A FLUID HANDLING STRUCTURE AND METHOD FOR A GAS PHASE DEPOSITION APPARATUS
Номер патента: US20220145463A1
Опубликовано: 12-05-2022
Автор(ы): Olieslagers Ruud, Smeltink Jeroen Anthonius
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-05-2022
Автор(ы): Olieslagers Ruud, Smeltink Jeroen Anthonius
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Nozzle member, and method for manufacturing of a gas distributor utilizing the same
Номер патента: KR101588265B1. Автор: 고부진. Владелец: (주)동원파츠. Дата публикации: 2016-01-28.