結像用の電子エネルギーフィルタ
Номер патента: JP3732533B2
Опубликовано: 05-01-2006
Автор(ы): ウーレマン シュテファン, ヴァイマー オイゲン, ローゼ ハラルト
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-01-2006
Автор(ы): ウーレマン シュテファン, ヴァイマー オイゲン, ローゼ ハラルト
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Imaging electron energy filter
Номер патента: US5449914A. Автор: Stephan Uhlemann,Eugen Weimer,Harald Rose. Владелец: CARL ZEISS AG. Дата публикации: 1995-09-12.