Glass substrate for mask blank, and method for producing the same
Номер патента: US20160041461A1
Опубликовано: 11-02-2016
Автор(ы): Yusuke Hirabayashi
Принадлежит: Asahi Glass Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-02-2016
Автор(ы): Yusuke Hirabayashi
Принадлежит: Asahi Glass Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Glass substrate for mask blank and method of polishing for producing the same
Номер патента: WO2007072890A1. Автор: Masabumi Ito,Hiroshi Kojima. Владелец: ASAHI GLASS CO., LTD.. Дата публикации: 2007-06-28.