System using film thickness estimation from machine learning based processing of substrate images
Номер патента: US20240062364A1
Опубликовано: 22-02-2024
Автор(ы): Arash Alahgholipouromrani, Dominic J. Benvegnu, Jun Qian, Kiran Lall Shrestha, Sivakumar Dhandapani
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-02-2024
Автор(ы): Arash Alahgholipouromrani, Dominic J. Benvegnu, Jun Qian, Kiran Lall Shrestha, Sivakumar Dhandapani
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film thickness estimation from machine learning based processing of substrate images
Номер патента: WO2022005916A1. Автор: Dominic J. Benvegnu,Jun Qian,Sivakumar Dhandapani,Kiran Lall Shrestha,Arash Alahgholipouromrani. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-01-06.