Etch feedback for control of upstream process
Номер патента: US20220165541A1
Опубликовано: 26-05-2022
Автор(ы): Lei Lian, Leonard Michael Tedeschi, Priyadarshi PANDA
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-05-2022
Автор(ы): Lei Lian, Leonard Michael Tedeschi, Priyadarshi PANDA
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatus and method for controlling boiling conditions of hot phosphoric acid solution with pressure adjustment
Номер патента: US20020007803A1. Автор: John Chiu. Владелец: Mosel Vitelic Inc. Дата публикации: 2002-01-24.