SURFACE COATING WITH RARE EARTH METAL OXIDES
Номер патента: US20160333458A1
Опубликовано: 17-11-2016
Автор(ы): Barz Jakob, Haupt Michael, Oehr Christian
Принадлежит: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderng der angewandten Forshcung e.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-11-2016
Автор(ы): Barz Jakob, Haupt Michael, Oehr Christian
Принадлежит: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderng der angewandten Forshcung e.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Surface coating for chamber components used in plasma systems
Номер патента: EP3071726A1. Автор: Carlo Waldfried. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2016-09-28.