가교제의 변성이 억제된 레지스트 하층막 형성 조성물
Номер патента: KR20220161272A
Опубликовано: 06-12-2022
Автор(ы): 쿠보데라, 사토시 카미바야시, 슌 쿠보데라, 유키 엔도
Принадлежит: 닛산 가가쿠 가부시키가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-12-2022
Автор(ы): 쿠보데라, 사토시 카미바야시, 슌 쿠보데라, 유키 엔도
Принадлежит: 닛산 가가쿠 가부시키가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Novolac resin-containing resist underlayer film-forming composition using bisphenol aldehyde
Номер патента: US20160068709A1. Автор: Takafumi Endo,Rikimaru Sakamoto,Keisuke Hashimoto,Hirokazu Nishimaki. Владелец: Nissan Chemical Corp. Дата публикации: 2016-03-10.