Adhesive composition, method for preparing the same, reticle assembly including the same, and method for fabricating reticle assembly including the same
Номер патента: US12018183B2
Опубликовано: 25-06-2024
Автор(ы): Byungchul YOO, Chang Young JEONG, Haeshin Lee, Mun Ja KIM, Yunhan LEE
Принадлежит: Korea Advanced Institute of Science and Technology KAIST, SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-06-2024
Автор(ы): Byungchul YOO, Chang Young JEONG, Haeshin Lee, Mun Ja KIM, Yunhan LEE
Принадлежит: Korea Advanced Institute of Science and Technology KAIST, SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Photoresist compositions, methods for forming pattern using the same, and methods for fabricating semiconductor device using the same
Номер патента: US20220128905A1. Автор: Jung Min Lee,Jong Hoon Kim,Suk Koo Hong,Eun Shoo Han,Sung An Do,Hong Joon Lee,Seung Chul Kwon,Sin Hae Do. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2022-04-28.