Arrangement for manipulating the position of an element
Номер патента: US20170329238A1
Опубликовано: 16-11-2017
Автор(ы): Eylem Bektas, Markus Hauf, Ulrich Schoenhoff
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-11-2017
Автор(ы): Eylem Bektas, Markus Hauf, Ulrich Schoenhoff
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Arrangement for the actuation of at least one element in an optical system
Номер патента: US09651772B2. Автор: Markus Hauf,Edwin Johan Buis,Martin Latzel. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-05-16.