Haltering sowie target und verfahren zu seiner herstellung
Номер патента: EP1072054A1
Опубликовано: 31-01-2001
Автор(ы): Hans-Ulrich Stucki, Wolfgang Siegl
Принадлежит: Unaxis Balzers AG
Опубликовано: 31-01-2001
Автор(ы): Hans-Ulrich Stucki, Wolfgang Siegl
Принадлежит: Unaxis Balzers AG
Реферат: Zwecks Vereinfachung seiner Herstellung besteht ein Target aus einer Targetplatte (1) und einem auf dieselbe aufgesetzten Haltering (2), der bajonettverschlussartig in eine Aufnahmeöffnung einer Haltevorrichtung (4) einsetzbar ist. Ein nach unten weisender Anschlag (8) an der Innenseite des Halterings (2), dessen Oberseite mit derjenigen der Targetplatte (1) plan ist, wirkt mit einem Gegenanschlag (7) an der letzteren zusammen, der durch Herstellung einer umlaufenden Stufe z.B. durch Drehen auf einfache Weise hergestellt ist. Die Unterseite der Targetplatte (1) steht gegenüber derjenigen des Halterings (2) über, so dass eine Metallfolie (9) unter der Einwirkung einer unter Druck stehenden Kühlflüssigkeit gegen deren Unterseite gepresst wird und über den Gegenanschlag (7) und den Anschlag (8) nach oben weisende Befestigungswangen (5) des Halterings (2) gegen Haltevorsprünge (6) der Haltevorrichtung (4) drückt.
Einrichtung und verfahren zum beschichten von substraten
Номер патента: WO2004013374A3. Автор: Volker Kirchhoff,Klaus Goedicke,Torsten Winkler,Hagen Bartzsch,Peter Frach,Joern-Steffen Liebig. Владелец: Joern-Steffen Liebig. Дата публикации: 2004-12-09.