Distance-control apparatus for translating devices.
Номер патента: US904810A
Опубликовано: 24-11-1908
Автор(ы): Ernest Schattner
Принадлежит: General Electric Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-11-1908
Автор(ы): Ernest Schattner
Принадлежит: General Electric Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for scanning, stitching, and damping measurements of a double-sided metrology inspection tool
Номер патента: US6686996B2. Автор: Christopher F. Bevis,Hans J. Hansen,David W. Shortt,George Kren,Paul J. Sullivan,Rodney C. Smedt,Daniel Ivanov Kavaldjiev. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2004-02-03.