Verfahren, um die Dicke eines monokristallinen Si-Dünnfilms gleichförmig zu machen
Номер патента: DE69227807D1
Опубликовано: 21-01-1999
Автор(ы): Atsuo Uchiyama, Takao Abe, Yasuaki Nakazato
Принадлежит: Nagano Denshi Kogyo K K, Shin Etsu Handotai Co Ltd
Опубликовано: 21-01-1999
Автор(ы): Atsuo Uchiyama, Takao Abe, Yasuaki Nakazato
Принадлежит: Nagano Denshi Kogyo K K, Shin Etsu Handotai Co Ltd
Verfahren, um die Dicke eines monokristallinen Si-Dünnfilms gleichförmig zu machen
Номер патента: DE69227807T2. Автор: Takao C/O Handotai Isobe Kenkyusho Annaka-Shi Gumma-Ken Abe,Yasuaki C/O Nagano Denshi Kogyo K.K. Koshoku-Shi Nagano-Ken Nakazato,Atsuo C/O Nagano Denshi Kogyo K.K. Koshoku-Shi Nagano-Ken Uchiyama. Владелец: Nagano Denshi Kogyo K K. Дата публикации: 1999-04-29.