CROSS-LINKED POLYMER FOR RESIST
Номер патента: US20220135726A1
Опубликовано: 05-05-2022
Автор(ы): MASUKAWA Tomohiro, NOJIMA Masataka
Принадлежит: MARUZEN PETROCHEMICAL CO., LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-05-2022
Автор(ы): MASUKAWA Tomohiro, NOJIMA Masataka
Принадлежит: MARUZEN PETROCHEMICAL CO., LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Preparation of partially cross-linked polymers and their use in pattern formation
Номер патента: KR20010089395A. Автор: 반투나게쉬워라오,페리도날드프랭크,마샬쟈클린매리,홀트티모씨마이클. Владелец: 스티븐티.워쇼. Дата публикации: 2001-10-06.