Arrangement and method for removing alkali- or alkaline earth-metals from a vacuum coating chamber
Номер патента: EP2130940A1
Опубликовано: 09-12-2009
Автор(ы): Byung-Sung Leo Kwak, Jose Manuel Dieguez-Campo, Michael Konig, Nety M. Krishna, Stefan Bangert
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-12-2009
Автор(ы): Byung-Sung Leo Kwak, Jose Manuel Dieguez-Campo, Michael Konig, Nety M. Krishna, Stefan Bangert
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Arrangement and method for removing alkali- or alkaline earth-metals from a vacuum coating chamber
Номер патента: CN102046833B. Автор: 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波,斯蒂芬·班格特,迈克尔·柯尼格,尼蒂·M·克里希纳,秉-圣·利奥·郭. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2013-03-27.