合成石英ガラス部材
Номер патента: JPH11116248A
Опубликовано: 27-04-1999
Автор(ы): Akiko Moriya, Hiroki Jinbo, Masashi Fujiwara, 宏樹 神保, 明子 守屋, 誠志 藤原
Принадлежит: Nikon Corp
Опубликовано: 27-04-1999
Автор(ы): Akiko Moriya, Hiroki Jinbo, Masashi Fujiwara, 宏樹 神保, 明子 守屋, 誠志 藤原
Принадлежит: Nikon Corp
Реферат: (57)【要約】
【課題】 石英ガラスに対する紫外光照射は透過率低下 の他に屈折率変動を引き起こす。
【解決手段】 石英ガラスの原料に有機ケイ素化合物と ケイ素のフッ化物を用いて石英ガラス中の塩素を除き、 フッ素を導入することにより、紫外線照射による透過率 低下、コンパクションおよび複屈折発生を抑制する。
Method for producing titanium-doped synthetic quartz glass
Номер патента: US09796617B2. Автор: Stephan Thomas,Heinz Fabian. Владелец: Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG. Дата публикации: 2017-10-24.