CATIONICALLY POLYMERIZABLE RESIST UNDERLAYER FILM-FORMING COMPOSITION
Номер патента: US20180081274A1
Опубликовано: 22-03-2018
Автор(ы): Kimura Shigeo, Kishioka Takahiro, OGATA Hiroto, Ohashi Tomoya, Usui Yuki
Принадлежит: NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-03-2018
Автор(ы): Kimura Shigeo, Kishioka Takahiro, OGATA Hiroto, Ohashi Tomoya, Usui Yuki
Принадлежит: NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Resist underlayer film forming composition for lithography, containing aromatic fused ring-containing resin
Номер патента: US20110207331A1. Автор: Takahiro Sakaguchi,Tomoyuki Enomoto,Tetsuya Shinjo. Владелец: Nissan Chemical Corp. Дата публикации: 2011-08-25.