Verfahren zum optischen vermessen von pyramiden auf texturierten monokristallinen silizumwafern
Номер патента: EP2861966A1
Опубликовано: 22-04-2015
Автор(ы): Rudiger Kubitzek
Принадлежит: Audiodev GmbH
Опубликовано: 22-04-2015
Автор(ы): Rudiger Kubitzek
Принадлежит: Audiodev GmbH
Реферат: Zum optischen Vermessen von Pyramiden (2) auf oberflächentexturierten, monokristallinen Siliziumwafern (1) wird unter Verwendung von wenigstens einer Lichtquelle (4) und wenigstens einem Lichtempfänger (5) das an den Pyramiden gebeugte Licht (7) zur Ermittlung geometrischer Eigenschaften der Pyramiden aufgenommen. Unabhängig hiervon oder auch zusätzlich hierzu wird vorwärts gestreutes Licht (9) mit einem gegebenenfalls weiteren Lichtempfänger (8) gemessen und das Maß der Oberflächenbedeckung des Siliziumwafers mit Pyramiden ermittelt.
Verfahren zum bestimmen von verschiebungskarten, verfahren zum einstellen von parametern für einen bondprozess, und verbundsubstrat hergestellt mit solchen parametern und anlage zum herstellen eines verbundsubstrats
Номер патента: WO2024156345A1. Автор: Thomas PLACH. Владелец: EV Group E. Thallner GmbH. Дата публикации: 2024-08-02.