Magnet module and sputtering apparatus including the same
Номер патента: US11646140B2
Опубликовано: 09-05-2023
Автор(ы): Kwanyong LEE, Nayoung Lee, Sangmok Nam
Принадлежит: Samsung Display Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-05-2023
Автор(ы): Kwanyong LEE, Nayoung Lee, Sangmok Nam
Принадлежит: Samsung Display Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Magnetic field generation apparatus and sputtering apparatus
Номер патента: US09607813B2. Автор: Jun Sasaki,Atsuhiro Abe,Ryoichi Hiratsuka. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2017-03-28.