Microwave heating apparatus and processing method
Номер патента: US20150129586A1
Опубликовано: 14-05-2015
Автор(ы): Hiroyuki Hayashi, Jun Yamashita, Kouji Shimomura, Seokhyoung Hong, Taro Ikeda
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-05-2015
Автор(ы): Hiroyuki Hayashi, Jun Yamashita, Kouji Shimomura, Seokhyoung Hong, Taro Ikeda
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Shower plate, plasma processing apparatus and plasma processing method
Номер патента: US12051564B2. Автор: Satoru Kawakami,Masaki Hirayama,Taro Ikeda. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2024-07-30.