, substrate processing apparatus and substrate processing system

Номер патента: US20240288775A1. Автор: Soichiro Okada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-29.

Substrate processing apparatus and processing liquid supply method

Номер патента: US20180090306A1. Автор: Jiro Higashijima,Yusuke Hashimoto,Nobuhiro Ogata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-29.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US09970109B2. Автор: Jun Yoshikawa,Motoshi Fukudome. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-15.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and method of processing substrate

Номер патента: US09695511B2. Автор: Hitoshi Murata,Masaaki Ueno,Tetsuya Kosugi,Masashi Sugishita. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-07-04.

Group management apparatus, substrate processing system and method of managing files of substrate processing apparatus

Номер патента: US09400794B2. Автор: Osamu Ueda,Hiroyuki Iwakura,Kazuhide Asai. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-07-26.

Schedule preparation method for substrate processing device and substrate processing device

Номер патента: US10514684B2. Автор: Satoshi Yamanaka. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-12-24.

Substrate supporting unit and a substrate processing device including the same

Номер патента: US11866823B2. Автор: Seunghwan Lee,HakYong Kwon,Sungbae Kim,Jongsu Kim,JuHyuk Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-01-09.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: US20220333249A1. Автор: Munehito Kagaya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-10-20.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: US20240203709A1. Автор: Dong Hwan Choi,Kwang su PARK,Kyung Ran PARK,Won Uk CHAE,Cheol Young Choi. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20200152443A1. Автор: Jiro Higashijima,Yusuke Hashimoto,Nobuhiro Ogata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-05-14.

Substrate processing apparatus, substrate mounting table cover, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer readable recording medium

Номер патента: US20220415700A1. Автор: Takayuki Sato,Yuichiro Takeshima,Masaki Murobayashi,Tomokazu WAKUI. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2022-12-29.

Substrate processing method

Номер патента: US20100048026A1. Автор: Takashi Sone,Ellchl Nishimura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-02-25.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20210063882A1. Автор: Keiichi Tanaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Substrate processing apparatus including nozzle unit and substrate processing method

Номер патента: US20240091819A1. Автор: Hyeon Jun Lee,So Young PARK,Ju Hwan Lee,Myung A Jeon. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-21.

Liquid chemical supplying system, substrate processing system, and substrate processing method

Номер патента: US20160368030A1. Автор: Sang Won Bae,Hyosan Lee,Seokhoon Kim,Kuntack Lee,Kyoung Hwan Kim,Jung-min Oh,Ingi KIM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2016-12-22.

Substrate processing apparatus and method of processing substrate

Номер патента: US11733612B2. Автор: Kazuya Iwata,Norihisa Koga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-22.

Substrate processing tool with integrated metrology and method of using

Номер патента: US11769677B2. Автор: Robert Clark,Kandabara Tapily. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-26.

Substrate weight measurement apparatus, a substrate processing apparatus including the same, and a method of processing a substrate using the substrate processing apparatus

Номер патента: US20230384681A1. Автор: Kuntack Lee,Ji Hwan Park,Sangjine Park. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-11-30.

Substrate processing apparatus and semiconductor device producing method

Номер патента: US20110212626A1. Автор: Masanori Sakai,Tomohiro Yoshimura. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-09-01.

Substrate processing apparatus and semiconductor device producing method

Номер патента: US8901011B2. Автор: Masanori Sakai,Tomohiro Yoshimura. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2014-12-02.

Substrate Processing Apparatus and Semiconductor Device Producing Method

Номер патента: US20080153309A1. Автор: Masanori Sakai,Tomohiro Yoshimura. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2008-06-26.

Method of manufacturing semiconductor device and substrate processing apparatus

Номер патента: US20110294280A1. Автор: Yoshiro Hirose,Yushin Takasawa,Hajime Karasawa. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2011-12-01.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20210063883A1. Автор: Keiichi Tanaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20180195178A1. Автор: Masayuki Otsuji. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-12.

Plasma generating device, substrate processing apparatus, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20240249923A1. Автор: Akihiro Sato,Tsuyoshi Takeda,Yukitomo Hirochi. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and substrate manufacturing method

Номер патента: US20240312804A1. Автор: Yohei Yamashita,Gousuke Shiraishi,Hayato TANOUE,Kento ARAKI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Substrate processing device

Номер патента: US20170117160A1. Автор: Akio Hashizume,Takashi Ota. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-27.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20220134375A1. Автор: Tomohiro Takahashi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2022-05-05.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20070277856A1. Автор: Akio Hashizume. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-12-06.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09623434B2. Автор: Yoshifumi Amano. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-18.

Polishing head for holding substrate and substrate processing apparatus

Номер патента: US20200306924A1. Автор: Kenichi Kobayashi,Makoto Kashiwagi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-10-01.

Substrate holding apparatus

Номер патента: US20050118935A1. Автор: Hozumi Yasuda,Osamu Nabeya,Tetsuji Togawa,Makoto Fukushima,Kunihiko Sakurai,Nobuyuki Takada,Keisuke Namiki,Ikutaro Noji,Shunichiro Kojima,Hideki Takayanagi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-06-02.

Electronic apparatus, contactless switch, and photoelectric sensor comprising a housing with a substrate holding part for fixing one or more substrates to a predetermined position

Номер патента: US11798754B2. Автор: Kazuyoshi Nishikawa,Yuki ISAGAWA. Владелец: Omron Corp. Дата публикации: 2023-10-24.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: EP4231785A1. Автор: Kiyoshi Maeda,Yasuhiko Saito,Atsutoshi Inokuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-23.

Substrate processing method, substrate processing device, and method of manufacturing a semiconductor device

Номер патента: US20240120177A1. Автор: Kyung-Sun Kim,Seung Bo SHIM,Tae-Hwa Kim,Ji Mo LEE,Jae Bin KIM,Dong Hyeon Na,Myeong Soo SHIN,Woong Jin CHEON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-04-11.

Substrate processing method including reprocessing rejected wafers

Номер патента: US09847263B2. Автор: Tsuneo Torikoshi,Hirofumi OTAKI. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-12-19.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240014011A1. Автор: Hyun Kim,Kang Hee KIM,Yong Taek Eom. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-11.

Prediction method and apparatus for substrate processing apparatus

Номер патента: US20070215574A1. Автор: Hideki Tanaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-09-20.

Substrate processing method and control apparatus

Номер патента: US09798317B2. Автор: Katsuhiko Komori,Yuichi Takenaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Substrate processing method

Номер патента: US20110237083A1. Автор: Akira Nakagawa,Yoshinobu Hayakawa,Yusuke Okazaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-09-29.

Precoat method for substrate processing apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240191349A1. Автор: Atsushi Tanaka,Taichi Monden. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220251709A1. Автор: Takafumi Niwa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-11.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240290609A1. Автор: Tadahiro Ishizaka,Takashi Sakuma,Yoshiyuki Hanada,Kunihiro Tada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-29.

Electromagnetic dipole for plasma density tuning in a substrate processing chamber

Номер патента: US09779953B2. Автор: Joseph F. Aubuchon,Tza-Jing Gung,Samer Banna. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-03.

Processing gas diffusing and supplying unit and substrate processing apparatus

Номер патента: US09484213B2. Автор: Toshifumi Ishida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-11-01.

Substrate processing apparatus and substrate processing system

Номер патента: US09431220B1. Автор: Naofumi Ohashi,Atsuhiko Suda,Kazuyuki Toyoda,Masanori Nakayama,Shun Matsui. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-08-30.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240194497A1. Автор: Takao Matsumoto,Hajime NISHIDE,Kwichang KANG. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220384151A1. Автор: Shinya Ishikawa,Sho Kumakura,Yuta NAKANE. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-12-01.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220189779A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Yu Nunoshige. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-06-16.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230207339A1. Автор: Kohei Sato,Hiroki Takahashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-06-29.

Substrate processing system and substrate processing method

Номер патента: US20240307821A1. Автор: Koji Kagawa,Mitsunori Nakamori,Yosuke Hachiya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Method of performing maintenance on substrate processing apparatus, and the substrate processing apparatus

Номер патента: US20240339307A1. Автор: Takahiro Murakami,Takayuki Suzuki,Yuya MINOURA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Substrate processing method and substrate processing system

Номер патента: US12051571B2. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa,Kazuya Ichiki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-30.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09659767B2. Автор: HIROSHI Ashihara,Atsushi Sano,Hidehiro Yanai,Tadashi Takasaki. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-05-23.

Method for cleaning chamber or component, substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: EP4383314A1. Автор: Sho Kumakura,Yuta NAKANE. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-12.

Substrate processing device

Номер патента: US11813646B2. Автор: Joichi Nishimura,Nobuaki Okita. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-14.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230386787A1. Автор: Kiyoshi Maeda,Yasuhiko Saito,Atsutoshi Inokuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.

Vacuum molding apparatus, substrate processing system having the same and substrate processing method using the same

Номер патента: US20150056754A1. Автор: Seock Hyun Park. Владелец: Samsung Electro Mechanics Co Ltd. Дата публикации: 2015-02-26.

Substrate processing apparatus, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20240212989A1. Автор: Shin Hiyama,Hidehiro Yanai,Toru Kakuda,Toshiya Shimada,Tomohiro Amano. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20080075640A1. Автор: Teruo Yoshino,Tomohiko Takeda,Nobuo Ishimaru,Katsuyoshi Hamano,Ken Sugihara. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2008-03-27.

Focus ring, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method using the same

Номер патента: US20230143327A1. Автор: Sang Ki Nam,Kyung-Sun Kim,Kangmin JEON,Nam Kyun Kim,Kuihyun YOON,Seunghan BAEK,Dongseok Han. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-05-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20220293398A1. Автор: WonKi Jeong,DaeYoun Kim,JuIll Lee,Hyungchul Moon,GeunHwi Kim. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2022-09-15.

High-pressure container, substrate processing apparatus, and method for manufacturing high-pressure container

Номер патента: US20140145390A1. Автор: Kazuyuki Mitsuoka,Takayuki Toshima,Takehiko Orii,Hiroki Ohno,Gen You,Hiroaki Inadomi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-05-29.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240258107A1. Автор: kana Tahara,Masaki Inaba,Ryo Muramoto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20150059645A1. Автор: Koji Hashimoto,Masahiro Miyagi,Toru Endo. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2015-03-05.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US8883030B2. Автор: Koji Hashimoto,Masahiro Miyagi,Toru Endo. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2014-11-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09713822B2. Автор: Koji Hashimoto,Masahiro Miyagi,Toru Endo. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-25.

Substrate holding member, substrate processing device, method for controlling substrate processing device, and storage medium storing programs

Номер патента: US20190252213A1. Автор: Ryuya KOIZUMI. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-08-15.

Substrate holding member, substrate processing device, method for controlling substrate processing device, and storage medium storing programs

Номер патента: US10818527B2. Автор: Ryuya KOIZUMI. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-10-27.

Substrate treatment method and substrate treatment device

Номер патента: US20240001411A1. Автор: Takahiro Yamaguchi,Toru Endo,Yuji Okita,Akira Ishimaru,Hideji NAOHARA,Ryuta Tsukahara,Katsuei HIGASHI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-04.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230294124A1. Автор: Jun Komori. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

Substrate processing apparatus

Номер патента: EP4258328A1. Автор: Jun Komori. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-11.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240021445A1. Автор: Hiroyuki Higashi,Hiroki Sakurai,Nobuhiro Ogata,Minsung Kim,Shinichi Umeno,Yenrui Hsu,Shoki MIZUGUCHI,Kazuya Goda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-01-18.

Automatic determination method of inspection region for substrate holding state abnormality inspection and substrate processing system

Номер патента: US10242459B2. Автор: Hiroshi Sano. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-03-26.

Automatic determination method of inspection region for substrate holding state abnormality inspection and substrate processing system

Номер патента: US20170236303A1. Автор: Hiroshi Sano. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-17.

Substrate treatment method and substrate treatment device

Номер патента: US20200111715A1. Автор: Yuji Okita,Hiroaki Kakuma,Hideji NAOHARA,Tatsuya Masui. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2020-04-09.

Substrate processing device using multi-zone heat transfer structure and temperature control method

Номер патента: US20240304487A1. Автор: Ji Hwan Kim,Gi Chung Kwon,Hee Tae KWON,In Young BANG. Владелец: Industry Academic Collaboration Foundation of Kwangwoon University. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate drying device and substrate drying method

Номер патента: US20230005762A1. Автор: Tomoatsu Ishibashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-01-05.

Substrate processing device, method for controlling substrate processing device, and storage medium storing a program

Номер патента: US10991605B2. Автор: Takuya Tsushima,Junitsu Yamakawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2021-04-27.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US09607867B2. Автор: Yuji Kajihara. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2017-03-28.

Valve module and substrate processing device comprising the same

Номер патента: US12092235B2. Автор: Jae Min Lee,Sang Min Kim. Владелец: Presys Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Motor attachment bracket, motor attachment structure, and substrate processing apparatus

Номер патента: SG10201800586RA. Автор: Tanaka Hideaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-08-30.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: EP4394847A1. Автор: Masayuki Nakanishi,Masayuki Satake,Yuta Mitsuki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-07-03.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium

Номер патента: US20240224238A1. Автор: Tomoshi Taniyama,Takayuki Nakada,Kenji Shirako,Daigi KAMIMURA,Hironori Shimada,Akira Horii,Norihiro YAMASHIMA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-04.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US20240243019A1. Автор: Masanori Nakayama,Hiroki Kishimoto,Hiroto Igawa,Yuki Yamakado,Yuichiro Takeshima,Yasutoshi Tsubota. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-18.

Substrate processing module and laser beam providing method

Номер патента: US20240006167A1. Автор: Yunsang Kim,Kwang Ryul Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-04.

Substrate processing apparatus, program, storage medium and conditioning necessity determining method

Номер патента: US20090143890A1. Автор: Daisuke Morisawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-06-04.

Substrate processing apparatus, program, storage medium and conditioning necessity determining method

Номер патента: US8255072B2. Автор: Daisuke Morisawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-08-28.

Substrate processing system and group management device

Номер патента: US20230101147A1. Автор: Ryuichi Kimura,Hiroakira MATSUI,Naruhisa MIYAZAKI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Substrate processing method, recording medium, and substrate processing apparatus

Номер патента: US12083553B2. Автор: Yusuke MIYAKUBO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-10.

Substrate processing method

Номер патента: US09477162B2. Автор: Tetsuya Hamada,Shuichi Yasuda,Tadashi Miyagi,Koji Kaneyama,Kazuhito Shigemori,Masashi Kanaoka. Владелец: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd. Дата публикации: 2016-10-25.

Substrate processing device, method for controlling substrate processing device, and storage medium storing a program

Номер патента: US20190181026A1. Автор: Takuya Tsushima,Junitsu Yamakawa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-06-13.

Substrate processing apparatus, substrate processing module, and semiconductor device fabrication method

Номер патента: US20210148760A1. Автор: Jongwoo SUN,Hyung Joo Lee,Kyeonghun KIM,Jeongil MUN. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2021-05-20.

Substrate processing apparatus and fluid heating device

Номер патента: US20240234172A9. Автор: Takahiro Hayashida,Shigeru Moriyama,Shota Umezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus and fluid heating device

Номер патента: US20240136206A1. Автор: Takahiro Hayashida,Shigeru Moriyama,Shota Umezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-25.

Substrate processing apparatus equipped with substrate scanner

Номер патента: US20210280444A1. Автор: Hsin-Hsu Lin,Ming-Tso Chen,Kao-Hua Wu,Ming-Che Lai,Hua-Wei Peng,Chia-He Cheng,Chao-Chi Lu,Kuo-Tsai Lo,Huan-Hsin Yeh. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2021-09-09.

Substrate processing apparatus for supplying gas of water repellent agent and substrate processing method

Номер патента: US12042815B2. Автор: Koji Tanaka,Koji Yamashita,Yusuke Yamamoto,Kotaro Tsurusaki,Kouzou Kanagawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20100285225A1. Автор: Shuichi Yasuda,Tadashi Miyagi,Koji Kaneyama,Kazuhito Shigemori,Masashi Kanaoka. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2010-11-11.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240361072A1. Автор: Kazuhiro Shoji,Tomohiro Uemura,Shuhei NEMOTO,Ryotaro SHINOHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-31.

Substrate processing apparatus and control method for a substrate processing apparatus

Номер патента: US20240120204A1. Автор: Yuji Takimoto,Keisuke Tsugao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-11.

Substrate processing system and its control method

Номер патента: US20240055283A1. Автор: Kenji Ikeda,Tasuku Suzuki,Nobuyuki Kawabata,Jun Kitagawa,Masato Anzai,Taichi YOSHIOKA. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-02-15.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20140363587A1. Автор: Jeung Hoon Han,Song Whe Huh. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-11.

Autoconfiguration of hardware components of various modules of a substrate processing tool

Номер патента: WO2021141665A1. Автор: Bridget Hill,Scott Baldwin,Raymond Chau,Rainer UNTERGUGGENBERGER,Thomas A. STUBBLEBINE. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2021-07-15.

Semiconductor substrate processing apparatus and the method thereof

Номер патента: US20230203654A1. Автор: Todd Dunn,Taku Omori,Cheuk Li,Aadil Vora,Paridhi GUPTA. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-06-29.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180164702A1. Автор: Naofumi Ohashi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-06-14.

Recipe creation method or apparatus utilizing a series of steps according to a target recipe file for semiconductor manufacturing or substrating processing

Номер патента: US12066815B2. Автор: Takatoshi Seki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-08-20.

Autoconfiguration of hardware components of various modules of a substrate processing tool

Номер патента: US12073224B2. Автор: Bridget Hill,Scott Baldwin,Raymond Chau,Rainer UNTERGUGGENBERGER,Thomas A. STUBBLEBINE. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-08-27.

Machine learning platform for substrate processing

Номер патента: EP4405766A1. Автор: David Everton Norman. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-31.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US11587805B2. Автор: Masanobu Watanabe,Katsunori Ichino,Tomoki Okazawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-02-21.

Substrate processing apparatus, control method, and computer-readable storage medium

Номер патента: US12094737B2. Автор: Atsushi Yamamoto,Kenji Adachi,Masato Imamura,Tomohiko Muta,Masayuki Kajiwara,Katsunori Ichino,Takeaki Sakamoto,Daisuke Ishimaru,Takuya Tajiri,Tetsuro Iriyama,Hiroki Okaguchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09960073B2. Автор: Jeung Hoon Han,Song Whe Huh. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-01.

Part for substrate processing apparatus and substrate processing system

Номер патента: US20210178523A1. Автор: Michishige Saito,Sho Yamahira. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-06-17.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US12042813B2. Автор: Hiroshi Abe,Kenji Kobayashi,Takashi Ota,Wataru Sakai,Ryo Muramoto,Manabu Okutani,Takaaki Ishizu,Sei Negoro. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.

Defect control and stability of dc bias in rf plasma-based substrate processing systems using molecular reactive purge gas

Номер патента: US20180347046A1. Автор: Arul Dhas,Christopher Ramsayer,Kareem Boumatar. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-12-06.

Substrate processing apparatus and display device using the same

Номер патента: US10825837B2. Автор: Jeong Kweon Park,Jinwook KWAK,Jangcheol KIM,Ik Hyun KUON,Ju Ik HONG. Владелец: LG Display Co Ltd. Дата публикации: 2020-11-03.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240261814A1. Автор: Hiroshi Abe,Kenji Kobayashi,Takashi Ota,Wataru Sakai,Ryo Muramoto,Manabu Okutani,Takaaki Ishizu,Sei Negoro. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Substrate processing apparatus and display device using the same

Номер патента: US20180097018A1. Автор: Jeong Kweon Park,Jinwook KWAK,Jangcheol KIM,Ik Hyun KUON,Ju Ik HONG. Владелец: LG Display Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-05.

Electrostatic chuck, glass substrate processing method, and said glass substrate

Номер патента: US09866151B2. Автор: Toshifumi Sugawara,Yoshiaki Tatsumi. Владелец: Creative Technology Corp. Дата публикации: 2018-01-09.

Home port and substrate processing apparatus using same

Номер патента: US20230195030A1. Автор: Tae Hoon Lee,Do Yeon Kim,Young Jun SON,Hyun Yoon. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-22.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230241634A1. Автор: Yuji Okita,Hiroaki Kakuma,Hideji NAOHARA,Tatsuya Masui,Yuichi DEBA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-03.

Schedule creation method, schedule creating device, substrate processing apparatus, substrate processing system, and storage medium

Номер патента: US20230041766A1. Автор: Jun Kawai,Takashi Kasahara,Keisuke Inugai. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-09.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device using the same

Номер патента: US20230178396A1. Автор: Seok Heo,Young Ho Hwang,Eun Seok SEO,Jun O PARK,Jae Hong Lim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-06-08.

Discharge method, discharge system and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20230052781A1. Автор: Daesoo Kim,Jimin CHOI. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-16.

Substrate processing system printed-circuit control board assembly with one or more heater layers

Номер патента: US20190166700A1. Автор: Eric Pape,Fred Dennis Egley,Changyou Jing. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2019-05-30.

Substrate processing system printed-circuit control board assembly with one or more heater layers

Номер патента: WO2019108365A1. Автор: Eric Pape,Changyou Jing,Fred Egley. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2019-06-06.

Substrate Processing System with a Damage Preventing Function

Номер патента: US20150129420A1. Автор: Sang Hyun Park,Dong Hyun Lee,Sung Jin Park,Kwang Jin Jeon,Jin Haon Kwon,Hyun Pil Oh. Владелец: SNU PRECISION CO LTD. Дата публикации: 2015-05-14.

In-situ film growth rate monitoring apparatus, systems, and methods for substrate processing

Номер патента: US12077880B2. Автор: Yong Zheng,TAO Sheng,Nyi Oo Myo,Zhepeng Cong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-03.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20200027688A1. Автор: Shinji Kubota,Naohiko Okunishi,Shota Kaneko,Yosuke Tamuro. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-23.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09779921B2. Автор: Nobuo Yamaguchi,Susumu Akiyama,Kazuaki Matsuo,Satoshi Uchino,Yoshimitsu Shimane. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2017-10-03.

Substrate holding device

Номер патента: US20230140269A1. Автор: Masatoshi Onoda,Yusuke Otsuki,Ippei Nishimura. Владелец: Nissin Ion Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-04.

Keyswitch support connection structure and keyswitch structure therewith

Номер патента: US12131874B2. Автор: Chin-Hung Lin,Ling-Hsi Chao,Liang-Ta Yeh,Po-Chun Hou. Владелец: Darfon Electronics Corp. Дата публикации: 2024-10-29.

Keyswitch support connection structure and keyswitch structure therewith

Номер патента: US20210304981A1. Автор: Chin-Hung Lin,Ling-Hsi Chao,Liang-Ta Yeh,Po-Chun Hou. Владелец: Darfon Electronics Corp. Дата публикации: 2021-09-30.

Terminal temporary holding structure and resolver including terminal temporary holding structure

Номер патента: US09595769B2. Автор: Yoshiaki Ozaki. Владелец: Japan Aviation Electronics Industry Ltd. Дата публикации: 2017-03-14.

Connector holding structure and electronic device

Номер патента: US20210075153A1. Автор: Yoichi Matsuo. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2021-03-11.

Anode electrode structure, lithium-ion battery, method of making an anode electrode structure, method of making a lithium-ion battery, and substrate processing system for producing an anode electrode structure

Номер патента: WO2022039964A8. Автор: Roland Trassl. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-09-01.

Anode electrode structure, lithium-ion battery, method of making an anode electrode structure, method of making a lith him -i on battery, and substrate processing system for producing an anode electrode structure

Номер патента: WO2022039964A1. Автор: Roland Trassl. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-02-24.

Substrate Processing Apparatus, Electrode Structure and Method of Manufacturing Semiconductor Device

Номер патента: US20230307212A1. Автор: Tsuyoshi Takeda,Hiroshi Nakajo,Daisuke Hara,Iichiro Tsuchikura. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Substrate processing device and method for manufacturing same

Номер патента: US20240136162A1. Автор: Young Gon Kim,Dongwook Kim,Jong Woo Lim,Nam Hui LEE,Min Choul HYUN,Jewook KIM. Владелец: Electro Static Technology Inc. Дата публикации: 2024-04-25.

Substrate processing device and method for manufacturing same

Номер патента: US20240234109A9. Автор: Young Gon Kim,Dongwook Kim,Jong Woo Lim,Nam Hui LEE,Min Choul HYUN,Jewook KIM. Владелец: Electro Static Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Electrical break for substrate processing systems

Номер патента: US20240339302A1. Автор: Andrew Nguyen,Tom K. Cho,Yogananda SARODE VISHWANATH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-10.

Input keyboard apparatus for information processing device and other keyboard devices

Номер патента: WO1993002865A1. Автор: Jeffrey P. Szmanda,William J. Szmanda. Владелец: Health Care Keyboard Company. Дата публикации: 1993-02-18.

Input Keyboard Apparatus for Information Processing Device and Other Keyboard Devices

Номер патента: CA2093014A1. Автор: Jeffrey P. Szmanda,William J. Szmanda. Владелец: Individual. Дата публикации: 1993-02-09.

Plasma shutter and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20240096606A1. Автор: Hyungsik KO. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-03-21.

Substrate processing apparatus and method for processing substrate

Номер патента: US20230245858A1. Автор: Hitoshi Kato,Hiroyuki Kikuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-03.

Substrate processing method

Номер патента: US20230235457A1. Автор: Ji Hyun Cho,Hong Min Yoon,Jae Sung Roh,Chul Joo Hwang,Cheong SON,Se Whan JIN,Hong Soo YOON,Youn Joo JANG. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-27.

Method of cleaning substrate processing apparatus

Номер патента: US09925571B2. Автор: Akihiro Kikuchi,Mitsuhiro Tomura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US20240203696A1. Автор: Tae Sung Kim,Duk Hyun SON. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate Processing Apparatus and Substrate Processing Method

Номер патента: US20180037995A1. Автор: Takayuki Karakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-08.

Plug-in electronic module and method for connecting a plug-in electronic module to a holding structure

Номер патента: US20050052842A1. Автор: Uwe Fischer,Mario Festag. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-03-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230085592A1. Автор: Jong Sik Kim,Ji Hun Lee. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-16.

Substrate processing apparatus and substrate processing method using the same

Номер патента: US20240282557A1. Автор: Jinuk Park,Euijin Park,Dongyup Choo. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-22.

Substrate processing apparatus, substrate processing system, and abnormality detection method

Номер патента: US12087562B2. Автор: Katsuhito Hirose,Kazushi HIKAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-10.

Ignition control method, film formation method, and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240312763A1. Автор: Takeshi Kobayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Substrate processing apparatus having ground electrode

Номер патента: US09970111B2. Автор: Kohei Fukushima,Takeshi Ando,Koichi Shimada,Hiroyuki Matsuura,Yutaka Motoyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-15.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09455125B2. Автор: Makoto Kobayashi,Jun Tamura,Tetsuji Sato,Akihiro Yoshimura,Hiroshi Tsujimoto,Nobuhiro Wada,Masato Horiguchi,Mamoru NAOI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-09-27.

Antenna enhancing holding structure for an internet-of-things (iot) device

Номер патента: US20190379128A1. Автор: Jingyuan Tan. Владелец: Netgear Inc. Дата публикации: 2019-12-12.

Substrate processing apparatus, and magnetic recording medium manufacturing method

Номер патента: US20100025363A1. Автор: Kazuto Yamanaka,Satoshi Hitomi,David Djulianto DJAYAPRAWIRA,Masahiro Shibamoto,Ayumu Miyoshi. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2010-02-04.

Substrate Processing Apparatus, Method of Manufacturing Semiconductor Device and Substrate Processing Method

Номер патента: US20220090260A1. Автор: Hirohisa Yamazaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2022-03-24.

Substrate Processing Apparatus, Substrate Processing Method, Method of Manufacturing Semiconductor Device and Non-transitory Computer-readable Recording Medium

Номер патента: US20230081219A1. Автор: Hirohisa Yamazaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-03-16.

Information processing device, information processing method, and program

Номер патента: EP3039862A1. Автор: Keiji Okamoto. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2016-07-06.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230116739A1. Автор: Sung-Yeol Kim,Sung Yong Lim,Woong Jin CHEON,Sung Hwi Cho,Mee Hyun LIM,Seong Ha JEONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-04-13.

Capacitively coupled plasma substrate processing apparatus

Номер патента: US20240258079A1. Автор: Seungho Lee,Taeho Shin,Buil Jeon,JungSu Park,Dooho LIM,Bumsoo ON. Владелец: Innovation For Creative Devices Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Battery holding structure

Номер патента: US20100136397A1. Автор: Pen-Uei Lu. Владелец: Chi Mei Communication Systems Inc. Дата публикации: 2010-06-03.

Extracorporeal circulation circuit, fluid processing device, connection structure, and processing method for fluid processing device in extracorporeal circulation circuit

Номер патента: EP4233933A1. Автор: Keisuke Inoue,Mutsumi Yamamoto,Ryohei IZUMI. Владелец: JMS Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-30.

Substrate holding apparatus

Номер патента: US20110075023A1. Автор: Takeshi Naito,Tadashi Asano,Shunsuke Saiki. Владелец: Aisin Seiki Co Ltd. Дата публикации: 2011-03-31.

Substrate-related-operation performing apparatus and substrate-related-operation performing system

Номер патента: US20150230344A1. Автор: Shinsuke Suhara,Seigo Kodama. Владелец: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2015-08-13.

Fan holding structure, heat-dissipating module with the fan holding structure and electronic device having the same

Номер патента: US09374930B2. Автор: Chun-Lung Ho. Владелец: Lite On Technology Corp. Дата публикации: 2016-06-21.

Passive module for a holding structure, and such a holding structure

Номер патента: US20200220610A1. Автор: Peter Ökvist. Владелец: Telefonaktiebolaget LM Ericsson AB. Дата публикации: 2020-07-09.

Passive module for a holding structure, and such a holding structure

Номер патента: EP3707338A1. Автор: Peter Ökvist. Владелец: Telefonaktiebolaget LM Ericsson AB. Дата публикации: 2020-09-16.

Substrate processing apparatus

Номер патента: EP4104941A1. Автор: Hiroyoshi Mori. Владелец: M Dia & Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-21.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20220063139A1. Автор: Hiroyoshi Mori. Владелец: M Dia and Co Ltd. Дата публикации: 2022-03-03.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US11986978B2. Автор: Hiroyoshi Mori. Владелец: M Dia and Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-21.

Wire holding structure, and image forming apparatus including wire holding structure

Номер патента: US20170063059A1. Автор: Tomoya Hotani. Владелец: Kyocera Document Solutions Inc. Дата публикации: 2017-03-02.

Image processing device, drive control device, light source control device, image forming apparatus, and image processing method

Номер патента: US20170339309A1. Автор: Muneaki IWATA,Hayato FUJITA,Shigeru Uekusa. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-23.

Filter holding structure and component mounting apparatus

Номер патента: US20180249607A1. Автор: Yukinari Awano. Владелец: Yamaha Motor Co Ltd. Дата публикации: 2018-08-30.

Microphone holding structure and electronic device

Номер патента: US09871901B2. Автор: Tsutomu Osawa,Takahiro Hiramatsu. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-16.

Microphone holding structure and electronic device

Номер патента: US20160352879A1. Автор: Tsutomu Osawa,Takahiro Hiramatsu. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2016-12-01.

Information processing device and method

Номер патента: US20240346701A1. Автор: Tsuyoshi Kato,Ohji Nakagami,Satoru Kuma,Kao HAYASHI. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2024-10-17.

Information processing device, log analysis method, and program

Номер патента: EP3848806A1. Автор: Masashi Tanaka,Yasushi Okano,Takuma KOYAMA,Keita Hasegawa. Владелец: Nippon Telegraph and Telephone Corp. Дата публикации: 2021-07-14.

Top plate for cooking appliance, glass ceramic substrate processing method, and apparatus comprising same

Номер патента: EP4458782A1. Автор: Jiyoung Song,Kwangjoo KIM,Youngdeog KOH,Hyungin KIM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-11-06.

Image processing device and method

Номер патента: US12108016B2. Автор: Hiroyuki Yasuda,Koji Yano,Tsuyoshi Kato,Ohji Nakagami,Satoru Kuma. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2024-10-01.

Image processing device and method

Номер патента: US09924189B2. Автор: Yoshitomo Takahashi,Ohji Nakagami. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2018-03-20.

Optimization program and substrate process system

Номер патента: US09804592B2. Автор: Kazuya Fukao. Владелец: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-31.

Information processing system, display device, output device, information processing device, method of acquiring identification information and method of transmitting identification information

Номер патента: RU2510149C2. Автор: Казуаки ТОБА. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2014-03-20.

System of image processing, device of image processing and method of its control

Номер патента: RU2413381C2. Автор: Хиройоси ЙОСИДА. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2011-02-27.

Mobile device case with accessory holding structure

Номер патента: US20230396282A1. Автор: II Teddy Bob Fitzgerald Richards. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-12-07.

Information processing device, information processing method and program

Номер патента: RU2696598C2. Автор: Дайсукэ КАВАКАМИ,Хидэки ИВАМИ. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2019-08-05.

Information processing device, image input device, document distribution system and control method thereof

Номер патента: RU2425413C2. Автор: Ацуси КАСИОКА. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2011-07-27.

Information processing device and information processing method

Номер патента: RU2656230C2. Автор: Хидэки ИВАМИ,Масанори САТО,Осаму ЁСИМУРА. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2018-06-04.

Data processing device

Номер патента: RU2559745C2. Автор: Минору ФУДЗИСАВА. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2015-08-10.

Information processing device, information processing method, programme, terminal control device and information processing system

Номер патента: RU2554565C2. Автор: Ёсинори ОХАСИ,Еидзю ЯМАДА,Син ИТО. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2015-06-27.

Electronic device, information processing device and information processing method

Номер патента: RU2698430C1. Автор: Биншань ХУ,Чень СУНЬ. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2019-08-26.

Information processing device, information processing method and program

Номер патента: RU2683262C2. Автор: Дзунити РЕКИМОТО,Сунити КАСАХАРА. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2019-03-27.

Onboard relay device, information processing device, relay device, information processing method, carrier for long-term storage of a program executed by a relay device, an information processing system, a vehicle and an external device

Номер патента: RU2705361C1. Автор: Дзюн ТАУТИ. Владелец: Тойота Дзидося Кабусики Кайся. Дата публикации: 2019-11-07.

Information processing device and method of controlling said device

Номер патента: RU2458387C2. Автор: Сатору НАКАДЗИМА. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2012-08-10.

Software information processing product, information processing device and information processing system

Номер патента: RU2665870C2. Автор: Цуйоси ЯМАДА. Владелец: РИКОХ КОМПАНИ, ЛТД.. Дата публикации: 2018-09-04.

Information processing device

Номер патента: RU2727883C2. Автор: Тосиюки СЕКИЯ,Юитиро КОЯМА,Юя ХИРАНО. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2020-07-24.

Information processing device, communication system, information processing method and program

Номер патента: RU2729409C2. Автор: Юити МОРИОКА,Сигеру СУГАЯ,Юсукэ ТАНАКА. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2020-08-06.

Security data processing device

Номер патента: GB2581525A. Автор: FERNANDEZ Jose,Bhushan Bharat,BOTT Andrew. Владелец: Secure Thingz Ltd. Дата публикации: 2020-08-26.

Conversion device, information processing device, and image processing device

Номер патента: US20150146263A1. Автор: Masahiro Fujishita. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2015-05-28.

Information processing system, information processing device, and device control method

Номер патента: US20160072925A1. Автор: Kazuhiro Yamada. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2016-03-10.

Information processing system, information processing device, server device, and method

Номер патента: US8806597B2. Автор: Hiroyuki Hasegawa,Manabu Iwasaki,Shin Ohtake. Владелец: Fuji Xerox Co Ltd. Дата публикации: 2014-08-12.

Information processing system, information processing device, server device, and method

Номер патента: US20120222101A1. Автор: Hiroyuki Hasegawa,Manabu Iwasaki,Shin Ohtake. Владелец: Fuji Xerox Co Ltd. Дата публикации: 2012-08-30.

Relaying device, non-transitory computer-readable storage medium storing computer-readable instructions for relaying device, and system comprising image processing device and relaying device

Номер патента: US20150055178A1. Автор: Ken Saito,Masayuki Ishibashi. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2015-02-26.

Information processing device, information management method and computer readable medium storing information managing program for information processing device

Номер патента: US20200050392A1. Автор: Yusuke Yoshimoto. Владелец: Kyocera Document Solutions Inc. Дата публикации: 2020-02-13.

Information processing system, information processing device, and device control method

Номер патента: US09838386B2. Автор: Kazuhiro Yamada. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-05.

Information processing method, information processing device, and storage medium

Номер патента: US09832624B2. Автор: Hidenobu Ito,Yosuke Nakamura,Takuya Sakamoto,Kazuaki Nimura,Junya KANI,Koichi Yasaki. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2017-11-28.

Relaying device, image processing device, and system comprising image processing device and relaying device

Номер патента: US09667721B2. Автор: Fumio Okumura. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2017-05-30.

Multifunctional document processing device retrieving information on behalf of mobile device

Номер патента: US09648176B2. Автор: Steven J Simske,Peter G Hwang. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2017-05-09.

Non-transitory computer-readable storage medium storing computer program for information processing device, information processing device, and method for controlling information processing device

Номер патента: US09609147B2. Автор: Norihiko Asai. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2017-03-28.

Systems and methods for managing pairing of remote control devices with a plurality of media content processing devices

Номер патента: US09560407B2. Автор: Taber B. Noble. Владелец: VERIZON PATENT AND LICENSING INC. Дата публикации: 2017-01-31.

Image processing device, imaging device, image processing method, and recording medium storing image processing program

Номер патента: US09544490B2. Автор: Takashi TOMIYASU. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-10.

Non-transitory computer-readable storage medium storing computer program, device, and method for information processing device with a plurality of communication interfaces

Номер патента: US09442684B2. Автор: Norihiko Asai. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2016-09-13.

Relaying device, image processing device, and system comprising image processing device and relaying device

Номер патента: US09432441B2. Автор: Masayuki Ishibashi. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2016-08-30.

Image processing device

Номер патента: RU2706237C2. Автор: Кадзуси САТО. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2019-11-15.

Information processing device and information processing method

Номер патента: RU2634837C2. Автор: Ясуаки ЯМАГИСИ,Хитоси НАКАМУРА. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2017-11-07.

Image processing device and method

Номер патента: RU2641259C2. Автор: Ёситака МОРИГАМИ,Кадзуси САТО,Суо ЛУ. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2018-01-16.

Data processing device, control over data processing device and programme

Номер патента: RU2560816C2. Автор: Йосихиде ТЕРАО. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2015-08-20.

Digital image processing device and control method thereof

Номер патента: RU2599260C2. Автор: Ин-ра ДЗАНГ. Владелец: САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС КО., ЛТД.. Дата публикации: 2016-10-10.

Information processing device, control method realised by information processing device, data medium and program

Номер патента: RU2470469C2. Автор: Го ИНОУЕ. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2012-12-20.

Device for information processing, method of controlling information processing device and data media

Номер патента: RU2628269C2. Автор: Хироси СЕКИНЕ. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2017-08-15.

Wireless data transmission device, information processing device, wireless data transmission method and information processing system

Номер патента: RU2524844C2. Автор: Такаси ЦУРУМОТО,Хидеки АКАСИКА,Канахиро СИРОТА. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2014-08-10.

Data packet processing device and method

Номер патента: RU2693563C1. Автор: Хуань ЛИ,Вэй ЛУ. Владелец: Хуавэй Текнолоджиз Ко., Лтд.. Дата публикации: 2019-07-03.

Paper sheets processing device and paper sheets processing device correction method

Номер патента: RU2689217C1. Автор: Ясуюки ИСИХАРА,Таканори САГАМИ. Владелец: Фудзитсу Фронтек Лимитед. Дата публикации: 2019-05-24.

Information processing device, method for requesting content and computer program

Номер патента: RU2755145C2. Автор: Ясуаки ЯМАГИСИ,Тацуя ИГАРАСИ,Мицухиро ХИРАБАЯСИ. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2021-09-13.

Image processing device and method

Номер патента: RU2733096C2. Автор: Такэси ЦУКУБА. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2020-09-29.

Information processing device, method and program

Номер патента: RU2675192C2. Автор: Масаюки НИСИГУТИ,Акира ИНОУЭ,Сюсукэ ТАКАХАСИ. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2018-12-17.

Electric wire holding structure for electric compressor and electric wire holding method for electric compressor

Номер патента: US20090315418A1. Автор: Takehiro Hasegawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-12-24.

Vibration motor holding structure and vibration motor

Номер патента: US20110285228A1. Автор: Kazuaki Sato,Mikio Umehara,Daichi Kadowaki. Владелец: Minebea Motor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2011-11-24.

Information processing device, control method, and recording medium

Номер патента: US20240236255A1. Автор: Mitsuru Konji,Toshihiro Yokoyama. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Image processing device, output system, and output method

Номер патента: US12022046B2. Автор: Tsuyoshi Nagao. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2024-06-25.

Information processing device, management program and management method for managing storage devices

Номер патента: US11706354B2. Автор: Yuichiro Sakuragi. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2023-07-18.

Information processing device, information processing method, and program

Номер патента: US12033490B2. Автор: Ryusei Koike. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2024-07-09.

Image recording system, image recording device, information processing device, and image recording control method

Номер патента: US20160011825A1. Автор: Hiroshi Noda,Yoichi Ito,Yoshinori Uchino. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2016-01-14.

Information processing device and information processing method

Номер патента: US20230050142A1. Автор: Yoshinori Kusayanagi,Takura Yanagi. Владелец: Nissan Motor Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-16.

Information processing device, information processing method, and program

Номер патента: US20230396526A1. Автор: Yuki Ashino,Takashi Hitani,Masahiro Karube. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2023-12-07.

Image processing device and method

Номер патента: US11882311B2. Автор: Takeshi Tsukuba. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2024-01-23.

Information processing device and non-transitory computer-readable storage medium storing program

Номер патента: US20230216949A1. Автор: Hiroyuki Kuramoto,Iwane Ikeda,Yui IMAMURA. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2023-07-06.

Information processing device, image-capturing device, and information processing method

Номер патента: US20230092368A1. Автор: Daijiro Ichijima. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2023-03-23.

Information processing device, imaging device, and information processing method

Номер патента: EP4109881A1. Автор: Daijiro Ichijima. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2022-12-28.

Radio frequency signal receiving device and signal processing device

Номер патента: EP3529905A1. Автор: Meryem Benammar,Iñaki Estella Aguerri,Abdellatif ZAIDI. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-28.

Image processing device to execute communication processing with information processing device, non-transitory computer-readable recording medium for image processing device, and image processing system

Номер патента: US20190387113A1. Автор: Sadaaki MIYAZAKI. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2019-12-19.

System and method for securing authorized access by a mobile data device of a document processing device

Номер патента: US20100026448A1. Автор: Marianne Kodimer,Louis Ormond,Ken Stephenson. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-02-04.

Signal processing device

Номер патента: US20230283305A1. Автор: Long Chen,Lisong Zhou. Владелец: WISTRON NEWEB CORP. Дата публикации: 2023-09-07.

Information processing device, information processing system, information processing method, and computer program

Номер патента: EP3734798A1. Автор: Akira Kamata,Tetsuro Matsumoto,Hitoshi Matsushima,Keita NAKAI,Takuya Kitagawa,Hirofumi Imaizumi,Kayo YAMASAKI,Tomikatsu Uchibori. Владелец: GS YUASA INTERNATIONAL LTD. Дата публикации: 2020-11-04.

Heating element for a substrate processing system.

Номер патента: NL2033372B1. Автор: Van Rijn Richard,Joseph Wehenkel Dominique. Владелец: Applied Nanolayers B V. Дата публикации: 2024-05-08.

Information processing device, information processing method, and computer program

Номер патента: US20120297060A1. Автор: Hiroshi Takagi. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2012-11-22.

Information processing device, information processing method, and program

Номер патента: EP3952281A1. Автор: HIRONORI Hattori,Koji Kamiya,Naohide Yamada,Satoshi Tsubaki. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2022-02-09.

Signal processing device

Номер патента: US11838037B2. Автор: Long Chen,Lisong Zhou. Владелец: WISTRON NEWEB CORP. Дата публикации: 2023-12-05.

Authentication system, mobile device, processing device, and non-transitory computer-readable medium

Номер патента: US20210291789A1. Автор: Minoru Otake,Daisuke Kawamura,Yuuki NAWA. Владелец: Tokai Rika Co Ltd. Дата публикации: 2021-09-23.

Information-processing device importing setting information thereinto and method for importing setting information into information-processing device

Номер патента: US20200296227A1. Автор: Takatsugu Yamada. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2020-09-17.

Image processing device for displaying device information and executing jobs based on received setting information

Номер патента: US12052397B2. Автор: Tsuyoshi Nagao. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2024-07-30.

System and image processing device

Номер патента: US20210211549A1. Автор: Masahiko Takashima,Daisaku Imaizumi. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2021-07-08.

Authentication system, mobile device, processing device, and non-transitory computer-readable medium

Номер патента: US11410477B2. Автор: Minoru Otake,Daisuke Kawamura,Yuuki NAWA. Владелец: Tokai Rika Co Ltd. Дата публикации: 2022-08-09.

Information processing device, management program and management method

Номер патента: US20220247876A1. Автор: Yuichiro Sakuragi. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2022-08-04.

Information processing device, information processing system, method for controlling information processing device, and program

Номер патента: US20170163840A1. Автор: Keiji Okamoto,Ryogo Ito,Kazuma Akamatsu,Yoko Fukata. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2017-06-08.

Information processing device, information processing system, method for controlling information processing device, and program

Номер патента: US20180376026A1. Автор: Keiji Okamoto,Ryogo Ito,Kazuma Akamatsu,Yoko Fukata. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2018-12-27.

Information processing device, information processing system, and method for controlling information processing device

Номер патента: US10069999B2. Автор: Keiji Okamoto,Ryogo Ito,Kazuma Akamatsu,Yoko Fukata. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2018-09-04.

Master device, arithmetic processing device, programmable logic controller, network, and information processing method

Номер патента: US12038732B2. Автор: Shigenori Sawada,Norihiro MAEKAWA. Владелец: Omron Corp. Дата публикации: 2024-07-16.

Image processing device, output system, and output method

Номер патента: US20230283735A1. Автор: Tsuyoshi Nagao. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2023-09-07.

Information processing device, information processing system, information processing method, and computer program

Номер патента: US11750003B2. Автор: Akira Kamata,Tetsuro Matsumoto,Hitoshi Matsushima,Keita NAKAI,Tomikatsu UCHIHORI,Takuya Kitagawa,Hirofumi Imaizumi,Kayo YAMASAKI. Владелец: GS YUASA INTERNATIONAL LTD. Дата публикации: 2023-09-05.

Wireless communication system, first processing device, and second processing device

Номер патента: US11354070B2. Автор: Kota NISHIDA. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2022-06-07.

Method for allocating a video conferencing task to a processing device

Номер патента: US20160286165A1. Автор: Roman Sorokin,Moulay Fadili. Владелец: ALE International SAS. Дата публикации: 2016-09-29.

Information processing device, information processing method, program, electronic device, and information processing system

Номер патента: EP3933621A1. Автор: Yosuke HIRATSUKA. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2022-01-05.

Information processing device, information processing method, and program

Номер патента: EP4236480A2. Автор: Tomoya Yamaura,Takeshi Itagaki,Yusuke Tanaka,Yuichi Morioka. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2023-08-30.

Information management system, information processing device, and non-transitory computer readable medium

Номер патента: US20150334092A1. Автор: Hiroaki Machida. Владелец: Fuji Xerox Co Ltd. Дата публикации: 2015-11-19.

Image display system, image display method, image display program, recording medium, data processing device, and image display device

Номер патента: US20070188482A1. Автор: Toshiki Fujimori. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2007-08-16.

Image processing device and method

Номер патента: US20240275970A1. Автор: Takeshi Tsukuba. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2024-08-15.

Computer-readable medium, information processing device, and method for causing a target device to perform a registered workflow

Номер патента: US11372600B2. Автор: Norihiko Asai. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2022-06-28.

Information processing system, information processing device, server device, method of controlling information processing system, and program

Номер патента: US20180322311A1. Автор: Makoto Kobayashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2018-11-08.

Position detecting device, information processing device, position detection method, information processing method, and computer readable medium

Номер патента: US20130069872A1. Автор: Kiyoshi Tashiro. Владелец: Fuji Xerox Co Ltd. Дата публикации: 2013-03-21.

MMT transmission system, encryption processing device, and receiver

Номер патента: US10554381B2. Автор: Tomoo Yamakage. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2020-02-04.

Mmt transmission system, encryption processing device, and receiver

Номер патента: US20160373247A1. Автор: Tomoo Yamakage. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2016-12-22.

Image processing device, system including device management system and image processing device, and method for controlling image processing device

Номер патента: US20240289118A1. Автор: Toshiaki Igarashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-08-29.

Data processing device, particularly a set-top box for connection to a receiver, input device for the control of a data processing device, and method for operating a data processing device

Номер патента: US20100088420A1. Автор: Jens Glufke. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2010-04-08.

Information processing method, information processing device, program, and recording medium

Номер патента: US20180357408A1. Автор: Shinichi Suzuki. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2018-12-13.

An information processing device, method and computer program

Номер патента: WO2024160689A1. Автор: Nicolas Pierre Rose. Владелец: Sony Europe B.V.. Дата публикации: 2024-08-08.

Holding structure

Номер патента: US20150137761A1. Автор: Hung-Sen Yang. Владелец: Wistron Corp. Дата публикации: 2015-05-21.

Non-transitory computer-readable recording medium and information processing device having a sharing function of processing data

Номер патента: US9007611B2. Автор: Norihiko Asai. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2015-04-14.

Non-transitory computer-readable recording medium which stores computer-readable instructions for information processing device and information processing device

Номер патента: US20150029530A1. Автор: Norihiko Asai. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2015-01-29.

System and method for integrating message content into a target data processing device

Номер патента: US11736587B2. Автор: Nicolas Guillon,Eduardo Rafael Lopez Ruiz. Владелец: Amadeus SAS. Дата публикации: 2023-08-22.

Video processing device, computer-readable recording medium storing video processing program, and video processing method

Номер патента: US20240259517A1. Автор: Yoshihide Kasai. Владелец: Roland Corp. Дата публикации: 2024-08-01.

Processing device, non-transitory recording medium storing computer-readable program, and data conversion system

Номер патента: US10621458B2. Автор: Yoshimi Nakayama. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2020-04-14.

Information processing device, and method and non-transitory computer-readable recording medium for the same

Номер патента: US20160094730A1. Автор: Tomoki Nakamura,Nobuyuki Kamiya,Junjiro Yoshida,Yongqi Sun. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2016-03-31.

Information processing device, information processing system, electronic whiteboard device, control method, and program product

Номер патента: US20200177406A1. Автор: Shigeo Araki. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-06-04.

Carried image processing device

Номер патента: US20030147054A1. Автор: Jone Su. Владелец: Aiptek International Inc. Дата публикации: 2003-08-07.

Sound processing devices and corresponding methods and computer programs

Номер патента: US20230298608A1. Автор: Alexandru SERBANATI,Thomas CARETTE. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Imaging system, processing device, and method to be performed by computer in imaging system

Номер патента: US20240260832A1. Автор: Takamasa Ando. Владелец: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Digital signal processing device and audio device

Номер патента: US20190335275A1. Автор: Satoshi Umemoto. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2019-10-31.

Information processing system, information processing device, information processing method, information processing program, air conditioner, and lighting device

Номер патента: EP4428560A1. Автор: Yuji Tanabe,Akito Murai,Ken Katogi,Ryo IWASA,Naoto KODATE,Satoshi HAYASAKI. Владелец: Aeterlink Corp. Дата публикации: 2024-09-11.

Method and devices for qualifying substrate-processing production processes

Номер патента: AU2002351691A1. Автор: Bernd Muller,Ulrich Wittreich,Hartmut Meier. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2003-06-10.

Image processing device, output system, and output method

Номер патента: US20240314254A1. Автор: Tsuyoshi Nagao. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2024-09-19.

Information processing device and method, and program

Номер патента: US20240314562A1. Автор: Noriyuki Suzuki. Владелец: Sony Group Corp. Дата публикации: 2024-09-19.

Extracorporeal circulation circuit, fluid processing device, connection structure, and processing method for fluid processing device in extracorporeal circulation circuit

Номер патента: EP4233933A4. Автор: Keisuke Inoue,Mutsumi Yamamoto,Ryohei IZUMI. Владелец: JMS Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-09.

Data structure, model for populating a data structure and method of programming a processing device utilising a data structure

Номер патента: WO2016127224A1. Автор: Benjamin Seidel. Владелец: Millieable Ip Pty Ltd. Дата публикации: 2016-08-18.

Data Structure, Model for Populating a Data Structure and Method of Programming a Processing Device Utilising a Data Structure

Номер патента: US20180032548A1. Автор: Seidel Benjamin. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

Data structure, model for populating a data structure and method of programming a processing device utilising a data structure

Номер патента: EP3256965A1. Автор: Benjamin Seidel. Владелец: Millieable Ip Pty Ltd. Дата публикации: 2017-12-20.

Data structure, model for populating a data structure and method of programming a processing device utilising a data structure

Номер патента: EP3256965A4. Автор: Benjamin Seidel. Владелец: Millieable Ip Pty Ltd. Дата публикации: 2018-08-08.

Substrate holding and locking system for chemical and/or electrolytic surface treatment

Номер патента: EP3854915A1. Автор: Markus Gersdorff,Andreas GLEISSNER,Herbert Ötzlinger,Georg Höfer,Thomas WIRNSBERGER,Oliver Knoll,Raoul Schröder. Владелец: Semsysco GmbH. Дата публикации: 2021-07-28.

Substrate holding and locking system for chemical and/or electrolytic surface treatment

Номер патента: WO2021148149A1. Автор: Markus Gersdorff,Andreas GLEISSNER,Herbert Ötzlinger,Georg Höfer,Thomas WIRNSBERGER,Oliver Knoll,Raoul Schröder. Владелец: Semsysco GmbH. Дата публикации: 2021-07-29.

Substrate holding apparatus and polishing apparatus

Номер патента: US09550271B2. Автор: Hozumi Yasuda,Osamu Nabeya,Makoto Fukushima,Masahiko KISHIMOTO. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2017-01-24.

Substrate holding and locking system for chemical and/or electrolytic surface treatment

Номер патента: US20230053226A1. Автор: Markus Gersdorff,Andreas GLEISSNER,Herbert Ötzlinger,Georg Höfer,Thomas WIRNSBERGER,Oliver Knoll,Raoul Schröder. Владелец: Semsysco GmbH. Дата публикации: 2023-02-16.

Substrate rotation processing device and substrate polishing device

Номер патента: US20240207999A1. Автор: Hiroki Miyamoto. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Biochip substrate holding method and biochip-reader

Номер патента: US20050136533A1. Автор: Takeo Tanaami,Yumiko Sugiyama. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 2005-06-23.

Substrate holding and locking system for chemical and/or electrolytic surface treatment

Номер патента: US11965263B2. Автор: Markus Gersdorff,Andreas GLEISSNER,Herbert Ötzlinger,Georg Höfer,Thomas WIRNSBERGER,Oliver Knoll,Raoul Schröder. Владелец: Semsysco GmbH. Дата публикации: 2024-04-23.

Tissue substrate holding device

Номер патента: US20130039820A1. Автор: Jacquelyn D. Marsing,Lynn Marsing. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-02-14.

Substrate-holding technique

Номер патента: US20050122505A1. Автор: Yoshikazu Miyajima. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2005-06-09.

Substrate holding apparatus, elastic membrane, polishing apparatus, and method for replacing elastic membrane

Номер патента: US20180117730A1. Автор: Osamu Nabeya,Makoto Fukushima,Keisuke Namiki,Shingo Togashi,Satoru Yamaki,Masahiko KISHIMOTO,Tomoko OWADA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-05-03.

Processing device, sheet manufacturing apparatus, processing method, and sheet manufacturing method

Номер патента: US20180305869A1. Автор: Hiroshi Tanaka,Shunichi Seki,Kaneo Yoda,Hiroki Kurata,Seiichi Taniguchi. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-10-25.

Information processing device, substrate processing device, and information processing method

Номер патента: US20240302817A1. Автор: Takamasa Nakamura,Hirofumi OTAKI,Sho ICHINOSE. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-09-12.

Cup-shaped chuck of substrate holding device, and substrate holding device

Номер патента: EP4265825A1. Автор: HUI Wang,Jian Wang,Yinuo JIN,Zhaowei Jia,Hongchao YANG. Владелец: ACM Research Shanghai Inc. Дата публикации: 2023-10-25.

Cup-shaped chuck of substrate holding device and substrate holding device

Номер патента: US20240035189A1. Автор: HUI Wang,Jian Wang,Yinuo JIN,Zhaowei Jia,Hongchao YANG. Владелец: ACM Research Shanghai Inc. Дата публикации: 2024-02-01.

Substrate processing device and control method for substrate processing device

Номер патента: US20230201860A1. Автор: Jae Hong Kim,Young-Joo Seo,Sang Hyun Son,Sang Min HA,Hyeong Jun CHO. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Side holding structure and thermal transfer printing device

Номер патента: AU2023267801A1. Автор: Min Ai,Wenxiong Huang. Владелец: Hunan Sijiu Technology Co ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Canister-holding structure for supporting a cylindrical canister in a vehicle, combined canister and canister-holding structure, and motorcycle incorporating same

Номер патента: US20100065362A1. Автор: Takashi Yamamoto,Takeshi Shimura,Hideo Nihei,Takashi Udono,Iwao Takaku,Takeji Kawazumi. Владелец: Honda Motor Co Ltd. Дата публикации: 2010-03-18.

Fastener bracket, fastener kit, aircra.. structure and methods

Номер патента: EP4454867A1. Автор: Alexei Vichniakov. Владелец: AIRBUS OPERATIONS GMBH. Дата публикации: 2024-10-30.

Safe support structure and food processing device

Номер патента: RU2693709C1. Автор: Вернер Карл МУРБАХЕР,Хеймо ОБЕРШТАЙНЕР. Владелец: КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС Н.В.. Дата публикации: 2019-07-04.

Organic compound synthesizing device, light irradiation device, and substrate for organic compound synthesis

Номер патента: US20070224091A1. Автор: Hideaki Okayama. Владелец: Oki Data Corp. Дата публикации: 2007-09-27.

Substrate processing device and control method for substrate processing device

Номер патента: US20230211622A1. Автор: Jae Hong Kim,Young-Joo Seo,Sang Hyun Son,Sang Min HA,Hyeong Jun CHO. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-06.

Substrate processing device and method for measuring process gas temperature and concentration

Номер патента: US20240241042A1. Автор: Yuji Obata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Framework of laundry processing device, and laundry processing device

Номер патента: EP3751043A1. Автор: Xinhua Zhang,Zhiwei Zhao,Benfu XING,Shaolei YI,Wenwei Li. Владелец: Qingdao Haier Drum Washing Machine Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-16.

Optical sheet holding structure and display apparatus

Номер патента: US09810834B2. Автор: Kouji Matsumoto,Ryota Kawabata. Владелец: Sakai Display Products Corp. Дата публикации: 2017-11-07.

System for identification and active control of vibrations in a structure and relating method

Номер патента: WO2020011591A1. Автор: Francesco Ripamonti,Alberto Bussini. Владелец: ISAAC S.R.L.. Дата публикации: 2020-01-16.

Processing device and manufacturing method for cooling element, and cigarette processing system

Номер патента: EP4256992A1. Автор: Hu Tang,Jianwen YAO,Shaofeng Wu. Владелец: Hunan Jishou Minzu Materials Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-11.

Knob holding structure and smart lock

Номер патента: EP4379174A1. Автор: Tetsuhiro Ishikawa,Yuji Yada. Владелец: Fujitsu Component Ltd. Дата публикации: 2024-06-05.

Laser radar device and signal processing device for laser radar device

Номер патента: US20240337754A1. Автор: Yusuke Ito,Takayuki Kitamura,Nobuyuki Yoshikawa,Masaharu Imaki. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2024-10-10.

Information processing device, control method, and storage medium

Номер патента: US12072496B2. Автор: Katsumi Kikuchi,Yasunori BABAZAKI,Akane ARUGA. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2024-08-27.

Paper roll holding structure and printer

Номер патента: US09475665B2. Автор: Takuya Tanaka. Владелец: Toshiba TEC Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Knob holding structure and smart lock

Номер патента: US20240177552A1. Автор: Tetsuhiro Ishikawa,Yuji Yada. Владелец: FCL COMPONENTS LIMITED. Дата публикации: 2024-05-30.

Pad rod for defecation pad and defecation processing device having same for companion animal

Номер патента: US20240057551A1. Автор: Jang Woon KIM. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-02-22.

Image processing device, learning device, radiography system, image processing method, learning method, image processing program, and learning program

Номер патента: US12056875B2. Автор: Wataru Fukuda. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-08-06.

Vibration generator holding structure and input device

Номер патента: US09798389B2. Автор: Akihiro Shinohe. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Information processing device, information processing method, and recording medium

Номер патента: US20210150143A1. Автор: SADAMASA Kunihiko,Yuzuru Okajima,Shohei HIGASHIYAMA. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2021-05-20.

Mirror holding structure and head-up display

Номер патента: US20230228968A1. Автор: Kousuke Sasaki,Daiki KAWAI. Владелец: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-20.

Signal processing device, signal processing method and information reading device

Номер патента: RU2606548C1. Автор: Сатоси ЯМАНАКА,Еситака ТОЕДА,Наоюки ФУДЗИЯМА. Владелец: Мицубиси Электрик Корпорейшн. Дата публикации: 2017-01-10.

Method of creating longitudinal section of three-dimensional point group data, and survey data processing device and survey system for the same

Номер патента: US20190033487A1. Автор: Ryosuke MIYOSHI. Владелец: Topcon Corp. Дата публикации: 2019-01-31.

Method and device to control manipulation of circular holding structural elements in technological process of tires assembly for vehicles wheels

Номер патента: RU2635139C2. Автор: Маурицио МАРКИНИ,Стефано МЕРВИК. Владелец: ПИРЕЛЛИ ТАЙР С.П.А.. Дата публикации: 2017-11-09.

Information processing device, information processing method, and information processing program

Номер патента: EP4424620A1. Автор: Takeshi Kagawa,Takanori Ide,Kazumitsu Kamiya,Fabio SANCHES,Sean WEINBERG. Владелец: Aisin Corp. Дата публикации: 2024-09-04.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and computer-readable storage medium storing substrate processing program

Номер патента: US09675992B2. Автор: Satoshi Kaneko,Yoshihiro Kawaguchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-06-13.

Positioning terminal, information processing device, and positioning method

Номер патента: US20240125945A1. Автор: Yasuhisa Yamazaki,Naoto HORIIKE. Владелец: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Cooling flow in substrate processing according to predicted cooling parameters

Номер патента: WO2024147966A1. Автор: Umesh Kelkar,Ala Moradian,Karthik Ramanathan,Orlando Trejo,Elizabeth Kathryn Neville. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-07-11.

Cooling flow in substrate processing according to predicted cooling parameters

Номер патента: US20240230189A1. Автор: Umesh Kelkar,Ala Moradian,Karthik Ramanathan,Orlando Trejo,Elizabeth Kathryn Neville. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20240219837A1. Автор: Ki Won Han,Jun Ho Seo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Information processing device, information processing method, and information processing program

Номер патента: EP4276839A1. Автор: Hirokazu YARIMIZU,Yasushi HIKIDA. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2023-11-15.

Method for recycling substrate process components

Номер патента: WO2018182886A1. Автор: Brian T. West. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2018-10-04.

Method for recycling substrate process components

Номер патента: US20180281027A1. Автор: Brian T. West. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-10-04.

Image processing device, method, and program

Номер патента: EP4411069A1. Автор: Shuhei Horita. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-08-07.

Substrate processing apparatus control system and substrate processing apparatus control method

Номер патента: US20240149599A1. Автор: Beomjeong OH,Jong Nam NA. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Adjustment apparatus for adjusting processing units provided in a substrate processing apparatus, and a substrate processing apparatus having such an adjustment apparatus

Номер патента: US09915938B2. Автор: Koichi Takeda,Takamasa Nakamura. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09732421B2. Автор: Tsukasa Kamakura. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-08-15.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer-readable recording medium

Номер патента: US09587314B2. Автор: Taketoshi Sato,Hiroaki Hiramatsu,Yukitomo Hirochi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-03-07.

Substrate processing apparatus, simulation apparatus, storage medium and simulation method

Номер патента: US09558304B2. Автор: Satoko Yamamoto,Kimitoshi MIURA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-31.

Method and device for providing variations of contact surface with lower eyelid and holding structure of variable multifocal contact lens under eyelid

Номер патента: RU2632586C2. Автор: Кристофер УАЙЛДСМИТ,Майкл Ф. УИДМЭН,Джонатан П. АДАМС. Владелец: Джонсон Энд Джонсон Вижн Кэа, Инк.. Дата публикации: 2017-10-06.

Sheet glass processing device

Номер патента: RU2696473C1. Автор: Казуаки БАНДО. Владелец: Бандо Кико Ко., Лтд.. Дата публикации: 2019-08-01.

Brewing unit with optimized holding structure and method for operating such a brewing unit

Номер патента: CA3230943A1. Автор: Wolfgang Riessbeck,Yves Hug,Patrick Egger. Владелец: Eugster Frismag AG. Дата публикации: 2023-03-16.

Holding structure

Номер патента: US20240093828A1. Автор: David Rose,Philipp Werner,Steffen Nitschke,Daniel Renz,Rainer Schmidt-Sunnus. Владелец: Vibracoustic SE. Дата публикации: 2024-03-21.

Gas inlet tube assembly for an improved gas mixture in a substrate processing apparatus

Номер патента: US20240124981A1. Автор: DongRak Jung,Jongsu Kim,Arun THOTTAPPAYIL. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-04-18.

Multi-axis force-torque sensing device and holding structure for use therewith

Номер патента: EP4232786A1. Автор: Wim Desmet,Bert Pluymers,Jan CROES. Владелец: Katholieke Universiteit Leuven. Дата публикации: 2023-08-30.

Method for performing preventative maintenance in a substrate processing system

Номер патента: WO2011112968A1. Автор: Robert D. Clark,Cory Wajda,Steven P. CONSIGLIO. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2011-09-15.

Structure, method for manufacturing structure, and processing device

Номер патента: EP4417409A1. Автор: Shigenori Nakata,Yoshimitsu Watanabe. Владелец: Adtec Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-21.

Holding structure for ready-to-use containers

Номер патента: US20240327055A1. Автор: Christian Komann,Ugljesa Babic,Petra Vilt,Yannick Dähler. Владелец: Schott Pharma Schweiz AG. Дата публикации: 2024-10-03.

Holding structure for simultaneously holding a plurality of containers for substances for pharmaceutical, medical or cosmetic applications, transport unit and transport or packaging container having the same

Номер патента: US12122580B2. Автор: Christian Komann,Arne Kloke,Anil Kumar Busimi. Владелец: Schott Pharma Schweiz AG. Дата публикации: 2024-10-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09869022B2. Автор: Motoshi Sawada. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-01-16.

Fluid holding structure fluid circulating system

Номер патента: US09795937B2. Автор: John Ries. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-10-24.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240376603A1. Автор: Masato Kadobe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-11-14.

Fluid holding structure fluid circulating system

Номер патента: US09630156B1. Автор: John Ries. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-04-25.

Booster cable holding structure

Номер патента: US09592778B2. Автор: Hideki Kawamura,Hiroki Tashiro. Владелец: Yazaki Corp. Дата публикации: 2017-03-14.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09487863B2. Автор: Kazuyuki Toyoda,Kazuhiro Morimitsu,Shun Matsui. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-11-08.

Image processing device

Номер патента: RU2743773C1. Автор: Александр Евгеньевич Архипов,Вячеслав Валерианович Варганов,Василий Сергеевич Сериков,Евгений Владимирович Сариго. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования. "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ). Дата публикации: 2021-02-25.

Linen processing device

Номер патента: RU2627008C2. Автор: Воосеонг КИМ,Дзинвоо СЕО,Воонгхой ВОН. Владелец: ЭлДжи ЭЛЕКТРОНИКС ИНК.. Дата публикации: 2017-08-02.

Information processing device, information processing method and programme

Номер патента: RU2533628C2. Автор: Кадзухиро СУДЗУКИ,Хироюки ИСИГЭ,Акира МИЯСИТА. Владелец: Сони Корпорейшн. Дата публикации: 2014-11-20.

Signal processing device

Номер патента: RU2659755C1. Автор: Алексей Григорьевич Кузнецов,Павел Евгеньевич Данилин,Виктор Владимирович Грошев,Евгений Дмитриевич Колотилов,Константин Алексеевич Афенко,Юлия Валентиновна Гавриленко,Наталия Александровна Зайцева,Дмитрий Андреевич Ивченков,Елена Владимировна Кочнева,Елена Михайловна Собкина,Владимир Тихонович Стрелков. Владелец: Публичное акционерное общество "Московский институт электромеханики и автоматики" (ПАО "МИЭА"). Дата публикации: 2018-07-03.

Process device with supervisory overlayer

Номер патента: RU2395830C2. Автор: Роберт К. ХЕДКЕ,Рэнди Дж. ЛОНГСДОРФ,Скотт Д. НЕЛЬСОН,Дейл С. ДЭВИС. Владелец: Роузмаунт Инк.. Дата публикации: 2010-07-27.

Information processing device, information processing method and information processing system

Номер патента: RU2645004C2. Автор: Тосикадзу УТИЯМА,Хитоми ВАКАМИЯ,Масахиде ТАКАНО,Ацунари ЦУДА. Владелец: СЕЙКО ЭПСОН КОРПОРЕЙШН. Дата публикации: 2018-02-15.

Processing device and processing method for etching and phosphating of metal parts

Номер патента: RU2691443C2. Автор: Йоахим ШЕНБЕРГ. Владелец: Рио Фервальтунгс Аг. Дата публикации: 2019-06-13.

Method for providing measurement data of device for processing security documents and security document processing device

Номер патента: RU2660515C2. Автор: Маттиас ХЕХТ,Карл-Дитер ФЁРСТЕР. Владелец: Гизеке+Девриент Каренси Текнолоджи Гмбх. Дата публикации: 2018-07-06.

Linen processing device

Номер патента: RU2628960C2. Автор: Сангвоок ХОНГ,Хиодзун КИМ,Янгсук КИМ. Владелец: ЭлДжи ЭЛЕКТРОНИКС ИНК.. Дата публикации: 2017-08-23.

Intake module and method for supplying value documents to value document processing device and system for processing value documents

Номер патента: RU2664020C1. Автор: Петер ДОПФЕР,Эрвин ДЕММЕЛЕР,Вольфганг КЁНИГЕР,Эвелин ГУЛЬДНЕР. Владелец: Гизеке+Девриент Каренси Текнолоджи Гмбх. Дата публикации: 2018-08-14.

Improved form factor and electromagnetic interference protection for process device wireless adapters

Номер патента: RU2467373C2. Автор: Брайан Л. УЭСТФИЛД,Чэд М. МАКГУАЙР,Джоэл Д. ВАНДЕРАА,Кристина А. ГРАНИГ,Рональд Ф. ХЕРД,Стивен Б. ПАУЛЛУС. Владелец: Роузмаунт Инк.. Дата публикации: 2012-11-20.

Toilet seat sheet holding structure

Номер патента: US6041450A. Автор: Yasumas Akazawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2000-03-28.

Information processing system, image processing device, user device, control method and data medium

Номер патента: RU2540793C2. Автор: Хироаки ТОВАТА. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2015-02-10.

Sensor target cover used in combination with liquid level detection sensor, wet processing device, substrate processing device, and sensor assembly

Номер патента: US11846536B2. Автор: Mitsuru Miyazaki,Naoki TOYOMURA. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-12-19.

Non-transitory computer-readable medium, information processing device, and management method

Номер патента: US12026416B2. Автор: Shintaro Kunimoto. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

Self-propelled floor processing device with an optical distance measuring device

Номер патента: US20240111050A1. Автор: Markus Wallentin,Andrej Mosebach,Jascha Bartels. Владелец: Vorwerk and Co Interholding GmbH. Дата публикации: 2024-04-04.

System comprised of a floor processing device, a memory device and at least one accessory device

Номер патента: US20230157502A1. Автор: Frederic Hahn. Владелец: Vorwerk and Co Interholding GmbH. Дата публикации: 2023-05-25.

Method, apparatus and system for operating data processing devices

Номер патента: WO2005020053A2. Автор: Robert Dunstan,Dan Nowlin,Clifton W. Laney. Владелец: Intel Corporation. Дата публикации: 2005-03-03.

Method, apparatus and system for operating data processing devices

Номер патента: EP1656606A2. Автор: Robert Dunstan,Dan Nowlin,Clifton W. Laney. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2006-05-17.

Information processing device, information processing method, and non-transitory storage medium

Номер патента: US20240061665A1. Автор: Shinnosuke Nakashima. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-02-22.

Methods of detecting non-conforming substrate processing events during chemical mechanical polishing

Номер патента: US12036635B2. Автор: Jamie Stuart Leighton,Jeonghoon Oh,Ashish BHUSHAN,John Anthony GARCIA,Stephen Thomas CORMIER,Nick Joseph JACKSON,Manoj BALAKUMAR,Nandkishore PATIDAR. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-16.

Non-transitory computer-readable medium, information processing device, and management method

Номер патента: US20230168852A1. Автор: Shintaro Kunimoto. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2023-06-01.

Substrate processing method

Номер патента: US20180134607A1. Автор: Yasushi Ito,Kenichi Ichikawa,Kaori TATEISHI. Владелец: Via Mechanics Ltd. Дата публикации: 2018-05-17.

Substrate processing apparatus, data processing method, and data processing program

Номер патента: US20240272592A1. Автор: Yuki Kataoka,Takuro TSUTSUI,Yukiya SAITOU,Yuanchieh LING. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240309506A1. Автор: Sung Hwan Lee,Kun Woo Park,Woo Young Park,Jae Jin Han. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Server, image processing device, and image processing system

Номер патента: US20130135677A1. Автор: Yuichi Ota. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2013-05-30.

Data processing device

Номер патента: US20170249264A1. Автор: Hirokazu Tsuji,Keiji NAGAYANAGI. Владелец: Denso Corp. Дата публикации: 2017-08-31.

Infusion device having a processing device configured to determine a value indicative of a sensitivity of a sensor device

Номер патента: EP4398959A1. Автор: Rémy WOLFF. Владелец: FRESENIUS VIAL SAS. Дата публикации: 2024-07-17.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240329547A1. Автор: Shinichi Machidori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-03.

Information processing devices that merge files, information processing methods for merging files, and computer-readable media storing instructions that instruct information processing devices to merge files

Номер патента: US09798729B2. Автор: Yuji Miyata. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Video processing device and video processing system

Номер патента: US12148221B2. Автор: Yuji Matsumoto,Yohei Ohmura. Владелец: Panasonic Automotive Systems Co Ltd. Дата публикации: 2024-11-19.

Substrate processing apparatus and method for detecting an abnormality of an ozone gas concentration

Номер патента: US09618493B2. Автор: Masaki Kondo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Substrate processing apparatus and substrate processing system

Номер патента: US09606454B2. Автор: Takashi Taguchi,Joji KUWAHARA. Владелец: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-28.

Health reporting from non-volatile block storage device to processing device

Номер патента: US09552273B2. Автор: Vladimir Sadovsky,Robin A. Alexander,Nathan Steven Obr,James C. Bovee. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2017-01-24.

Sampling frequency switching concept in audio signal processing devices

Номер патента: RU2690754C2. Автор: Маркус ШНЕЛЛЬ,Бернхард ГРИЛЛ,Эммануэль РАВЕЛЛИ,Маркус МУЛЬТРУС,Штефан ДЕЛА,Гийом ФУКС,Гжегош ПЕТШИК. Владелец: Фраунхофер-Гезелльшафт Цур Фердерунг Дер Ангевандтен Форшунг Е.Ф.. Дата публикации: 2019-06-05.

Secret vote conduction method using automated voting paper processing device

Номер патента: RU2315358C2. Автор: Виктор Васильевич Ященко,Александр Альбертович Вешняков,Борис Леонидович Бобровников,Андрей Вадимович Шаин. Владелец: Федеральный центр информатизации при Центральной избирательной комиссии Российской Федерации. Дата публикации: 2008-01-20.

Pump for linen processing device and laundry treatment device containing such a pump

Номер патента: RU2693809C1. Автор: Сунгвоон ДЗУНГ,Хундзун ДЗАНГ. Владелец: ЭлДжи ЭЛЕКТРОНИКС ИНК.. Дата публикации: 2019-07-04.

Signal processing device and method of communicating with implantable medical device

Номер патента: RU2495497C2. Автор: Йозеф БАУМГАРТНЕР,Андреас МИТТЕРЕР,Хосе РОДРИГЕС-НАВАРРО,Мартин ШТОФФАНЕЛЛЕР. Владелец: Мед-Эль Электромедицинише Герэте Гмбх. Дата публикации: 2013-10-10.

Screen module, processing device and processing unit for inorganic material

Номер патента: RU2625577C2. Автор: Петри КИННУНЕН. Владелец: Метсо Минералз, Инк.. Дата публикации: 2017-07-17.

Tracking mode in the processing device of the tracing commands systems

Номер патента: RU2635044C2. Автор: Офер ЛЕВИ,Тило ШМИТ,Петер ЛАХНЕР,Биман СТРОНГ,Томас ТОЛЛ,Мэтью МЕРТЕН,Тун ЛИ,Рави РАДЖВАР,Конрад ЛАИ. Владелец: Интел Корпорейшн. Дата публикации: 2017-11-08.

Protected data loading and storage in data processing device

Номер патента: RU2408071C2. Автор: Кристиан ГЕРМАНН,Бернард СМЕТС. Владелец: Телефонактиеболагет Лм Эрикссон (Пабл). Дата публикации: 2010-12-27.

Ballast water processing device

Номер патента: RU2761347C1. Автор: Валерий Иванович Решняк,Дмитрий Игоревич РОЧЕВ. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Государственный университет морского и речного флота имени адмирала С.О. Макарова». Дата публикации: 2021-12-07.

Method of substrate processing

Номер патента: RU2436882C2. Автор: Гэри П. ФАДЖИТТ,Террелл Дж. ГРИН,Скотт Э. ДЖИНТЕР,Джон У. СТОЛАРЗ,Роберт У. КАРЛСОН,Стенли Х. мл. МАКГРЮ,Стивен П. МЕЦЛЕР. Владелец: Мидвествако Корпорейшн. Дата публикации: 2011-12-20.

Information processing device, method of controlling information processing device and control program for said method and device

Номер патента: RU2469379C2. Автор: Хироси ОЗАКИ. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2012-12-10.

Media processing device and automatic device for executing transactions

Номер патента: RU2746304C1. Автор: Мадока ВАКАБАЯСИ,Тоситака САИТОУ. Владелец: Оки Электрик Индастри Ко., Лтд.. Дата публикации: 2021-04-12.

Processing device of tape printer

Номер патента: RU2566915C2. Автор: Таиси САСАКИ. Владелец: СЕЙКО ЭПСОН КОРПОРЕЙШН. Дата публикации: 2015-10-27.

Linen processing device and method of controlling it

Номер патента: RU2704898C1. Автор: Сангвоок ХОНГ,Вооре КИМ,Хиунвоо НОХ,Дзаехиук ДЗАНГ,Беомдзун КИМ,Био ПАРК,Сеулги ПАРК,Чангох КИМ. Владелец: ЭлДжи ЭЛЕКТРОНИКС ИНК.. Дата публикации: 2019-10-31.

Image processing device and method for image processing device control

Номер патента: RU2637851C2. Автор: Хироси ИМАМУРА. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2017-12-07.

Linen processing device and method of such device control

Номер патента: RU2737119C1. Автор: Сангвоок ХОНГ,Дзаехиук ДЗАНГ. Владелец: ЭлДжи ЭЛЕКТРОНИКС ИНК.. Дата публикации: 2020-11-24.

Self-controlled processing device

Номер патента: RU2461053C2. Автор: Мукеш КАРКИ,Нараянан ПАРТАСАРАТИ,Богдан РАЦИБОРСКИ,Кохулан ГУНАБАЛАСУБРАМАНИАМ. Владелец: МАЙКРОСОФТ КОРПОРЕЙШН. Дата публикации: 2012-09-10.

Information processing device, control method for information processing device, information processing system and computer program

Номер патента: RU2718970C1. Автор: Ю Накано. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2020-04-15.

Information processing device, information processing method, and program

Номер патента: EP3809217A1. Автор: Takahiro Sato,Michihiro Yamamoto,Shinji Murayama,Seiji Mizutani,Koji Takatori. Владелец: Omron Tateisi Electronics Co. Дата публикации: 2021-04-21.

Processing device for a parallel computing system and method for performing collective operations

Номер патента: EP4121850A1. Автор: Alex Margolin,Ben-Shahar BELKAR,Solal AMOUYAL. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-01-25.

Image processing device, image processing method, and program

Номер патента: EP4177770A1. Автор: Noboru Yoshida,Jianquan Liu,Shoji Nishimura,Ryo Kawai,Yadong PAN. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2023-05-10.

Surface treatment method and substrate treatment device

Номер патента: US20240191344A1. Автор: Yumiko Kawano,Hiroki Murakami,Shuji Azumo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Print control device, information processing device, method of print control device, method of information processing device and computer program

Номер патента: EP1846813A2. Автор: Kenji Takahashi,Michael Andrew Price,Richard Antony Cudd. Владелец: Canon Europa NV. Дата публикации: 2007-10-24.

Job processing device, server and non-transitory recording medium storing a computer readable program

Номер патента: US20180275936A1. Автор: Shoichi Ayukawa. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2018-09-27.

Information processing device, computer program product, and information processing method

Номер патента: US20150220072A1. Автор: Noriyuki Hirayama,Satoshi ODAKURA. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2015-08-06.

Settlement system, information processing device and server device

Номер патента: US20160162899A1. Автор: Hiroyuki Takeuchi,Ryuichi Yoshida,Yasumasa NAKAI,Hiroto YADA,Tatsuya Niwa. Владелец: Nintendo Co Ltd. Дата публикации: 2016-06-09.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: EP4393607A1. Автор: Masayuki Nakanishi,Masayuki Satake. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-07-03.

Information processing device, information processing method, and computer-readable recording medium

Номер патента: US20230315060A1. Автор: Takaaki Matsuda,Hiroaki Nakajima,Hiroaki Zushi,Shin Okuyama. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 2023-10-05.

Modular sample processing device

Номер патента: CA3137269A1. Автор: Lee COFFEY,Tríona Marie DOOLEY-CULLINANE. Владелец: Waterford Institute of Technology. Дата публикации: 2020-12-03.

Modular sample processing device

Номер патента: EP3976252A1. Автор: Lee COFFEY,Tríona Marie DOOLEY-CULLINANE. Владелец: Waterford Institute of Technology. Дата публикации: 2022-04-06.

Method for removing vapors generated by processing device

Номер патента: US10406474B2. Автор: Li-Chin Lu,Jian-Hua Xiang. Владелец: Futaihua Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2019-09-10.

Gas recycling systems, substrate processing systems, and related apparatus and methods for semiconductor manufacturing

Номер патента: US20240175126A1. Автор: Shu-Kwan LAU,Mukhles SOWWAN. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-30.

Data processing device, data driving device and system for driving display device

Номер патента: US11978383B2. Автор: Jung Min Choi. Владелец: LX Semicon Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-07.

Coal pyrolysis process device

Номер патента: AU2017416200B2. Автор: Fang Li,Shucheng Zhu,Xibin Wang,Guochao Cao,Jinfeng Li,Mingde LI,Yanwu LV. Владелец: Henan Longcheng Coal Efficient Technology Application Co Ltd. Дата публикации: 2020-03-12.

Methods, systems, and apparatus for conducting a calibration operation for a plurality of mass flow controllers (mfcs) of a substrate processing system

Номер патента: US20230366715A1. Автор: Zhiyuan Ye,Ala Moradian,Errol Antonio C. Sanchez,Patricia M. Liu,Zuoming Zhu,Bindusagar MARATH SANKARATHODI,Jyothi RAJEEVAN. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-16.

Methods and systems for energy-efficient scheduling of periodic tasks on a group of processing devices

Номер патента: WO2024000224A1. Автор: Lei Yu,Lan Wang. Владелец: ORANGE. Дата публикации: 2024-01-04.

Sheet processing device, image forming apparatus, and image forming system

Номер патента: US20240253923A1. Автор: Yuji Suzuki,Jun Yamada,Wataru Nozaki,Takahiro Watanabe,Satoshi Hirata,Naofumi Yoshida,Yuusuke Shibasaki,Takuya Morinaga,Atsushi Shinoda,Yusuke Hirono,Shingo Yoshizawa,Ryota Takayama,Suzuka Fujita,Shuuto Tohkaishi,Kanako Fujisaki. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-08-01.

Sheet processing device, image forming apparatus, and image forming system

Номер патента: EP4406893A1. Автор: Yuji Suzuki,Jun Yamada,Wataru Nozaki,Takahiro Watanabe,Satoshi Hirata,Naofumi Yoshida,Yuusuke Shibasaki,Takuya Morinaga,Atsushi Shinoda,Yusuke Hirono,Shingo Yoshizawa,Ryota Takayama,Suzuka Fujita,Shuuto Tohkaishi,Kanako Fujisaki. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-31.

System for processing device parts of simulated smoking devices

Номер патента: EP3823480A1. Автор: Oscar Slurink. Владелец: Sluis Cigar Machinery BV. Дата публикации: 2021-05-26.

Sensor device, processing device, and measurement system for acquiring a biopotential

Номер патента: US20130303871A1. Автор: Rutger Alexander Brest Van Kempen,Alexander Adriaan Huntelerslag. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-11-14.

Information processing device, moving body, information processing method, and program

Номер патента: US20240248483A1. Автор: Kazunori Ohno,Masashi Konyo,Satoshi Tadokoro,Yoshito OKADA,Kenta GUNJI,Shotaro KOJIMA. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2024-07-25.

Information-processing device deleting unspecified device information to complete setup process

Номер патента: US20210064387A1. Автор: Po Chun Chew,Mayumi Mio,Jun Komura. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Print control device, information processing device, method of print control device, method of information processing device and computer program

Номер патента: WO2006067415A3. Автор: Kenji Takahashi,Michael Andrew Price,Richard Antony Cudd. Владелец: Richard Antony Cudd. Дата публикации: 2007-03-22.

Image-processing device and display-control method for use in display-wall system

Номер патента: US20230084031A1. Автор: Wei-Lun Liu. Владелец: Wistron Corp. Дата публикации: 2023-03-16.

Information processing device, information processing system, and non-transitory computer-readable storage medium

Номер патента: US20180136973A1. Автор: Minoru Maeda,Fumihiko Kono,Shinichi Kameyama,Atsushi Tashiro,Tomoshi Takagawa. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2018-05-17.

Method For Processing A Media Sheet In A Media Processing Device

Номер патента: US20090297194A1. Автор: Michael David Maul,Jichang Cao. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-12-03.

Information processing device and computer-readable recording medium

Номер патента: US20160328957A1. Автор: Kouichi Matsuda. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2016-11-10.

Information processing device, information processing device control method and control program

Номер патента: US10114358B2. Автор: Toshiyuki Nakamura,Shohei Fujiwara,Nobuyuki TAKUMA,Hiromu Suganuma,Takehiko Hioka,Yasuki Yoda. Владелец: Omron Corp. Дата публикации: 2018-10-30.

Systems and methods for reallocating image processing devices

Номер патента: US20140320891A1. Автор: Hisashi Kato. Владелец: Canon Information and Imaging Solutions Inc. Дата публикации: 2014-10-30.

Processing instructing device, processing instructing method, computer program and processing device

Номер патента: US20140358271A1. Автор: Teruo Asakawa,Hirofumi Yamaguchi,Supika Mashiro,Toshihiko Iijima,Hirokazu Narisawa,Kou Fujimura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-12-04.

Gas recycling systems, substrate processing systems, and related apparatus and methods for semiconductor manufacturing

Номер патента: WO2024118117A1. Автор: Shu-Kwan LAU,Mukhles SOWWAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-06-06.

System for processing device parts of simulated smoking devices

Номер патента: US20210294314A1. Автор: Oscar Slurink. Владелец: Sluis Cigar Machinery BV. Дата публикации: 2021-09-23.

Methods, systems, and apparatus for conducting a calibration operation for a plurality of mass flow controllers (mfcs) of a substrate processing system

Номер патента: WO2022220900A1. Автор: Zhiyuan Ye,Ala Moradian,Errol Antonio C. Sanchez,Patricia M. Liu,Zuoming Zhu,Bindusagar MARATH SANKARATHODI,Jyothi RAJEEVAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-10-20.

System for processing device parts of simulated smoking devices

Номер патента: CA3105436A1. Автор: Oscar Slurink. Владелец: Sluis Cigar Machinery BV. Дата публикации: 2020-01-23.

Time management system, time management device, synchronous processing device, computing machine, time management method, and computer-readable recording medium

Номер патента: NZ752136A. Автор: Naoki Kuwamori. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2020-03-27.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240295024A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Makoto Takahashi,Masato Kadobe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240295023A1. Автор: Makoto Takahashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Processing method for transferring job to execute image process by changing subject of agreement from first image processing device to second image processing device

Номер патента: US12067310B2. Автор: Tetsunori Mori. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2024-08-20.

Lightpipe for high temperature substrate processing

Номер патента: US20240142310A1. Автор: Ji-Dih Hu. Владелец: Veeco Instruments Inc. Дата публикации: 2024-05-02.

Physiological information processing system, signal processing device, switching device, and non-transitory computer-readable storage medium

Номер патента: US20230277128A1. Автор: Tetsuo Suzuki,Yoshiharu Harada. Владелец: Nihon Kohden Corp. Дата публикации: 2023-09-07.

Program, information processing device, and method

Номер патента: EP4428635A1. Автор: Hideki Sato,Eiji Kawai. Владелец: Chiyoda Corp. Дата публикации: 2024-09-11.

Fish delivery system and method for automatic delivery of fish, in particular salmon species, with defined head-tail orientation and defined belly-back orientation to a fish processing device

Номер патента: AU2021479254A1. Автор: Ulf JACOBSEN. Владелец: Nordischer Maschinenbau Rud Baader GmbH and Co KG. Дата публикации: 2024-06-27.

Management device that displays processing information for multiple processing devices

Номер патента: US12093581B2. Автор: Kimihiko Sasaki. Владелец: FUJIFILM BUSINESS INNOVATION CORP. Дата публикации: 2024-09-17.

Lightpipe for high temperature substrate processing

Номер патента: WO2024091827A3. Автор: Ji-Dih Hu. Владелец: VEECO INSTRUMENTS INC.. Дата публикации: 2024-07-04.

Lightpipe for high temperature substrate processing

Номер патента: WO2024091827A2. Автор: Ji-Dih Hu. Владелец: VEECO INSTRUMENTS INC.. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate holding mechanism, substrate polishing apparatus and substrate polishing method

Номер патента: CN1732068A. Автор: 矢野博之,竖山佳邦,户川哲二,渡边俊雄,丰田现,岩出健次. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2006-02-08.

Data structure, model for populating a data structure and method of programming a processing device utilising a data structure

Номер патента: AU2015904853A0. Автор: Benjamin Seidel. Владелец: Millieable Ip Pty Ltd. Дата публикации: 2015-12-03.

MASS FLOW CONTROLLER, MASS FLOW CONTROLLER SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND GAS FLOW RATE ADJUSTING METHOD

Номер патента: US20120000542A1. Автор: . Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20120000886A1. Автор: NISHINO Masaru,HONDA Masanobu,Kubota Kazuhiro,Ooya Yoshinobu. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE PROCESSING INCLUDING A MASKING LAYER

Номер патента: US20120001320A1. Автор: Kumar Nitin,Duong Anh,Lang Chi-I,Chiang Tony P.,BOUSSIE Thomas R.,Malhotra Sandra G.,Fresco Zachary,Tong Jinhong. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE SUPPORT TABLE OF PLASMA PROCESSING DEVICE

Номер патента: US20120002345A1. Автор: . Владелец: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

Information transmission and processing method at using pseudonoise signals with discrete changing structure, and device for its implementation

Номер патента: RU2387084C1. Автор: Геннадий Сергеевич Любчиков,Людмила Петровна Любчикова,Ольга Николаевна Любчикова,Татьяна Алексеевна Алешина. Владелец: Геннадий Сергеевич Любчиков. Дата публикации: 2010-04-20.

Holding structure and vehicle sunshade used thereof

Номер патента: MY161702A. Автор: GONG JING-SHYONG. Владелец: Creative & Coop Int Inc. Дата публикации: 2017-05-04.

Method for ultrasonic finish processing of parts from structural and tool steel and device for its implementation

Номер патента: RU2530678C1. Автор: Владимир Павлович Мордовин,Сергей Иванович Булычев,Валентин Павлович Алехин. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный индустриальный университет". Дата публикации: 2014-10-10.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD ADOPTED IN SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20120004753A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

POWER SUPPLYING MEANS HAVING SHIELDING MEANS FOR FEEDING LINE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20120000609A1. Автор: DO Jae-Chul,JEON Bu-Il,SONG Myung-Gon,LEE Jung-Rak. Владелец: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE STAGE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

Номер патента: US20120000612A1. Автор: Muraki Yusuke,ODAGIRI Masaya,FUJIHARA Jin. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20120000629A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS AND APPARATUS FOR THERMAL BASED SUBSTRATE PROCESSING WITH VARIABLE TEMPERATURE CAPABILITY

Номер патента: US20120003388A1. Автор: Wu Kai,YUAN XIAOXIONG,TZU GWO-CHUAN,KHANDELWAL AMIT,WANG BENJAMIN CHENG,GELATOS AVGERINOS V.,KARAZIM MICHAEL P.,LIN JING,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

Chamber cleaning for substrate processing systems

Номер патента: WO2024196580A1. Автор: Hu Kang,Ming Li,Dong Wang,Xin Meng,Defu LIANG,Rohit ODE,Huifeng Zheng,Joseph Lindsey Womack. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-09-26.

IMAGE PROCESSING DEVICE, IMAGE PROCESSING METHOD, AND PROGRAM

Номер патента: US20120002113A1. Автор: Nishio Kenichi,Kinoshita Hiroyuki,Kato Takuya,MINATO Atsuo,KANG HYONGMYONG,HASHINO Tsukasa,IRISAWA Gentaro. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

AUDIO PROCESSING DEVICE, AUDIO PROCESSING METHOD, AND PROGRAM

Номер патента: US20120002828A1. Автор: . Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE-PROCESSING DEVICE AND IMAGE-PROCESSING METHOD, IMAGE-PICKUP DEVICE, AND COMPUTER PROGRAM

Номер патента: US20120002849A1. Автор: Tokuse Akira. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

PHOTOGRAPHY APPARATUS, CONTROL METHOD, PROGRAM, AND INFORMATION PROCESSING DEVICE

Номер патента: US20120002883A1. Автор: OHWA Tsunayuki,ISHII Miruka,Gotoh Tomohiko,MOCHIZUKI Daisuke. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Radio-frequency Processing Device and Method and Related Wireless Communication Device

Номер патента: US20120003947A1. Автор: CHEN Wan-Ming,HO Chien-Ting,Su Chih-Chin,Lai Chung-Chi. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

GRIPPING DEVICE, TRANSFER DEVICE, PROCESSING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTRONIC DEVICE

Номер патента: US20120004773A1. Автор: . Владелец: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE PROCESSING DEVICE AND IMAGE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20120002067A1. Автор: . Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGE PROCESSING DEVICE

Номер патента: US20120002885A1. Автор: . Владелец: Panasonic Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

System and methods for providing dynamic modular data processing device

Номер патента: RU2386163C2. Автор: Джейсон А. САЛЛИВАН. Владелец: Джейсон А. САЛЛИВАН. Дата публикации: 2010-04-10.

Document processing device

Номер патента: CA106034S. Автор: . Владелец: RDM Corp. Дата публикации: 2005-09-12.

Document processing device

Номер патента: CA99144S. Автор: . Владелец: RDM Corp. Дата публикации: 2003-04-30.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.