Method of in situ modulation of structural material properties and/or template shape
Номер патента: US11774467B1
Опубликовано: 03-10-2023
Автор(ы): Onnik Yaglioglu
Принадлежит: Microfabrica Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-10-2023
Автор(ы): Onnik Yaglioglu
Принадлежит: Microfabrica Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of in situ modulation of structural material properties and/or template shape
Номер патента: US20230408546A1. Автор: Onnik Yaglioglu. Владелец: Microfabrica Inc. Дата публикации: 2023-12-21.