Spherical drive assembly for chemical mechanical planarization
Номер патента: US6511368B1
Опубликовано: 28-01-2003
Автор(ы): David G. Halley
Принадлежит: Strasbaugh Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-01-2003
Автор(ы): David G. Halley
Принадлежит: Strasbaugh Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Spherical drive assembly for chemical mechanical planarization
Номер патента: WO2002060643A9. Автор: David G Halley. Владелец: STRASBAUGH. Дата публикации: 2003-09-12.