Manufacturing method of Electrostatic chuck using Surface Modified Method of Ceramic Coating Layer
Номер патента: KR102123912B1
Опубликовано: 18-06-2020
Автор(ы): 김종열, 정승진
Принадлежит: (주)제니스월드
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-06-2020
Автор(ы): 김종열, 정승진
Принадлежит: (주)제니스월드
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of modifying electrostatic chuck and plasma processing apparatus
Номер патента: US09558919B2. Автор: Takamitsu Kondo,Shingo Shimogama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-31.