Substrate Processing Apparatus and Assembling Method for Tube Assembly
Номер патента: KR101731488B1
Опубликовано: 02-05-2017
Автор(ы): 구자대, 김용기, 김재우, 김준, 박경석, 유차영, 정봉주, 제성태, 최규진
Принадлежит: 주식회사 유진테크
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-05-2017
Автор(ы): 구자대, 김용기, 김재우, 김준, 박경석, 유차영, 정봉주, 제성태, 최규진
Принадлежит: 주식회사 유진테크
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing apparatus and method of cleaning the same
Номер патента: US20190055647A1. Автор: Kook Tae Kim,Bongjin Kuh,In-Sun Yi,Soojin HONG,Sukjin CHUNG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-02-21.