Magnification correction for small field scanning
Номер патента: WO1996029631A2
Опубликовано: 26-09-1996
Автор(ы): Paul C. Allen, Ronald D. Voisin
Принадлежит: Etec Systems, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-09-1996
Автор(ы): Paul C. Allen, Ronald D. Voisin
Принадлежит: Etec Systems, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Magnification correction for small field scanning
Номер патента: CA2215750C. Автор: Paul C. Allen,Ronald D. Voisin. Владелец: Etec Systems Inc. Дата публикации: 2001-07-03.