ELECTRONIC DEVICE AND OPERATING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE
Номер патента: US20210362701A1
Опубликовано: 25-11-2021
Автор(ы): BAE Hyeonju, LEE Taekyung, YOON Sangyol
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-11-2021
Автор(ы): BAE Hyeonju, LEE Taekyung, YOON Sangyol
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Multi-blade robot apparatus, electronic device manufacturing apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing
Номер патента: US20190355605A1. Автор: Michael R. Rice,Jeffrey C. Hudgens,Nir Merry,Karuppasamy Muthukamatchi. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-11-21.