합성 석영 유리 기판 및 그의 제조 방법
Номер патента: KR101789829B1
Опубликовано: 26-10-2017
Автор(ы): 다이지쯔 하라다, 마사끼 다께우찌, 하루노부 마쯔이
Принадлежит: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
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Synthetic quartz glass substrate and making method
Номер патента: US09598305B2. Автор: Harunobu Matsui,Daijitsu Harada,Masaki Takeuchi. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-21.